| 研究課題/領域番号 |
20540486
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 東海大学 |
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研究代表者 |
進藤 春雄 東海大学, 情報理工学部, 教授 (20034407)
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| 連携研究者 |
沖村 邦雄 東海大学, 情報理工学部, 教授 (00194473)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2008年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | 大面積プラズマプロセス / 大面積プラズマ / フラットパネルディスプレー / 太陽電池薄膜CVD / フレキシブルエレクトロニクス / 大面積プラスティック表面処理 / 大規模ラインプラズマ / 大規模マイクロ波プラズマ |
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| 研究概要 |
次世代大型ディスプレイパネル対応の大面積プロセスや太陽電池薄膜CVD用大面積プラズマ源の実現を目的に、大規模マイクロ波ラインプラズマ生成技術の研究を行い、最長2mのラインプラズマ生成に成功した。プラズマ電子密度の軸方向一様性は長さ2mにわたって4%以内、電子密度は最大7x1011cm-3の高密度であり、電子密度の値がマイクロ波カットオフ密度より十分に高い密度となる条件が軸方向一様性を決めていることを明らかにした。
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