| 研究課題/領域番号 |
20560299
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
山下 馨 京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 准教授 (40263230)
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| 研究分担者 |
藤田 孝之 兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 (50336830)
野田 実 京都工芸繊維大学, 工芸科学研究科, 教授 (20294168)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2009年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2008年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 圧電体 / 強誘電体 / 分極 / MEMS / 共振 / 応力 |
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| 研究概要 |
共振型のMEMS(微小電気機械システム)構造体において、圧電体を利用してその共振周波数を制御する方法を提案し、構造体の形状と周波数制御性の関係を明らかにした。ままた圧電体の電極を含む構造を最適化して、共振周波数変化率を従来の十倍以上に向上した。この結果を用いて、アレイセンサによる超音波計測において大きく測定精度を向上する新たな測定法を提案した。
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