研究課題
基盤研究(C)
狭ギャップ高圧VHFプラズマは従来のRFプラズマに比べて高電子密度・低電子温度となることから、高速高品質製膜が求められる微結晶シリコン薄膜作製に広く用いられているが、そのメカニズムは十分に理解されていない。本研究ではプラズマに焦点を当て、VHFプラズマの狭ギャップ高圧特性を実験および数値シミュレーションにより明らかにした。同時に効率的なプラズマ生成法を提案・実証した。さらに、製膜実験を行い高速高品質製膜の実現の見通しを得た。
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