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超臨界高周波プラズマによる新規プラズマプロセスの開発

研究課題

研究課題/領域番号 20540484
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 プラズマ科学
研究機関愛媛大学

研究代表者

前原 常弘  愛媛大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (40274302)

研究分担者 川嶋 文人  愛媛大学, 農学部, 寄付講座准教授 (60346690)
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2009年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2008年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
キーワード超臨界 / 高周波プラズマ / プロセス / プラズマ / 高周波 / 二酸化炭素 / 分光
研究概要

電極間に高周波を印加し、プラズマを大気圧下で発生させる。その後、高圧ポンプにより二酸化炭素を供給して所定の圧力まで加圧する。このような方法で、超臨界を含む高圧下での高周波プラズマを発生・維持させる。本方法で得たプラズマの基礎特性として、温度を分光計測から評価した。さらに、線スペクトルの広がりから、密度の評価を試みたが、現時点で困難であることが明らかとなった。一方、応用として種々のナノ材料生成を行った。

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (16件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] Spectroscopic measurements of radio frequency plasmas in supercritical fluids2010

    • 著者名/発表者名
      T.Maehara, A.Iwamae, A.Kawashima
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings 1290

      ページ: 44-52

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 小特集超臨界中プラズマの基礎と応用(第3章)2010

    • 著者名/発表者名
      前原常弘、川嶋文人
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 86

      ページ: 312-316

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 超臨界二酸化炭素高周波プラズマの開発研究,Jasco Report2010

    • 著者名/発表者名
      川嶋文人、前原常弘、豊田洋通、向笠忍、野村信福
    • 雑誌名

      超臨界最新技術特集 第10号

      ページ: 5-9

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] 小特集 超臨界中プラズマの基礎と応用2010

    • 著者名/発表者名
      寺嶋和夫編
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌

      巻: 86 ページ: 303-333

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [雑誌論文] Spectroscopic measurements of radio frequency plasmas in supercritical fluids2010

    • 著者名/発表者名
      T.Maehara, A.Iwamae, A.Kawashima
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: 1290 ページ: 44-52

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [雑誌論文] 超臨界二酸化炭素高周波プラズマの開発研究2010

    • 著者名/発表者名
      川嶋文人, 他
    • 雑誌名

      Jasco Report 10

      ページ: 5-9

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] Spectroscopic Measurements of High Frequency Plasma in Supercritical Carbon Dioxide Phys.2009

    • 著者名/発表者名
      T.Maehara, A.Kawashima, A.Iwamae, S.Mukasa, T.Takemori, T.Watanabe, K.Kurokawa, H.Toyota, S.Nomura
    • 雑誌名

      Plasmas 16

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Spectroscopic Measurements of High Frequency Plasma in Supercritical Carbon Dioxide2009

    • 著者名/発表者名
      前原常弘, 他
    • 雑誌名

      Phys ics of Plasmas 16

      ページ: 33503-33503

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Spectroscopic Measurements of High Frequency Plasma Jet in Supercritical Argon2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kihara, T.Maehara, S.Nomura,, H.Toyota, S.Mukasa, A.Kawashima
    • 学会等名
      3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2011)
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • 年月日
      2011-03-08
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Spectroscopic Measurements of High Frequency Plasma Jet in Supercritical Argon2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kihara, et al.
    • 学会等名
      3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nit rides and Nanomaterials(ISPIasma2011)
    • 発表場所
      名古屋工業大学
    • 年月日
      2011-03-08
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Spectroscopic Measurements of Radio Frequency Plasmas in Supercritical Fluids2010

    • 著者名/発表者名
      T.Maehara, A.Iwamae, A.Kawashima
    • 学会等名
      20th International Conference on Spectral Line Shapes
    • 発表場所
      Memorial University of Newfoundland, Canada
    • 年月日
      2010-06-07
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Characterization of high-frequency supercritical CO_2 plasma2010

    • 著者名/発表者名
      A.Kawashima, T.Maehara, T.Watanabe, S.Nomura, H.Toyota, S.Mukasa, H.Yamashita, A.Kawashima
    • 学会等名
      International Work Shop on Plasmas with Liquids
    • 発表場所
      奥道後ホテル(松山市)
    • 年月日
      2010-03-23
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Generation of Dielectric Barrier Discharge in Supercritical Argon2010

    • 著者名/発表者名
      H.Shiraishi, T.Mahara, S.Mukasa, H.Toyota, S.Nomura, A.Kawashima
    • 学会等名
      International Work Shop on Plasmas with Liquids
    • 発表場所
      奥道後ホテル(松山市)
    • 年月日
      2010-03-23
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] Characterization of high-frequency supercritical CO2 plasma2010

    • 著者名/発表者名
      A.Kawashima, et al.
    • 学会等名
      International Work Shop on Plasmas with Liquids
    • 発表場所
      奥道後ホテル(松山市)
    • 年月日
      2010-03-23
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 超臨界二酸化炭素高周波プラズマの分光解析2009

    • 著者名/発表者名
      渡辺高志、前原常弘、野村信福、豊田洋通、向笠忍、岩前敦、川嶋文人
    • 学会等名
      化学工学会第74回年会
    • 発表場所
      横浜国立大学
    • 年月日
      2009-03-20
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2008 実績報告書
  • [学会発表] 超臨界二酸化炭素中高周波プラズマの分光計測2009

    • 著者名/発表者名
      前原常弘、岩前敦、向笠忍、竹森俊彦、渡辺高志、黒河賢哉、豊田洋通、野村信福、川嶋文人豊田
    • 学会等名
      プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2009-02-04
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2008 実績報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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