真空中固体表面場における高分子薄膜成長及びその界面制御への応用

• 研究課題/領域番号: 20360347
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 化工物性・移動操作・単位操作
• 研究機関: 東京農工大学
• 研究代表者: 臼井 博明 東京農工大学, 大学院・工学研究院, 教授 (60176667)
• 連携研究者: 田中 邦明 東京農工大学, 大学院・工学府, 教務職員 (30251581)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• 研究課題ステータス: 完了 (2010年度)
• 配分額: 18,330千円 (直接経費: 14,100千円、間接経費: 4,230千円); 2010年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円); 2009年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2008年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
• キーワード: 表面・界面物性 / 高分子合成 / 超薄膜 / ナノ材料 / 電子・電気材料 / 蒸着重合 / 有機EL / イオン照射 / パターニング / ポリペプチド

研究概要

一般に高分子薄膜は固体表面に溶液を塗布して形成されるが、極薄膜化、多層化、界面制御などに課題を持つ。そこで本研究では、真空中の固体表面に低分子を物理蒸着し、熱、電子線、紫外線等で反応を促進することで、制御性良く高純度の高分子薄膜を形成することを検討した。特に反応性官能基末端を有す自己組織化膜を形成した固体表面に低分子を蒸着することにより、無機固体材料と共有結合した安定な界面を有す高分子薄膜を成長させる表面開始蒸着重合の手法を新たに開拓した。

研究成果

• [雑誌論文] Maskless patterning of vapor-deposited photosensitive film and its application to organic light-emitting diodes (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Muroyama, W.Saito, S.Yokokura, K.Tanaka, H.Usui
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.50, No.4
  • NAID: 210000070370
  • 査読あり
• [雑誌論文] Manipulation of work function and surface free energy of tungsten oxide hole injection layer modified with a self-assembled monolayer (2011)
  • 著者名/発表者名: S.-H.Kim, H.Otsuka, H.-W.Shin, K.Tanaka, R.C.Advincula, H.Usui
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.50, No.1
  • NAID: 210000138296
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Fine Particles of Semiconducting Polymers by Electrospray Deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: Y.Hirose, et al.
  • 雑誌名: MICE Transaction on Electronics 巻: E94-C ページ: 57-163
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vapor deposition polymerization and electrical characterization of TPD thin films (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Muroyama, et al.
  • 雑誌名: IEICE Transaction on Electronics 巻: E94-C ページ: 164-169
  • 査読あり
• [雑誌論文] Maskless Patterning of Vapor-Deposited Photosensitive Film and its Application to Organic Light-Emitting Diodes (2011)
  • 著者名/発表者名: M.Muroyama, et al.
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 巻: 50
  • 査読あり
• [雑誌論文] Manipulation of Work Function and Surface Free Energy of Tungsten Oxide Hole Injection Layer Modified With a Self-Assembled Monolayer (2011)
  • 著者名/発表者名: S.-H.Kim, et al.
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 巻: 50
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of SAM modification on ito surface for surface-initiated vapor deposition polymerization of carbazole thin films (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Umemoto, S.-H.Kim, R.C.Advincula, K.Tanaka, H.Usui
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.49, No.4
  • 査読あり
• [雑誌論文] Polymeric film deposition by coevaporation of polymerizable monomer and initiator (2010)
  • 著者名/発表者名: M.Muroyama, S.Yokokura, K.Tanaka, H.Usui
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.49, No.4
  • NAID: 110007114918
  • 査読あり
• [雑誌論文] 蒸看重合による高分子薄膜形成と有機薄膜発光素子への応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 雑誌名: イアロゾル研究 巻: 25 ページ: 134-139
  • 査読あり
• [雑誌論文] 自己組織化膜による有機薄膜の界面制御とEL応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 雑誌名: 化学工業 巻: 62(3) ページ: 209-213
• [雑誌論文] 有機ELにおける蒸着膜形成とその応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 雑誌名: マテリアルステージ 巻: 9(11) ページ: 55-57
• [雑誌論文] TPD蒸着膜の熱重合による正孔輸送層の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 室山雅和, 他
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 巻: 110(276) ページ: 7-12
• [雑誌論文] 蒸着重合法によるエポキシ高分子薄膜の作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 福井重一, 他
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 巻: 110(243) ページ: 15-20
• [雑誌論文] イオンアシスト蒸着によるフッ素系高分子薄膜の作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 松田剛, 他
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 巻: 110(243) ページ: 5-10
• [雑誌論文] 光反応性有機薄膜を用いた有機EL素子形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 室山雅和, 他
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 巻: 110(123) ページ: 5-10
• [雑誌論文] 自己組織化膜形成による酸化金属電極の表面修飾 (2010)
  • 著者名/発表者名: 金性湖, 他
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 巻: 110(59) ページ: 1-6
• [雑誌論文] Effect of SAM Modification on ITO Surface for Surface-Initiated Vapor Deposition Polymerization of Carbazole Thin Films (2010)
  • 著者名/発表者名: 梅本祐也
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 49
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Electrophoretic Display Driven by Membrane Switch Array (2010)
  • 著者名/発表者名: 泉田和夫
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 49
  • 査読あり
• [雑誌論文] Polymeric Film Deposition by Coevaporation of Polymerizable Monomer and Initiator (2010)
  • 著者名/発表者名: Masakazu Muroyama
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 49
  • 査読あり
• [雑誌論文] 有機ELにおける蒸着膜形成とその応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 雑誌名: マテリアルステージ 9 ページ: 55-57
• [雑誌論文] Vapor deposition polymerization of vinyl compounds and fabrication of OLED having double emissive layers (2009)
  • 著者名/発表者名: E.Otsuki, H.Sato, A.Kawakami, H.Taka, H.Kita, H.Usui
  • 雑誌名: Thin Solid Films Vol.518, No.2 ページ: 703-706
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-vacuum vapor deposition and in situ monitoring of N-carboxy anhydride benzyl glutamate polymerization (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Duran, K.Ogura, K.Nakao, S.D.B.Vianna, H.Usui, R.C.Advincula, W.Knoll
  • 雑誌名: Langmuir Vol.25, No.18 ページ: 10711-10718
  • 査読あり
• [雑誌論文] Formation of polymer thin films and interface control by physical vapor deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroaki Usui
  • 雑誌名: Proceedings of SPIE 7404
• [雑誌論文] Vapor deposition polymerization of vinyl compounds and fabrication of OLED having double emissive layers (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 雑誌名: Thin Solid Films 518 ページ: 703-706
  • 査読あり
• [雑誌論文] Selective patterning of organic light-emitting diodes by physical vapor deposition of photosensitive materials (2009)
  • 著者名/発表者名: Masakazu Muroyama
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 48
  • 査読あり
• [雑誌論文] Synthesis and properties of nitrogen-linked poly(2,7-carbazole)s as hole-transport material for organic light emitting diodes (2009)
  • 著者名/発表者名: Tsuyoshi Michinobu
  • 雑誌名: Journal of Polymer Science, Part A 47 ページ: 3880-3891
  • 査読あり
• [雑誌論文] High-Vacuum Vapor Deposition and in Situ Monitoring of N-Carboxy Anhydride Benzyl Glutamate Polymerization (2009)
  • 著者名/発表者名: Hatice Duran
  • 雑誌名: Langmuir 25 ページ: 10711-10718
  • 査読あり
• [雑誌論文] エレクトロスプレー法による高分子半導体微粒子の形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 廣瀬悠人
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 109(203) ページ: 7-12
• [雑誌論文] エレクトロスプレー法による高分子半導体微粒子の形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 梅本祐也
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 109(184) ページ: 1-6
• [雑誌論文] イオン照射アシストによる蒸着重合膜の作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 109(147) ページ: 5-8
  • NAID: 110007358844
• [雑誌論文] メンブレンスイッチを背面板とした電子ペーパーディスプレイの開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 泉田和夫
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 109(48) ページ: 23-28
• [雑誌論文] 蒸着重合法によるフッ素系高分子薄膜の形成と反射防止膜への応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 細田泰弘
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 109(48) ページ: 3-7
• [雑誌論文] (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明(分担執筆)
  • 雑誌名: 有機デバイスのための界面評価と制御技術(シーエムシー出版) ページ: 156-168
• [雑誌論文] Thermally stable and anisotropically conducting membranes consistingof sub-micron copper wires in polyimide ion track membranes (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Koshikawa
  • 雑誌名: Journal of Membrane Science 327 ページ: 182-187
  • 査読あり
• [雑誌論文] 物理蒸着法による高分子薄膜形成と界面制御 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 雑誌名: Molecular Electronics and Bioelectronics 20 ページ: 19-24
• [雑誌論文] Interface control by surface-initiated deposition polymerizationand its application to organic light-emitting devices (2008)
  • 著者名/発表者名: Akira Kawakami
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Phy s i cs 47 ページ: 3156-3161
  • 査読あり
• [雑誌論文] Formation of composite films of ion-track membranes embeddedwith oblique Cu nanowires for anisotropic infrared absorption (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Koshikawa
  • 雑誌名: Radiation Physics and Chemistry 77 ページ: 453-455
  • 査読あり
• [雑誌論文] Anionic polymerization of 4-diphenylarainostyrene : characteristics ofthe alkyllithium/N, N, N', N' -tetramethylethylenediamine system forliving anionic polymerization (2008)
  • 著者名/発表者名: I taru Nator i
  • 雑誌名: Macromolecules 41 ページ: 3852-3858
  • 査読あり
• [雑誌論文] フツ素系アクリレート高分子膜の蒸着重合における表面物性制御 (2008)
  • 著者名/発表者名: 仲尾建治
  • 雑誌名: 電気学会研究会資料 EFM-08-ie ページ: 51-55
• [雑誌論文] 物理蒸着法による高分子薄膜形成 (2008)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 雑誌名: コンバーテック 423 ページ: 38-43
• [雑誌論文] 発光層にビニル化合物を用いた有機EL素子の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 乙木栄志
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 Vol. 108 No. 110 ページ: 1-6
• [雑誌論文] 重合性モノマーと開始剤の共蒸着による高分子薄膜の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 横倉精二
  • 雑誌名: 電子情報通信学会技術研究報告 Vol. 108 No. 348 ページ: 1-5
• [学会発表] 低分子スピンコート膜の光重合による燐光性高分子薄膜のパターン形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 宮川大地, 他
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: NTT武蔵野開発センター(東京)
  • 年月日: 2011-05-27
• [学会発表] ベンゾフェノンSAM膜を用いたポリビニルカルバゾール膜のパターン形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 大塚華恵, 他
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: NTT武蔵野開発センター(東京)
  • 年月日: 2011-05-27
• [学会発表] 光反応性スピンコート膜を用いた燐光性高分子薄膜のパターン形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 宮川大地, 他
  • 学会等名: 第58回応用物理学関係連合講演会(震災により中止のため講演予稿集発行日をもって発表成立とみなす)
  • 年月日: 2011-03-09
• [学会発表] ベンゾフェノンSAM膜を用いた有機薄膜界面制御とパターン形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 大塚華恵, 他
  • 学会等名: 第58回応用物理学関係連合講演会(震災により中止のため講演予稿集発行日をもって発表成立とみなす)
  • 年月日: 2011-03-09
• [学会発表] フッ素系高分子のイオンアシスト蒸着重合におけるイオン加速効果 (2011)
  • 著者名/発表者名: 松田剛, 他
  • 学会等名: 第58回応用物理学関係連合講演会(震災により中止のため講演予稿集発行日をもって発表成立とみなす)
  • 年月日: 2011-03-09
• [学会発表] 電子アシスト蒸着重合法により作製したフッ素系架橋高分子薄膜の物性評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 細田泰弘, 他
  • 学会等名: 第58回応用物理学関係連合講演会(震災により中止のため講演予稿集発行日をもって発表成立とみなす)
  • 年月日: 2011-03-09
• [学会発表] ペンゾフェノンSAM膜を用いた有機/無機界面制御 (2011)
  • 著者名/発表者名: 金性湖, 他
  • 学会等名: 2011年電子情報通信学会総合大会(震災により中止のため講演予稿集発行日をもって発表成立とみなす)
  • 年月日: 2011-02-28
• [学会発表] イオンアシスト蒸看によるフッ素系高分子膜の光学反射防止特性 (2011)
  • 著者名/発表者名: 泉田和夫, 他
  • 学会等名: 2011年電子情報通信学会総合大会(震災により中止のため講演予稿集発行日をもって発表成立とみなす)
  • 年月日: 2011-02-28
• [学会発表] Preparation of poly(vinylcarbazole) thin films tethered to substrate surface through self-assembled monolayer having benzophenone end group (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Ohtsuka, S.-H.Kim, M.C.Tria, R.C.Advincula, H.Usui
  • 学会等名: 9th International Conference on Nano-Molecular Electronics(PII-12)
  • 発表場所: Kobe International Conference Center (Kobe)
  • 年月日: 2010-12-15
• [学会発表] Preparation of Poly(vinylcarbazole) Thin Films Tethered to Substrate Surface Through Self-Assembled Monolayer Having Benzophenone End Group (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Ohtsuka, et al.
  • 学会等名: 9th International Conference on Nano-Molecular Electronics
  • 発表場所: 神戸国際会議場(神戸)
  • 年月日: 2010-12-14
• [学会発表] Vapor-Deposition Polymerization of Cross-linked Fluoropolymer Thin Film and Its Application for Anti-reflective Coating (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Hosoda, et al.
  • 学会等名: 9th International Conference on Nano-Molecular Electronics
  • 発表場所: 神戸国際会議場(神戸)
  • 年月日: 2010-12-14
• [学会発表] 自己組織化膜による有機蒸着膜の界面制御とデバイス応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明, 金性湖
  • 学会等名: 高分子学会10-2有機EL研究会(依頼講演)
  • 発表場所: 千里ライフサイエンスセンター(大阪)
  • 年月日: 2010-12-10
• [学会発表] 光反応性有機薄膜の蒸着と有機ELパターン形成への応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 室山雅和, 他
  • 学会等名: 第3回智のシンポジウム
  • 発表場所: 東京大学(東京)
  • 年月日: 2010-11-13
• [学会発表] TPD蒸着膜の熱重合による正孔輸送層の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 室山雅和, 他
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館(東京)
  • 年月日: 2010-11-12
• [学会発表] SAM modification on substrate surface for interface control of vapor deposited film (2010)
  • 著者名/発表者名: S.-H.Kim, H.Usui
  • 学会等名: 10th International Discussion & Conference on Nano Interface Controlled Electronic Devices(ISC2)
  • 発表場所: Haevichi Hotel (Jeju, Korea)
  • 年月日: 2010-10-27
• [学会発表] SAM Modification On Substrate Surface For Interface Control of Vapor Deposited Film (2010)
  • 著者名/発表者名: S.-H.Kim And H.Usui
  • 学会等名: 10th International Discussion & Conference on None Interface Controlled Electronic Devices
  • 発表場所: Haevichi Hotel (Jeju)
  • 年月日: 2010-10-27
• [学会発表] イオンアシスト蒸着によるフッ素系高分子薄膜の作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 松田剛, 他
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: NTT武蔵野開発センター(東京)
  • 年月日: 2010-10-22
• [学会発表] 蒸着重合法によるエポキシ高分子薄膜の作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 福井重一, 他
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: NTT武蔵野開発センター(東京)
  • 年月日: 2010-10-22
• [学会発表] Maskless Patterning of Vapor-Deposited Photosensitive Film and its Application to Organic Light-Emitting Diodes (2010)
  • 著者名/発表者名: M.Muroyama, et al.
  • 学会等名: 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: 東京大学(東京)
  • 年月日: 2010-09-22
• [学会発表] スピンコートと光重合による高分子薄膜の微細パターン形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 宮川大地, 他
  • 学会等名: 電子情報通信学会2010年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 大阪府立大学(大阪)
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] イオン照射を用いた蒸着重合法によるフッ素系高分子薄膜の作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 松田剛, 他
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学(長崎)
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] 酸化タングステン/SAM膜によるITO表面の修飾 (2010)
  • 著者名/発表者名: 大塚華恵, 他
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学(長崎)
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] Growth Control of Carbazole Thin Films by Surface-Initiated Vapor Deposition Polymerization on ITO Surface (2010)
  • 著者名/発表者名: S.-H. Kim, et al.
  • 学会等名: KJF International Conference on Organic Materials for Electronics and Photanics
  • 発表場所: 北九州国際会議場(北九州)
  • 年月日: 2010-08-22
• [学会発表] Ion-Assisted Deposition Polymerization of Fluoropolymer Thin Films (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Sends, et al.
  • 学会等名: KJF International Conference on Organic Materials for Electronics and Photonics
  • 発表場所: 北九州鴎会議場(北九州)
  • 年月日: 2010-08-22
• [学会発表] 光反応性有機薄膜を用いた有機EL素子形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 室山雅和, 他
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館(東京)
  • 年月日: 2010-07-12
• [学会発表] Manipulation of Work Function and Surface Free Energy of Tungsten Oxide Hole-Injection Layer by Use of Self-Assembled Monolayer (2010)
  • 著者名/発表者名: S.-H. Kim, et al.
  • 学会等名: International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies
  • 発表場所: 富山国際会議場(富山)
  • 年月日: 2010-06-22
• [学会発表] ビニル化合物の蒸着重合と有機EL素子形成への応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 有機EL討論会第10回例会(依頼講演)
  • 発表場所: 日本科学館(東京)
  • 年月日: 2010-06-17
• [学会発表] 感光性蒸着膜を用いた高分子薄膜パターン形成と有機ELへの応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 斎藤航, 他
  • 学会等名: 繊維学会2010年年次大会
  • 発表場所: タワーホール船堀(東京)
  • 年月日: 2010-06-16
• [学会発表] イオン照射を用いた蒸着重合法によるフッ素系高分子薄膜の作製 (2010)
  • 著者名/発表者名: 松田剛, 他
  • 学会等名: 繊維学会2010年年次大会
  • 発表場所: タワーホール船堀(東京)
  • 年月日: 2010-06-16
• [学会発表] ITO表面への酸化タングステン/SAM膜形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 大塚華恵, 他
  • 学会等名: 繊維学会2010年年次大会
  • 発表場所: タワーホール船堀(東京)
  • 年月日: 2010-06-16
• [学会発表] Vapor deposition polymerization and electrical characterization of TPD thin films (2010)
  • 著者名/発表者名: M.Muroyama, et al.
  • 学会等名: 6th International Symposium on Organic Molecular Electronics
  • 発表場所: 千葉大学(千葉)
  • 年月日: 2010-06-10
• [学会発表] Fabrication of Fine Particles of Semiconducting Polymers by Electrospray Deposition (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Hirose, et al.
  • 学会等名: 6th International Symposium on Organic Molecular Electronics
  • 発表場所: 千葉大学(千葉)
  • 年月日: 2010-06-10
• [学会発表] 自己組織化膜形成による酸化金属電極の表面修飾 (2010)
  • 著者名/発表者名: 金性湖, 他
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館(東京)
  • 年月日: 2010-05-27
• [学会発表] フィルムベース有機デバイスのための界面制御とプロセス技術に関する技術調査総括 (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 電気学会電子材料研究会
  • 発表場所: 自動車会館(東京)
  • 年月日: 2010-05-21
• [学会発表] 光反応性有機薄膜の蒸着とパターン形成への応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 室山雅和, 他
  • 学会等名: 電気学会電子材料研究会
  • 発表場所: 自動車会館(東京)
  • 年月日: 2010-05-21
• [学会発表] Processing Backplane Technology Development for MEMS Display and New Technology Development of Push-pull Membrane Switch (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Senda, et al.
  • 学会等名: International Conference on Electronics Packaging
  • 発表場所: Sapporo Convention Center(札幌)
  • 年月日: 2010-05-12
• [学会発表] 光重合性スピンコート膜を用いた高分子薄膜のパターン形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 宮川大地
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学(神奈川県)
  • 年月日: 2010-03-20
• [学会発表] 総論 -有機薄膜及び複合膜のナノ界面物性・制御とプロセス技術- (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 平成22年電気学会全国大会
  • 発表場所: 明治大学(東京都)
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] まとめ -高機能フィルムベースデバイスの開発に向けて- (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 平成22年電気学会全国大会
  • 発表場所: 明治大学(東京都)
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] 蒸着重合法による耐熱性フッ素系高分子薄膜の作製とその反射防止特性の検討 (2010)
  • 著者名/発表者名: 細田泰弘
  • 学会等名: 電子情報通信学会2008年総合大会
  • 発表場所: 東北大学(宮城県)
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] 蒸着重合によるTPD正孔輸送層の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 室山雅和
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学(神奈川県)
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] ビニルカルバゾール蒸着重合膜形成における表面開始剤SAMの効果 (2010)
  • 著者名/発表者名: 梅本祐也
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学(神奈川県)
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] 共蒸着重合法を用いたポリ尿素/SiO積層膜の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 田渕仁
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学(神奈川県)
  • 年月日: 2010-03-17
• [学会発表] Photo-patterning of polymer layers by vapor deposition of photosensitive thin films (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 9th International Discussion & Conference on Nano Interface Controlled Electronic Devices
  • 発表場所: 千葉大学(千葉県)
  • 年月日: 2009-11-19
• [学会発表] エレクトロスプレー法による高分子半導体微粒子の形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 廣瀬悠人
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館(東京都)
  • 年月日: 2009-11-13
• [学会発表] Fabrication of Electrophoretic Display Driven by Membrane Switch Array (2009)
  • 著者名/発表者名: 泉田和夫
  • 学会等名: 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: 仙台国際ホテル(宮城県)
  • 年月日: 2009-10-08
• [学会発表] 新真空プロセスによる高分子薄膜の形成とデバイス応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 日本学術振興会 分子ナノテクノロジー第174委員会第30回研究会
  • 発表場所: 大阪大学(大阪府)
  • 年月日: 2009-10-08
• [学会発表] Effect of SAM Modification on ITO Surface for UV-Assisted Vapor Deposition of Carbazole Thin Films (2009)
  • 著者名/発表者名: 梅本祐也
  • 学会等名: 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: 仙台国際ホテル(宮城県)
  • 年月日: 2009-10-07
• [学会発表] 光誘起蒸着重合法によるポリビニルカルバゾール薄膜の形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 梅本祐也
  • 学会等名: 電子情報通信学会2009年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 新潟大学(新潟県)
  • 年月日: 2009-09-16
• [学会発表] Ion-Assisted Vapor Deposition of Acryl Polymer Thin Films (2009)
  • 著者名/発表者名: 泉田和夫
  • 学会等名: 16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
  • 発表場所: 産業技術総合研究所(東京都)
  • 年月日: 2009-09-14
• [学会発表] Thermally stable polyimide/Cu hybrid membranes using ion track technique (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Koshikawa
  • 学会等名: 16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
  • 発表場所: 産業技術総合研究所(東京都)
  • 年月日: 2009-09-13
• [学会発表] 架橋材との同時蒸着による耐熱性フッ素系アクリルポリマー薄膜の作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 細田泰弘
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学(富山県)
  • 年月日: 2009-09-09
• [学会発表] イオン照射アシスト蒸着重合による高分子薄膜形成技術 (2009)
  • 著者名/発表者名: 外輪俊介
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学(富山県)
  • 年月日: 2009-09-09
• [学会発表] ビニルカルバゾール蒸着重合膜形成における表面開始剤SAM膜の効果 (2009)
  • 著者名/発表者名: 梅本祐也
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館(東京都)
  • 年月日: 2009-09-03
• [学会発表] Formation of polymer thin films and interface control by physical vapor deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: SPIE Optics and Photonics Conference
  • 発表場所: San Diego Convention Center(米国)
  • 年月日: 2009-08-05
• [学会発表] Formation of polymer thin films and interface control by physical vapor deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Usui
  • 学会等名: SPIE Optics and Photonics Conference(7404-13)
  • 発表場所: San Diego Convention Center (San Diego)
  • 年月日: 2009-08-04
• [学会発表] ドライプロセスを用いた高分子薄膜形成と界面制御 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: フィルムベース有機デバイス第1回シンポジウム
  • 発表場所: 自動車会館(東京都)
  • 年月日: 2009-07-23
• [学会発表] 物理蒸着法による高分子薄膜制御とデバイス応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 電気学会誘電・絶縁材料技術委員会
  • 発表場所: 加藤科学振興会軽井沢研修所(群馬県)
  • 年月日: 2009-07-23
• [学会発表] イオン照射アシストによる蒸着重合膜の作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 加藤科学振興会軽井沢研修所(群馬県)
  • 年月日: 2009-07-23
• [学会発表] 電子アシスト蒸着によるフッ素系高分子薄膜作製 (2009)
  • 著者名/発表者名: ジャハンファーメヘディ
  • 学会等名: 繊維学会2009年年次大会
  • 発表場所: タワーホール船堀(東京都)
  • 年月日: 2009-06-12
• [学会発表] 光誘起蒸着重合法によるポリビニルカルバゾール薄膜の形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 梅本祐也
  • 学会等名: 繊維学会2009年年次大会
  • 発表場所: タワーホール船堀(東京都)
  • 年月日: 2009-06-11
• [学会発表] メンブレンスイッチを背面板とした電子ペーパーディスプレイの開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 泉田和夫
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館(東京都)
  • 年月日: 2009-05-22
• [学会発表] フツ素系アクリルポリマー蒸着重合膜の反射防止特性 (2009)
  • 著者名/発表者名: 細田泰弘
  • 学会等名: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-03-30
• [学会発表] Polymeri c film deposit ion by coevaporat ion of polymer i zablemonomer and ini t iator (2009)
  • 著者名/発表者名: Masakazu Muroyama
  • 学会等名: 5th International Conference on MolecularElectronics and Bioelectronics
  • 発表場所: フェニックスシーガイアリゾート 宮崎県
  • 年月日: 2009-03-15
• [学会発表] 高分子エレクトロニクスデバイスへ向けた無溶媒薄膜形成技術 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 科学技術振興機構地域発技術シース発表会
  • 発表場所: ひたちなか市文化会館
  • 年月日: 2009-03-07
• [学会発表] 物理蒸着法による高分子薄膜形成と界面制御 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 応用物理学会有機分子・バイオエレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 産業技術総合研究所臨海センター 東京都江東区
  • 年月日: 2009-03-03
• [学会発表] Polymeric film formation by physical vapor deposition technique (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Usui
  • 学会等名: Smart Coatings 2009(II-7)
  • 発表場所: Embassy Suites Orlando (Orlando, Florida)
  • 年月日: 2009-02-25
• [学会発表] Polymeri c film format ion by physical vapor depositiontechnique (2009)
  • 著者名/発表者名: Hiroak i Usui
  • 学会等名: Smart Coatings 2009
  • 発表場所: Embassy Suites, Orlando, U. S. A.
  • 年月日: 2009-02-25
• [学会発表] 物理蒸着法による高分子薄膜形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: コンバーティング・テクノロジー総合展テクニカルフォーラム
  • 発表場所: 東京ビッグサイト
  • 年月日: 2009-02-19
• [学会発表] vapor deposition polymeri zat ion of vinyl compounds andfabrication of OLED hav ing stacked emissive layers (2008)
  • 著者名/発表者名: Ei ji Otsuki
  • 学会等名: 8th International Conferenceon Nano-Molecular Electronics
  • 発表場所: 神戸ポートピアホテル兵庫県
  • 年月日: 2008-12-16
• [学会発表] 重合性モノマーと開始剤の共蒸着による高分子薄膜の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 横倉精二
  • 学会等名: 電子情報通信学会有機エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館東京都港区
  • 年月日: 2008-12-11
• [学会発表] 物理蒸着による無溶媒高分子薄膜形成技術 (2008)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 第1回智のシンポジウム
  • 発表場所: 東京大学
  • 年月日: 2008-11-15
• [学会発表] In-situ IR observat ion of growth proces s of fluoropolymerthin films by phys ica1 vapor deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Nakao
  • 学会等名: 20th Korea-Japan Joint Forum on OrganicMaterials for Electronics and Photonics
  • 発表場所: 千歳科学技術大学北海道千歳市
  • 年月日: 2008-10-23
• [学会発表] Preparation of fluoropolymer thin films by physical vapor deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: H.Usui
  • 学会等名: 8th International Discussion & Conference on Nano Interface Controlled Electronic Devices(OA8)
  • 発表場所: Pohang University of Science and Tecyhnology (Pohang, Korea)
  • 年月日: 2008-10-14
• [学会発表] Preparat ion of fluoropolymer thin films by phys i cal vapordepos i t ion (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroaki Usui
  • 学会等名: 8th International Discussion & Conference onNano Interface Controlled Electronic Devices
  • 発表場所: Postech, Pohang, Korea
  • 年月日: 2008-10-14
• [学会発表] Selective patterning for organic light-emitting-diodes byphys ical vapor depos it ion of photosensitive materials (2008)
  • 著者名/発表者名: Masakazu Muroyama
  • 学会等名: 2008 International Conference on SolidState Devices
  • 発表場所: 筑波国際会議場茨木県
  • 年月日: 2008-09-24
• [学会発表] 燐光性ビニル化合物を用いた二色積層型有機EL素子の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 乙木栄志
  • 学会等名: 電子情報通信学会2008年ソサイェテイ大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2008-09-16
• [学会発表] 物理蒸着によるポリペプチド薄膜成長過程の表面プラズモン観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 学会等名: 電子情報通信学会2008年ソサイェテイ大会
  • 発表場所: 明治大学
  • 年月日: 2008-09-16
• [学会発表] 蒸着重合膜形成における表面開始剤SAM膜の効果 (2008)
  • 著者名/発表者名: 梅本祐也
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学f 知
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] 重合性モノマーと開始剤の共蒸着による高分子薄膜の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 横倉精二
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学愛知県
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] エレクトロスプレー法による高分子半導体超微粒子の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 廣瀬悠人
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学愛知県
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] Fabrication of OLED devices from vapor-deposited polymer coatings (2008)
  • 著者名/発表者名: H.Usui
  • 学会等名: US-Japan POLYMAT 2008 SUMMIT
  • 発表場所: Ventura Beach (California)
  • 年月日: 2008-08-10
• [学会発表] Fabrication of OLED devices from vapor-deposited polymercoatings (2008)
  • 著者名/発表者名: Hi roak i Usui
  • 学会等名: us-Japan POLYMAT 2008 SUMMIT
  • 発表場所: Hotel Ventura Beach, California (U. S. A. )
  • 年月日: 2008-08-10
• [学会発表] 発光層にビニル化合物を用いた有機EL素子の作製 (2008)
  • 著者名/発表者名: 乙木栄志
  • 学会等名: 電子情報通信学会材料デバイスサマーミーティング
  • 発表場所: 機械振興会館東京都港区
  • 年月日: 2008-06-27
• [学会発表] 蒸着法によるポリペプチド製膜過程の表面プラズモン観察 (2008)
  • 著者名/発表者名: 小倉健太
  • 学会等名: 繊維学会2008年年次大会
  • 発表場所: タワーホール船堀東京都江戸川
  • 年月日: 2008-06-18
• [学会発表] In-si tu surface pi asmon observat i on of polypeptidedepos it ion polymer i zat ion (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroaki Usui
  • 学会等名: 5th Internat ional Sympos ium on Or gani cMolecular Electronics
  • 発表場所: 兵庫大学兵庫県
  • 年月日: 2008-05-22
• [学会発表] フツ素系アクリレート高分子膜の蒸着重合における表面物性制御 (2008)
  • 著者名/発表者名: 仲尾建治
  • 学会等名: 電気学会電子材料研究会
  • 発表場所: 東京大学
  • 年月日: 2008-05-16
• [図書] ロールtoロール事例集(真空蒸着のRoll to Rollプロセスにおける現行技術と課題) (2011)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 出版者: 情報機構
• [図書] ロールtoロール事例集 (2011)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 出版者: 情報機構
• [図書] Nanoscale Interface for Organic Electronics(Physical vapor deposition of polymer thin films and its application to organic devices)(Eds., M.Iwamoto, Y.-S.Kwon, and T.Lee) (2010)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 出版者: World Scientific
• [図書] Nanoscale Interface for Organic Electronics (2010)
  • 著者名/発表者名: H.Usui
  • 出版者: World Scientific
• [図書] 新コーティングのすべて(荒木正義監修) (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 出版者: 加工技術研究会
• [図書] 有機デバイスのための界面評価と制御技術(物理蒸着法を用いた有機デバイスの界面制御)(岩本光正監修) (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 出版者: シーエムシー出版
• [図書] 造粒事例と頻出Q&A集 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 出版者: 情報機構
• [図書] 造粒事例と頻出Q& A集 (2009)
  • 著者名/発表者名: 臼井博明
  • 出版者: 情報機構
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://www.tuat.ac.jp/~usuilab/
• [備考]
  • URL: http://kenkyu-web.tuat.ac.jp/Profi1es/7/0000637/profi1e.html
• [産業財産権] 光学部品、撮像レンズ及びフッ素系高分子膜のコーティング方法 (2009)
  • 発明者名: 臼井博明, 細田泰弘, 森井辰輔, 藤田隆志, 村岡祐司
  • 権利者名: 小松ライト(株), 東京農工大学
  • 公開番号: 2010-224315
  • 出願年月日: 2009-03-24
• [産業財産権] 表示装置の製造方法 (2008)
  • 発明者名: 室山雅和, 齋藤一郎, 臼井博明, 横倉精二
  • 権利者名: (株)ソニー, 東京農工大学
  • 公開番号: 2010-097886
  • 出願年月日: 2008-10-20
• [産業財産権] 自己整合層を用いた表示素子のパターニング方法 (2008)
  • 発明者名: 室山雅和
  • 権利者名: 東京農工大学, (株)ソニー
  • 産業財産権番号: 2008-269343
  • 出願年月日: 2008-10-11