| 研究概要 |
ガラス製マイクロ・ナノ光学デバイスの熱インプリントに関する成形試験および有限要素シミュレーションを実施した.D263ガラスの熱粘弾性特性は,圧縮クリープ試験により求めた.成形試験には,ライン&スペースおよびマイクロレンズアレイ形状を付与した金型を用い,ガラスへの転写性が最適となる成形温度,成形圧力について調査した.また,有限要素シミュレーションを実施し,成形試験結果と比較することにより,断面形状および転写高さに関して,ほぼ同様の結果が再現可能であることを確認した.さらに一軸引張試験を実施し,ガラスの強度を温度とひずみ速度との関係として求めた.
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