| 研究課題/領域番号 |
20560083
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
機械材料・材料力学
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
井上 尚三 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50193587)
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| 連携研究者 |
生津 資大 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90347526)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2009年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2008年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | 形状記憶合金 / 薄膜 / マイクロアクチュエータ / スパッタリング / 通電加熱 / ダイヤフラム型デバイス |
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| 研究概要 |
Ti-Ni形状記憶合金を用いたマイクロアクチュエータの応答速度を向上させることを目的とし、第三元素Xを加えたTi-Ni-Xスパッタ薄膜の機械的特性を調査した。その結果、Cuを15%程度加えることで、塑性変形しにくく応答速度の大きな素材とすることができることが明らかとなった。また、その素材を利用したマイクロアクチュエータを作製する技術を確立し、200Hz以上の応答速度があることを示した。
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