| 研究課題/領域番号 |
20360077
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
福澤 健二 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60324448)
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| 研究分担者 |
式田 光宏 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (80273291)
伊藤 伸太郎 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 講師 (50377826)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
19,370千円 (直接経費: 14,900千円、間接経費: 4,470千円)
2010年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円)
2009年度: 8,710千円 (直接経費: 6,700千円、間接経費: 2,010千円)
2008年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
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| キーワード | 走査型プローブ顕微鏡 / 摩擦力顕微鏡 / トライボロジー / マイクロマシン / プローブ顕微鏡 / ナノ計測 |
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| 研究概要 |
走査型プローブ顕微鏡の一種である摩擦力顕微鏡は,マイクロ・ナノトライボロジー現象解明の中核的計測法である.本研究では,動的測定や探針位置制御を可能とする静電駆動機構を付与したプローブを提案し作製することに成功した.本プローブでは,水平力を平行板ばねで,鉛直力をねじり梁で検出することにより,水平・鉛直力をお互いの干渉なく検出する.平行板ばねに対向する電極部をマイクロマシン技術を用いて作製することで,プローブを水平方向に駆動可能な静電駆動機構を実現した.
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