| 研究課題/領域番号 |
20560105
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
岩田 太 静岡大学, 工学部, 教授 (30262794)
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| 連携研究者 |
中尾 秀信 独立行政法人物質・材料研究機構, 主任研究員 (80421395)
佐々木 彰 静岡大学, 工学部, 教授 (80022309)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2009年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2008年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | ナノ・マイクロ加工 / ナノピペット / プローブ / SPM / マニピュレーション / 微細加工 / 堆積微細加工 / 滴下制御 / 顕微鏡 / 堆積加工 / マニピュレーター / 推積加工 |
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| 研究概要 |
本研究ではナノスケール堆積加工に関して微小開口を先端に有するナノピペットをSPMプローブに用いることでプローブ先端から液体滴下を可能にするプローブ顕微鏡微細加工装置を開発した.ナノピペットにCuSO_4などの電解液を充填し,Au薄膜表面に堆積する際,電気化学反応で生じるチャージ量を制御することで,ナノスケール(サブアトリットル)でのCuめっき堆積量を制御しながら高安定に滴下可能な手法を開発した.
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