| 研究課題/領域番号 |
20560296
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
田中 成泰 名古屋大学, エコトピア科学研究所, 准教授 (70217032)
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| 研究協力者 |
出口 将士 名古屋大学, 大学院・工学研究科
櫛田 拓也 名古屋大学, 大学院・工学研究科
丹羽 辰嗣 名古屋大学, 大学院・工学研究科
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2009年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2008年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | 作成・評価技術 / 電子顕微鏡 / 半導体 / 電子線誘起電流 / p-n接合 / PN接合 |
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| 研究概要 |
pn接合の断面試料を用いたSTEM-EBIC観察では、試料厚みが薄くなると拡散の効果が抑えられ、空乏層に対応するEBIC信号の幅が狭くなった。しかし、厚み0.1μm以下になると急激にEBIC信号が弱くなり、実際上検出できなくなってしまった。これは、試料表面の空乏化が原因と考えられる。試料表面にショットキー電極を設けた構造では、EBIC電流から不純物濃度分布が空間分解能10nm以下で推定可能であることが示唆された。
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