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ナノインプリント的手法による非単結晶基板上への連続単結晶テンプレート層作製と応用

研究課題

研究課題/領域番号 20560003
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 応用物性・結晶工学
研究機関秋田大学

研究代表者

佐藤 祐一  秋田大学, 大学院・工学資源学研究科, 准教授 (70215862)

研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2009年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2008年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード薄膜 / 単結晶 / 非単結晶基板
研究概要

本研究では当該研究期間に単結晶テンプレート層として相応しい材料を探索し,それらの各材料の単結晶成長の条件について検討を行った。また,各種のテンプレート層材料と半導体薄膜との組み合わせを検討した。In薄膜に関しては,熱処理時の温度に応じてその雰囲気を不活性から酸素が存在するものへ変えることでIn_2O_3薄膜を形成すると同時に,その結晶成長の制御ができることを明らかにした。その他の金属薄膜に関しても,狭い条件範囲ではあるが単結晶成長が可能であることを明らかにした。In_2O_3薄膜に関しては,いくつかの化合物半導体薄膜に対してテンプレート層として用いることが可能であることを明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (31件)

すべて 2011 2010 2009 2008

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (25件)

  • [雑誌論文] A Dependence of Crystallinity of In_2O_3 Thin Films by a Two-Step Heat Treatment of Indium Films on the Heating Atmosphere2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato, Fumito Otake, Hirotoshi Hatori
    • 雑誌名

      J. Mod. Phys

      巻: Vol.1 ページ: 360-363

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vacuum Evaporation of CdTe Thin Films on Ni, MoMo, Ti, TiN-Deposited Sapphire Single-Crystal Substrates2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato, Hirotoshi Hatori, Suguru Igarashi, Manabu Arai, Kazuki Ito, Syota Kikuchi
    • 雑誌名

      Cur. Appl. Phys

      巻: Vol.10

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thin Film Depositions of CdTe Semiconductors on Amorphous and Single Crystal Substrates and Comparisons of Their Properties2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato, Tat sushi Kodate, Manabu Arai
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: Vol.638-642 ページ: 2909-2914

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Dependence of Crystallinity of In_2O_3 Thin Films by a Two-Step Heat Treatment of Indium Films on the Heating Atmosphere2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato
    • 雑誌名

      Journal of Modern Physics

      巻: 1 ページ: 360-363

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vacuum Evaporation of CdTe Thin Films on Ni, Mo, Ti and TiN-Deposited Sapphire Single-Crystal Substrates2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: 10

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Thin Film Depositions of CdTe Semiconductors on Amorphous and Single Crystal Substrates and Comparisons of Their Properties2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato
    • 雑誌名

      Materials Science Forum 638-642

      ページ: 2909-2914

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] In_2O_3下地層を有するサファイア基板へのIII族窒化物薄膜の成長2011

    • 著者名/発表者名
      伊藤一樹, 原田康平, 船木昂介, 竹本皓樹, 岩城雅人, 佐藤祐一
    • 学会等名
      2011年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      東京都市大学,東京都
    • 年月日
      2011-03-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] An Improvement of Crystal Quality of Group III-Nitride Thin Films on Sapphire by Using In_2O_3 Under Layer2011

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Ito, Kohei Harada, Kosuke Funaki, Hiroki Takemoto, Masato Iwaki, Yuichi Sato
    • 学会等名
      3^<rd> Int. Sympo. On Advanced Plasma Sci. and its Application for Nitrides and Nan omaterials
    • 発表場所
      名古屋工業大学,名古屋市
    • 年月日
      2011-03-06
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] An Improvement of Crystal Quality of Group III-Nitride Thin Films on Sapphire by Using In_2O_3 Under Layer2011

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Ito
    • 学会等名
      3^<rd> Int.Sympo.On Advanced Plasma Sci.and its Application for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名古屋工業大学,名古屋市
    • 年月日
      2011-03-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 下地導電層を有するサファイア基板へのCdS薄膜の作製2010

    • 著者名/発表者名
      荒井学, 伊藤一樹, 佐藤祐一
    • 学会等名
      2010年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      大阪府立大学,堺市
    • 年月日
      2010-09-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] サファイア基板上Al薄膜の固相エピタキシャル成長2010

    • 著者名/発表者名
      五十嵐傑, 伊藤一樹, 羽鳥裕俊, 佐藤祐一
    • 学会等名
      2010年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      大阪府立大学,堺市
    • 年月日
      2010-09-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Properties of CdS and CdTe Thin Films Vacuum Evaporated on Several Epitaxially Grown Under Layers2010

    • 著者名/発表者名
      Manabu Arai, Kazuki Ito, Hirotoshi Hatori, Suguru Igarashi, Yuichi Sato
    • 学会等名
      5^<th> World Conf. on Photovoltaic Energy Conversion
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2010-09-07
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Properties of CdS and CdTe Thin Films Vacuum Evaporated on Several Epitaxially Grown Under Layers2010

    • 著者名/発表者名
      Manabu Arai
    • 学会等名
      5^<th> World Conf.on Photovoltaic Energy Conversion
    • 発表場所
      Valencia, Spain
    • 年月日
      2010-09-07
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Crystallinity of In_2O_3 Thin Films on Sapphire Substrates Obtained by a Two-Step Heat Treatment of Metal Indium Thin Films2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato, Fumito Otake, Hirotoshi Hatori
    • 学会等名
      16th Int. Conf. on Crystal Growth
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2010-08-09
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Crystallinity of In_2O_3 Thin Films on Sapphire Substrates Obtained by a Two-Step Heat Treatment of Metal Indium Thin Films2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato
    • 学会等名
      16^<th> Int.Conf.on Crystal Growth
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2010-08-09
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 各種導電層を有するサファイア基板へのCdTe薄膜の作製2010

    • 著者名/発表者名
      羽鳥裕俊, 荒井学, 五十嵐傑, 伊藤一樹, 菊池翔太, 佐藤祐一
    • 学会等名
      2010年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      東北大学,仙台市
    • 年月日
      2010-03-16
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 各種導電層を有するサファイア基板へのCdTe薄膜の作製2010

    • 著者名/発表者名
      羽鳥裕俊
    • 学会等名
      2010年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      東北大学, 仙台市
    • 年月日
      2010-03-16
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Vacuum Evaporation of CdTe Thin Films on Ni-deposited Sapphire Single Crystal Substrates and Effects of the Cd/Te Ratio on Their Properties2009

    • 著者名/発表者名
      Hirotoshi Hatori, Suguru Igarashi, Manabu Arai, Yuichi Sato
    • 学会等名
      19^<th> Int. Photovoltaic Sci. and Eng. Conf
    • 発表場所
      Jeju, Korea.
    • 年月日
      2009-11-09
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Vacuum Evaporation of CdTe Thin Films on Ni-deposited Sapphire Single Crystal Substrates and Effects of the Cd/Te Ratio on Their Properties2009

    • 著者名/発表者名
      羽鳥裕俊
    • 学会等名
      19^<th> Int.Photovoltaic Sci.and Eng.Conf.
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2009-11-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Thin Film Depositions of Several Compound Semiconductors on Amorphous and Single crystal Substrates and Comparisons of Their Properties2009

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato
    • 学会等名
      Int. Conf. on Processing and Manufacturing of Advanced Materi
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2009-08-25
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Thin Film Depositions of Several Compound Semiconductors on Amorphous and Single crystal Substrates and Comparisons of Their Properties2009

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato
    • 学会等名
      Int.Conf.on Processing and Manufacturing of Advanced Materials
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2009-08-25
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 真空蒸着法により作製したInドープCdTe薄膜のPL特性2009

    • 著者名/発表者名
      小舘達, 荒井学, 佐藤祐一
    • 学会等名
      2009年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      2009-03-17
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2008 実績報告書
  • [学会発表] サファイア単結晶基板を用いたCu薄膜の固相エピタキシャル成長2009

    • 著者名/発表者名
      羽鳥裕俊, 小坂井啓一, 五十嵐傑, 佐藤祐一
    • 学会等名
      2009年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 年月日
      2009-03-17
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2008 実績報告書
  • [学会発表] Comparisons of Properties of CdTe Thin Films Deposited on Glass and Sapphire Substrates by a Vacuum Evaporation Method2009

    • 著者名/発表者名
      Tatsushi Kodate, Manabu Arai, Yuichi Sato
    • 学会等名
      18^<th> Int. Photovoltaic Sci. and Eng. Conf
    • 発表場所
      KOLKATA, INDIA.
    • 年月日
      2009-01-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Keichi Kosakai, Yuichi Sato, Preparations of Indium Oxide Thin Films by an Oxidation and Recrystallization Method of Metal Indium Thin Films2009

    • 著者名/発表者名
      Fumito Otake, Hirotoshi Hatori, Koya Muyari
    • 学会等名
      18^<th> Int. Photovoltaic Sci. and Eng. Conf
    • 発表場所
      KOLKATA, INDIA
    • 年月日
      2009-01-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Preparations of Indium Oxide Thin Films by an Oxidation and Recrystallization Method of Metal Indium Thin Films2009

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato
    • 学会等名
      18th Int. Photovoltaic Sci. and Eng. Conf.
    • 発表場所
      KOLKATA, INDIA
    • 年月日
      2009-01-19
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Comparisons of Properties of CdTe Thin Films Deposited on Glass and Sapphire Substrates by a Vacuum Evaporation Method2009

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Sato
    • 学会等名
      18^<th> Int. Photovoltaic Sci. and Eng. Conf
    • 発表場所
      KOLKATA, INDIA
    • 年月日
      2009-01-19
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 真空蒸着法によるサファイアおよびガラス基板上へのCdTe薄膜の作製とその諸特性2008

    • 著者名/発表者名
      小舘達, 荒井学, 佐藤祐一
    • 学会等名
      2008年電子情報通信学会エレクトロニ7InN薄膜のInN(0002)X線ロッキングカーブクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      明治大学生田キャンパス
    • 年月日
      2008-09-16
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] In薄膜の熱酸化・再結晶化によるIn_2O_3薄膜の作製2008

    • 著者名/発表者名
      大竹文人, 羽鳥裕俊, 小坂井啓一, 佐藤祐一
    • 学会等名
      2008年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      明治大学生田キャンパス
    • 年月日
      2008-09-16
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] In薄膜の熱酸化・再結晶化によるIn203薄膜の作製2008

    • 著者名/発表者名
      大竹文人
    • 学会等名
      2008年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      明治大学生田キャンパス
    • 年月日
      2008-09-16
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 真空蒸着法によるサファイアおよびガラス基板上へのCdTe薄膜の作製とその諸特性2008

    • 著者名/発表者名
      小舘達
    • 学会等名
      2008年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会
    • 発表場所
      明治大学生田キャンパス
    • 年月日
      2008-09-16
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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