研究概要 |
酸化物高温超伝導の薄膜作製は,通常,真空チェンバーなどを用い大掛かりで高価である。われわれは有機金属分解(MOD)法という基板に溶液を塗り電気炉で焼成するだけの方法で安価に作製することおよび有機金属(MO)溶液の改良を試みた。市販のMO溶液を用いBi_2Sr_2CaCu_2O_<8+x>(Bi-2212)成膜法を確立した後,自作の懸濁液でもBi-2212薄膜の作製に成功し,安価に組成制御が可能になった。この薄膜をメサ型構造に加工し,固有接合を確認した。薄膜表面は平坦であり,界面接合への可能性を有していることが分かった。
|