| 研究課題/領域番号 |
20340166
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 |
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研究代表者 |
佐々木 明 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究副主幹 (10215709)
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| 研究分担者 |
西原 功修 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 特任研究員 (40107131)
砂原 淳 (財)レーザー技術総合研究所, 研究員 (00370213)
古河 裕之 (財)レーザー技術総合研究所, 副主任研究員 (70222271)
小池 文博 北里大学, 医学部, 准教授 (90095505)
西川 亘 岡山大学, 自然科学研究科, 助教 (80243492)
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| 連携研究者 |
甲斐 健師 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 特任研究員 (70403037)
沼波 政倫 自然科学研究機構, 核融合科学研究所, 助教 (40397203)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
17,030千円 (直接経費: 13,100千円、間接経費: 3,930千円)
2010年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円)
2009年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円)
2008年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
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| キーワード | プラズマ制御・レーザー / プラズマ光源 / シミュレーション / EUV光源 / 原子過程 / 放電 / レーザープラズマ / パーコレーション |
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| 研究概要 |
レーザー・放電ハイブリッド励起プラズマ光源のモデリング手法の研究を行い、原子過程シミュレーションにおいては、Snなどの高Z多価イオンのレベルポピュレーションや輻射放出、吸収係数を正しく計算し、発光スペクトルを再現できるモデルを開発した。その温度、密度特性から、プラズマの輻射圧力が密度に対して非単調に振る舞い、プラズマの不安定性や構造形成が発生する可能性があることを示した。また、開発したモデルを用い、将来のEUVリソグラフィで用いられると予想される、Tbプラズマの発光特性予測、評価を行った。輻射流体シミュレーションにおいては、時空間の構造形成を再現するためのモデリング手法の重要性を明らかにし、従来のMHDシミュレーションや、粒子、流体手法を階層的に統合する手法に替え、統計手法のひとつであるパーコレーションモデルが有用であることを、放電の初期のストリーマ構造生成過程を再現することで明らかにした。
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