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帯状薄膜ミラーを用いた多入出力光スイッチの製造方法に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 20560233
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関東京工業大学

研究代表者

奥津 和俊  東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教 (40401567)

研究分担者 佐藤 海二  東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 准教授 (00215766)
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2009年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2008年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワード光スイッチ / MEMS / 薄膜 / 静電力 / ミラー
研究概要

本研究は、帯状薄膜ミラーを用いた多入出力光スイッチを容易に製造する方法を明らかにすることを目的とする。著者らが提案するこの光スイッチは簡単な構造で磨耗の問題が無いという特長を持つが、これまで適切な製造方法が明らかになっておらず、手作業に拠る所も大きかった。研究の結果、製造・組み立て方法の改良が、より正確な光スイッチングや駆動電圧の低減につながることが分かった。また、駆動信号の改良による配線数の低減についても調べ、多入出力光スイッチの実現に向けて一定の成果を残した。

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2009 その他

すべて 学会発表 (2件) 備考 (2件)

  • [学会発表] Fabrication Process Improvement of Optical MEMS Switch Using a Belt-shaped Thin Film Mirror2009

    • 著者名/発表者名
      奥津和俊
    • 学会等名
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2009
    • 発表場所
      ステーションホテル小倉(北九州)
    • 年月日
      2009-11-12
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication Process Improvement of Optical MEMS Switch Using a Belt-shaped Thin Film Mirror2009

    • 著者名/発表者名
      奥津和俊
    • 学会等名
      Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2009
    • 発表場所
      ステーションホテル小倉
    • 年月日
      2009-11-12
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://kaiji-www.pms.titech.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://kaiji-www.pms.titech.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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