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拡張された解析解制御分子動力学による単結晶シリコンのミクロ破壊機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 20560106
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

稲村 豊四郎  名古屋工業大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60107539)

研究分担者 武澤 伸浩  名古屋工業大学, 大学院・工学研究科, 助教 (50236452)
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2008年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
キーワード分子動力学 / 解析解 / 材料欠陥 / 破壊 / マイクロダイナミックス / ズーミング / モードIき裂先端場 / 粗視化 / 連続体 / 粒子間相互作用 / 繰り込み / 引張り破壊 / ヘルツ押し込み / クラック / シリコン / アモルファス / 欠陥 / 弾性波 / ヘルツ押込み / ミクロ
研究概要

先在欠陥の無い単結晶シリコンのヘルツ押し込み試験においては、圧子接触部でシリコンのダイヤモンド構造がアモルファス構造に変化し、その際弾性波が周囲に放出される。この弾性波が表面を伝播する際の動的応力と、既に圧子周囲に存在するヘルツの静的引張り応力との重畳により表面の局所的な多結晶化が起こり、そこで交差すべりが起きる際、粒界でボイドが生成される。またシリコンのき裂進展は、進展に伴う動的効果の大小によって、破面の3形態すなわちミラー、ミスト、ハックルが現れる。

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2010 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Mechanism of ring crack initiation in Hertz indentation of monocrystalline silicon analyzed by controlled molecular dynamics2010

    • 著者名/発表者名
      稲村豊四郎, 宍倉由記子, 武澤伸浩
    • 雑誌名

      CHIP Annals-Manufacturing Technology Vol.59, No.1

      ページ: 559-562

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 解析解制御MDによる単結晶シリコン押し込み時のリングクラック生成メカニズム解析2010

    • 著者名/発表者名
      宍倉由記子、武澤伸浩、稲村豊四郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 Vol.76, No.4

      ページ: 420-427

    • NAID

      130000421799

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ring crack initiation in micrometer-scale Hertz indentation simulated by controlled molecular dynamics2010

    • 著者名/発表者名
      稲村豊四郎, 宍倉由記子, 武澤伸浩
    • 雑誌名

      The international journal of nanomanufacturing Vo1.6, No.1

      ページ: 12-21

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mechanism of ring crack initiation in Hertz indentation of monocrystalline silicon analyzed by controlled molecular dynamics2010

    • 著者名/発表者名
      T.Inamura, Y.Shishikura, N.Takezawa
    • 雑誌名

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      巻: 59/1 ページ: 559-562

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 解析解制御MDによる単結晶シリコン押し込み時のリングクラック生成メカニズム解析2010

    • 著者名/発表者名
      宍倉由記子, 武澤伸浩, 稲村豊四郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌 76

      ページ: 420-427

    • NAID

      130000421799

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon2009

    • 著者名/発表者名
      稲村豊四郎, 宍倉由記子, 武澤伸浩
    • 雑誌名

      CIRP Annals Manufacturing Technology Vo1.58, No.1

      ページ: 69-72

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon2009

    • 著者名/発表者名
      稲村豊四郎, 宍倉由記子, 武澤伸浩
    • 雑誌名

      CIRP Annals Manufacturing Technology 58/1

      ページ: 69-72

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon2009

    • 著者名/発表者名
      T. Inamura, Y. Shishikura, N. Takezawa
    • 雑誌名

      Annals of the CIRP 58/1

      ページ: 69-72

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 有限要素解で制御されたMDによる単結晶Siの切削メカニズム解析2008

    • 著者名/発表者名
      宍倉由記子、大久保正慈、伊藤正樹、武澤伸浩、稲村豊四郎
    • 学会等名
      精密工学会
    • 発表場所
      東北大学工学部
    • 年月日
      2008-09-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2008 実績報告書
  • [備考] ホームページ等

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2025-11-18  

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