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透明固体基板内部で回転する光駆動マイクロモーターの開発と応用

研究課題

研究課題/領域番号 20360115
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関徳島大学

研究代表者

松尾 繁樹  徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 (20294720)

研究期間 (年度) 2008 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
18,460千円 (直接経費: 14,200千円、間接経費: 4,260千円)
2011年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2010年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2009年度: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2008年度: 7,410千円 (直接経費: 5,700千円、間接経費: 1,710千円)
キーワードマイクロ・ナノデバイス / 光ピンセット / マイクロマシン / フェムト秒レーザー加工 / エッチング / サファイア
研究概要

ガラス基板の内部に,光圧回転体を内包する空洞を作製し,その光圧回転体を光ピンセット技術を用いて非接触回転させることに成功した。この作製に用いた加工技術は,{フェムト秒レーザーパルスの集光照射による局所的な内部改質}+{改質部の選択的エッチング}というもので,透明固体材料内部にマイクロメートルの分解能で除去加工を施すことができる,極めてユニークな技術である。本研究では,この加工技術と回転技術の開発を行った。

報告書

(6件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書   自己評価報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (55件)

すべて 2012 2011 2010 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (19件) (うち査読あり 19件) 学会発表 (28件) 備考 (6件) 産業財産権 (2件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Reduction of Pulse-to-Pulse Fluctuation in Laser Pulse Energy using the Optical Kerr Effect2012

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo, L. Yan, J. Si, T. Tomita and S. Hashimoto
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: (掲載決定, 2012年5月掲載予定)

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Matrix calculus for axially symmetric polarized beam2011

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: Vol.19 号: 13 ページ: 12815-12824

    • DOI

      10.1364/oe.19.012815

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hashimoto and Tatsuya Okada, Femtosecond Laser-Assisted Etching of Fluoride Crystals2011

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo, K. Iwasa, T. Tomita, S.
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/ Nanoengineering

      巻: Vol.6 号: 3 ページ: 245-248

    • DOI

      10.2961/jlmn.2011.03.0014

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Micro Three-dimensional Removal Processing inside Sapphire Substrate2010

    • 著者名/発表者名
      K. Tokumi, S. Matsuo, S. Kiyama, T. Tomita and S. Hashimoto
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/ Nanoengineering

      巻: Vol.5 号: 2 ページ: 179-182

    • DOI

      10.2961/jlmn.2010.02.0015

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Micro Three-dimensional Removal Processing inside Sapphire Substrate2010

    • 著者名/発表者名
      K. Tokumi, S. Matsuo, S. Kiyama, T. Tomita, S. Hashimoto
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering Vol.5

      ページ: 179-182

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Micro Three-dimensional Removal Processing inside Sapphire Substrate2010

    • 著者名/発表者名
      K.Tokumi, et al
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering

      巻: 5 ページ: 179-182

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH2009

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo, H. Sumi, S. Kiyama, T. Tomita and S. Hashimoto
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: Vol.255 号: 24 ページ: 9758-9760

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2009.04.065

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Examination of etching agent and etching mechanism on femtosecond laser microfabrication of channels inside vitreous silica substrates2009

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyama, S. Matsuo, S. Hashimoto and Y. Morihira
    • 雑誌名

      The Journal of Physical Chemistry C

      巻: Vol.113 号: 27 ページ: 11560-11566

    • DOI

      10.1021/jp900915r

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser Fabrication and Manipulation of an Optical Rotator Embedded inside a Transparent Solid Material2009

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyama, T. Tomita, S. Matsuo and S. Hashimoto
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/ Nanoengineering

      巻: Vol.4 号: 1 ページ: 18-21

    • DOI

      10.2961/jlmn.2009.01.0004

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH2009

    • 著者名/発表者名
      Matsuo, H. Sumi, S. Kiyama, T. Tomita, S. Hashimoto
    • 雑誌名

      Applied Surface Science Vol.255

      ページ: 9758-9760

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser Fabrication and Manipulation of an Optical Rotator Embedded inside a Transparent Solid Material2009

    • 著者名/発表者名
      S. Kiyama, T. Tomita, S. Matsuo, S. Hashimoto
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering Vol.4

      ページ: 18-21

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Femtosecond laser-assisted etching of Pyrex glass with aqueous solution of KOH2009

    • 著者名/発表者名
      S.Matsuo, et al.
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 255

      ページ: 9758-9760

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser Fabrication and Manipulation of an Optical Rotator Embedded inside a Transparent Solid Material2009

    • 著者名/発表者名
      S.Kiyama, et al.
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering 4

      ページ: 18-21

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Three-Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses2008

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo, K. Tokumi, T. Tomita and S. Hashimoto
    • 雑誌名

      Laser Chemistry

      巻: Vol.2008 ページ: 1-4

    • DOI

      10.1155/2008/892721

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators2008

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa and H. Masuhara
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: Vol.93 号: 5

    • DOI

      10.1063/1.2967872

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Hashimoto, Three- Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses2008

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo, K. Tokumi, T. Tomita, S.
    • 雑誌名

      Laser Chemistry Vol.2008

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Masuhara, Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators2008

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo, S. Kiyama, Y. Shichijo, T. Tomita, S. Hashimoto, Y. Hosokawa, H.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters Vol.93

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Laser microfabrication and rotation of ship-in-a-bottle optical rotators2008

    • 著者名/発表者名
      Matsuo S., et al
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 93

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Three-Dimensional Residue-Free Volume Removal inside Sapphire by High-Temperature Etching after Irradiation of Femtosecond Laser Pulses2008

    • 著者名/発表者名
      Matsuo S., et al
    • 雑誌名

      Laser Chemistry 2008

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ガラスのフェムト秒レーザー支援エッチングにおける照射パラメータ依存性2012

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • 年月日
      2012-03-15
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Optical rotator inside glass substrate fabricated by femtosecond laser processing2011

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo
    • 学会等名
      ISOT2011 International Symposium on Optomechatronic Technologies
    • 発表場所
      香港中文大学(香港)
    • 年月日
      2011-11-02
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Optical rotator inside glass substrate fabricated by femtosecond laser processing2011

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Matsuo
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technologies 2011
    • 発表場所
      香港中文大学(香港)(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-02
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Rotation Formulas in the Jones Calculus Extended to Axially Symmetrically Polarized Beam2011

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Matsuo
    • 学会等名
      Frontiers in Optics 2011
    • 発表場所
      サンノゼコンベンションセンター(アメリカ)
    • 年月日
      2011-10-20
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 軸対称偏光の行列計算法:ジョーンズ計算法の拡張2011

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • 年月日
      2011-09-01
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Femtosecond laser-assisted etching of Fluoride crystals2011

    • 著者名/発表者名
      Shigeki Matsuo, et al
    • 学会等名
      The 12th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      高松市
    • 年月日
      2011-06-08
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] フッ化物結晶のフェムト秒レーザー支援エッチング2011

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹, 他
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      厚木市
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー照射によるガラスのエッチングレート増大のメカニズム2010

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹, 他
    • 学会等名
      レーザー学会第408回研究会
    • 発表場所
      尾道市
    • 年月日
      2010-11-29
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザーパルスを照射したガラスのエッチング特性の温度・濃度依存性2010

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹, 他
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎市
    • 年月日
      2010-09-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] ガラスのフェムト秒レーザー支援エッチングにおける選択性のエッチング条件依存性2010

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹, 他
    • 学会等名
      2010年光化学討論会
    • 発表場所
      千葉市
    • 年月日
      2010-09-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Femtosecond laser-assisted micro removal processing inside transparent solids2010

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo
    • 学会等名
      The 7th Asia-Pacific Laser Symposium
    • 発表場所
      Seogwipo KAL Hotel(韓国済州島)
    • 年月日
      2010-05-12
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Femtosecond laser-assisted micro removal processing inside transparent solids2010

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo
    • 学会等名
      The 7th Asia-Pacific Laser Symposium
    • 発表場所
      Seogwipo, Korea
    • 年月日
      2010-05-12
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 自己評価報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザを用いた透明固体材料の内部微細加工技術の開発2009

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹
    • 学会等名
      第72回 レーザ加工学会
    • 発表場所
      名古屋市
    • 年月日
      2009-12-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Laser Internal Modification Plus Wet Etching for Micro-structuring Crystalline and Glassy Materials2009

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo
    • 学会等名
      The 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
    • 発表場所
      Hilton in Walt Disney World Resort(Orlando, U.S.A.)
    • 年月日
      2009-11-03
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Laser Internal Modification Plus Wet Etching for Micro- structuring Crystalline and Glassy Materials2009

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo
    • 学会等名
      The 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
    • 発表場所
      Orlando, U.S.A.(招待講演)
    • 年月日
      2009-11-03
    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
  • [学会発表] Laser Internal Modification Plus Wet Etching for Micro-structuring Crystalline and Glassy Materials2009

    • 著者名/発表者名
      S.Matsuo
    • 学会等名
      The 28th International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
    • 発表場所
      Orlando
    • 年月日
      2009-11-03
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Micro three-dimensional removal processing inside sapphire substrate2009

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo et al.
    • 学会等名
      The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
    • 発表場所
      神戸コンベンションセンター(神戸市)
    • 年月日
      2009-06-30
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Micro three-dimensional removal processing inside sapphire substrate2009

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuo, et al.
    • 学会等名
      The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
    • 発表場所
      Kobe, Japan
    • 年月日
      2009-06-30
    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
  • [学会発表] Micro three-dimensional removal processing inside sapphire substrate2009

    • 著者名/発表者名
      S.Matsuo, et al.
    • 学会等名
      The 5th International Congress on Laser Advanced Materials Processing
    • 発表場所
      神戸
    • 年月日
      2009-06-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Three-dimensional Microstructuring inside Transparent Solid Substrates Assisted by Femtosecond Laser Pulses2009

    • 著者名/発表者名
      Matsuo S., et al
    • 学会等名
      PIERS 2009 in Beijing
    • 発表場所
      Beijing
    • 年月日
      2009-03-25
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Microfluidic devices のための埋め込み型可動構造物の作製2009

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹, 他
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第29回年次大会
    • 発表場所
      徳島市
    • 年月日
      2009-01-11
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] ホウケイ酸ガラスのフェムト秒レーザー誘起選択エッチング2008

    • 著者名/発表者名
      松尾繁樹, 他
    • 学会等名
      第27回固体・表面光化学討論会
    • 発表場所
      徳島市
    • 年月日
      2008-11-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー照射と高温エッチングによるサファイアの内部加工2008

    • 著者名/発表者名
      松尾 繁樹, 他
    • 学会等名
      第27回固体・表面光化学討論会
    • 発表場所
      徳島市
    • 年月日
      2008-11-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー支援エッチング加工よる微小流体制御素子の開発2008

    • 著者名/発表者名
      松尾 繁樹, 他
    • 学会等名
      第27回固体・表面光化学討論会
    • 発表場所
      徳島市
    • 年月日
      2008-11-22
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Optically Driven Micro Rotator embedded in Solid Substrate2008

    • 著者名/発表者名
      Matsuo S., et al
    • 学会等名
      Microprocesses and Nanotechnology 2008
    • 発表場所
      福岡市
    • 年月日
      2008-10-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Femtosecond laser assisted etching of borosilicate glasses with aqueous solution of KOH2008

    • 著者名/発表者名
      Matsuo S., et al
    • 学会等名
      6th International Conference on Photo-Excited Processes and Applications
    • 発表場所
      札幌市
    • 年月日
      2008-09-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Femtosecond laser assisted etching of borosilicate glasses2008

    • 著者名/発表者名
      Matsuo S., et al
    • 学会等名
      the 9th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      Qubec city
    • 年月日
      2008-06-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Laser fabrication and manipulation of optical rotator embedded inside a transparent solid material2008

    • 著者名/発表者名
      Matsuo S., et al
    • 学会等名
      the 9th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
    • 発表場所
      Qubec city
    • 年月日
      2008-06-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考] 研究紹介記事の掲載Nature Photonics, Vol.2, p. 590, 2008.

    • URL

      http://www.eco.tokushima-u.ac.jp/a1/matsuos/matsuos_j.html

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eco.tokushima-u.ac.jp/al/matsuos/matsuos_j.html

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考] ホームページ

    • URL

      http://www.eco.tokushima-u.ac.jp/a1/matsuos/

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eco.tokushima-u.ac.jp/al/matsuos/

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eco.tokushima-u.ac.jp/al/matsuos/

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eco.tokushima-u.ac.jp/w3/ecoA-l/matsuos/

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [産業財産権] レーザー光束制御装置、レーザー光束エネルギー安定化装置、レーザー光束制御方法、及びレーザー光束エネルギー安定化方法2011

    • 発明者名
      松尾繁樹
    • 権利者名
      徳島大学
    • 出願年月日
      2011-09-02
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 外国
  • [産業財産権] レーザー光束制御装置及びレーザー光束エネルギー安定化装置2010

    • 発明者名
      松尾繁樹
    • 権利者名
      徳島大学
    • 産業財産権番号
      2010-203367
    • 出願年月日
      2010-09-10
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書 2010 自己評価報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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