| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2008年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| 研究概要 |
本研究では,一体型複合ヒンジ機構による弾性案内と電磁力アクチュエータを用いて,最大1×1mm(X×Y)程度のストローク(ミリストローク)を持つ超精密位置決め機構を構成し,その制御システムを構築した.その結果,2nmのPTP位置決め分解能と,直径1mmの円運動(CP位置決め動作)における真円度誤差10.5nm,半径誤差のRMS値2nm以下を達成し,ミリストロークにわたってナノメートルレベルの位置決め分解能と精度を持つ超精密位置決めシステムを実現することができた
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