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多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 20360067
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関富山大学

研究代表者

森田 昇  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 教授 (30239660)

研究分担者 山田 茂  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授 (00174714)
高野 登  富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 助手 (60251881)
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
9,750千円 (直接経費: 7,500千円、間接経費: 2,250千円)
2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2009年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2008年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
キーワード多機能ダイヤモンド工具 / マイクロ加工 / ナノ加工 / 多機能型ダイヤモンド工具 / 極微細加工 / 集束イオンビーム / 選択成長
研究概要

本研究は、各種の極微細加工用の高精度多機能型ダイヤモンドツールの開発とマイクロ・ナノスケール加工への応用化を目的としている。まず、高速にダイヤモンドを合成できる装置を設計・試作し、緻密なダイヤモンドチップを得ることができた。つぎにこのチップを精度よくシャンクに装着するための装置を試作し、高精度のダイヤモンドツールを作製することができた。このツールを用いて加工実験を行い、数μmスケールの微細加工が可能であることを検証した。

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書

研究成果

(4件)

すべて 2008 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 備考

  • [雑誌論文] マシニングセンタ型ナノ加工・計測システムの開発に関する研究2008

    • 著者名/発表者名
      稲垣清紀、森田昇、芦田極、斉藤潤二
    • 雑誌名

      精密工学会誌(精密工学会論文賞受賞) 74巻、11号

      ページ: 1176-1181

    • NAID

      110006990556

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of a Small Machining Center Equipped With Nanomachining and Measurement Functions、3rd JSME/ASME2008

    • 著者名/発表者名
      稲垣清紀, 森田昇, 芦田極, 斉藤潤二
    • 雑誌名

      International Conference on Materials and Processing

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] マイクロダイヤモンドツールによる単結晶シリコンのマイクロ加工2008

    • 著者名/発表者名
      稲垣清紀、森田昇、山田茂、高野登、大山達雄
    • 学会等名
      砥粒加工学会北信越ハイテク加工研究分科会2008年度研究・開発成果発表会
    • 発表場所
      金沢工業大学
    • 年月日
      2008-07-04
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考] 森田昇、高野登、ダイヤモンドアレイ工具の微細加工への応用、日本機械学会RC240多軸複合工作機械の高度化技術に関する研究分科会研究報告書、2010、pp.159-162

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書

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公開日: 2008-03-31   更新日: 2016-04-21  

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