研究課題
基盤研究(C)
切削加工において、コーテッド超硬合金工具は有効な工具材料と思われる。TiNや(Ti、Al)Nが被膜として一般に用いられている。Ti-W基膜が開発された。Ti-W基膜は、優れた密着性を有した。しかし、Ti-W基膜の硬さは、(Ti、Al)N膜に比べ低かった。そこで、Ti-W-Si基膜、すなわち(Ti、W、Si)N、 (Ti、 W、 Si)C、あるいは(Ti、W、Si)(C、N)膜が開発された。これらの新しいTi-W-Si基膜は、TiN、(Ti、Al)N膜に比べ高密着性および高アブレシブ性を示す。
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すべて 雑誌論文 (10件) (うち査読あり 9件)
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