配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2008年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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研究概要 |
ミリ波回路を設計する際,回路に用いられる基板材料を評価する必要があり,本研究ではその評価法に関する諸検討を行った.基板材料の絶縁層部分の誘電特性の評価には,ウイスパリングギャラリーモード共振器法を適用し,回路用絶縁層の構造に起因する誘電率異方性を評価することに成功した.誘電率の評価結果の一部は,他の誘電率評価法によっても確認した.また,回路の導体薄膜部の表面抵抗測定の基礎的検討も行った.ウイスパリングギャラリーモード共振器法ならびに両端短絡型誘電体共振器法を用いた検討により,銅張り積層板のミリ波表面抵抗の測定技術確立の基礎資料を得た.
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