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ナノ結晶シリコンの高密度形成法と光機能素子への応用技術の研究

研究課題

研究課題/領域番号 20560316
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関群馬大学

研究代表者

花泉 修  群馬大学, 大学院・工学研究科, 教授 (80183911)

研究分担者 三浦 健太  群馬大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40396651)
連携研究者 吉川 正人  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 量子ビーム応用研究部門, 研究主幹 (40354948)
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2009年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2008年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワードシリコン / ナノ結晶 / イオン注入 / 発光 / フォトニック結晶 / 光デバイス / ナノ結晶シリコン / 紫外発光
研究概要

近年,量子閉じ込め効果を利用したSi系発光材料に関する数多くの報告がなされている.その一種であるナノ結晶シリコン(Si)は,SiO_2媒質へのSiイオン注入等の手法により作製できる.我々は,これまでに,溶融石英(SiO_2)基板にSiイオンを注入し,1150℃以上でアニールすることにより,波長400nm近傍の青色発光ピークを観測しているが,本研究では,溶融SiO_2基板へのSiイオンの照射量を変えると,波長370nm付近の紫外発光ピークが発現することを見出した.更に,フォトニック結晶を利用し,今回得られた紫外発光機能を光デバイスへと応用する取り組みも行った.

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (85件)

すべて 2011 2010 2009 2008

すべて 雑誌論文 (26件) (うち査読あり 26件) 学会発表 (59件)

  • [雑誌論文] Coupled-wave analysis of vector holograms. 2. Reflective gratings formed in photoanisotropic medium with uniaxial birefringence2011

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, K.Miura, O.Hanaizumi, A.Emoto, H.Ono
    • 雑誌名

      Applied Optics Vol.50,No.4

      ページ: 454-459

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A novel thermoelectric system with conductive metal rods and its effective Seebeck coefficients2011

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, Y.Kondoh, O.Hanaizumi, M.Goto
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.459

      ページ: 235-238

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Demonstration of light-emitting two-dimensional photonic crystals composed of silicon-rich silicon-dioxide thin films2011

    • 著者名/発表者名
      K.Miura, O. Hanaizumi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.459

      ページ: 173-176

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design and fabrication of novel photonic crystal waveguide consisting of Si-ion implanted SiO_2 layers2011

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, M.Honmi, S.Kawashiri, T.Shinagawa, K.Miura, O.Hanaizumi, S.Yamamoto, A.Inouye, M.Yoshikawa
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.459

      ページ: 168-172

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Theoretical analysis of photonic band gaps and defect modes of novel photonic crystal waveguides consisting of Si-ion implanted SiO_2 using the finite-difference time-domain method2011

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, S.Kawashiri, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.459

      ページ: 162-167

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mach-Zehnder type thermo-optic switch with antenna-coupled Y-junction fabricated by selective photobleaching of polysilane films2011

    • 著者名/発表者名
      O.Hanaizumi, K.Miura, Y.Hiratani, Y.Machida, M.Uehara
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.459

      ページ: 153-156

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural analysis of RF sputtered Er doped Ta_2O_5 films2011

    • 著者名/発表者名
      J.P.Bange, M.K.Singh, K.Kano, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.459

      ページ: 32-37

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Coupled-wave analysis of vector holograms. 2. Reflective gratings formed in photoanisotropic medium with uniaxial birefringence2011

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: Vol.50 ページ: 454-451

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A novel thermoelectric system with conductive metal rods and its effective Seebeck coefficients2011

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol.459 ページ: 235-238

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Demonstration of light-emitting two-dimensional photonic crystals composed of silicon-rich silicon-dioxide thin films2011

    • 著者名/発表者名
      K.Miura
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol.459 ページ: 173-176

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design and fabrication of novel photonic crystal waveguide consisting of Si-ion implanted SiO_2 layers2011

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol.459 ページ: 168-172

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Theoretical analysis of photonic band gaps and defect modes of novel photoniccrystal waveguides consisting of Si-ion implanted SiO_2 using the finite-difference time-domain method2011

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol.459 ページ: 162-167

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mach-Zehnder type thermo-optic switch with antenna-coupled Y-junction fabricated by selective photobleaching of polysilane films2011

    • 著者名/発表者名
      O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol.459 ページ: 153-156

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural analysis of RF sputtered Er doped Ta_2O_5 films2011

    • 著者名/発表者名
      J.P.Bange
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vol.459 ページ: 32-37

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Coupled-wave analysis of vector holograms : effects of modulation depth of anisotropic phase retardation2010

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, K.Miura, O.Hanaizumi, A.Emoto, H.Ono
    • 雑誌名

      Applied Optics Vol.49,No.28

      ページ: 5205-5211

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of recording wavelength on three-dimensional vector holograms in photoreactive liquid crystal composites2010

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, O.Hanaizumi, T.Iwato, A.Emoto, N.Kawatsuki H.Ono
    • 雑誌名

      Optics Communications Vol.283,No.4

      ページ: 528-531

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Coupled-wave analysis of vector holograms : effects of modulation depth of anisotropic phase retardation2010

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: Vol.49 ページ: 5205-5211

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of recording wavelength on three-dimensional vector holograms in photoreactive liquid crystal composites2010

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, O.Hanaizumi, T.Iwato, A.Emoto, N.Kawatsuki, H.Ono
    • 雑誌名

      Optics Communications Vol 283

      ページ: 528-531

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Intense photoluminescence from erbium-doped tantalum oxide thin films deposited by sputtering2009

    • 著者名/発表者名
      M.K.Singh, G.Fusegi, K.Kano, J.P.Bange, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      IEICE Electronics Express Vol.6,No.23

      ページ: 1676-1682

    • NAID

      130000140859

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Modified finite-difference time-domain method for triangular lattice photonic crystals2009

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      IEEE/OSA Journal of Lightwave Technology Vol.27,No.22

      ページ: 4995-5001

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Modified finite-difference time-domain method for triangular lattice photonic crystals2009

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      IEEE/OSA Journal of Lightwave Technology Vol.27

      ページ: 4995-5001

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Intense photoluminescence from erbium-doped tantalum oxide thin films deposited by sputtering2009

    • 著者名/発表者名
      M.K.Singh, G.Fusegi, K.Kano, J.P.Bange, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      IEICE Electronics Express Vol.6

      ページ: 1676-1682

    • NAID

      130000140859

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Observation of blue-light emission from tantalum oxide films deposited by radio-frequency magnetron sputtering2008

    • 著者名/発表者名
      K.Miura, H.Miyazaki, O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics Vol.E91-C,No.10

      ページ: 1669-1672

    • NAID

      10026819907

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of ultraviolet-light emitting Si/SiO_2 multilayered films using radio-frequency magnetron sputtering and high-temperature annealing2008

    • 著者名/発表者名
      K.Miura, Y.Kato, H.Hoshino, O.Hanaizumi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films Vol.516,No.21

      ページ: 7732-7734

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of ultraviolet-light emitting Si/SiO2 multilayered films using radio-frequency magnetron sputtering and high-temperature annealing2008

    • 著者名/発表者名
      K. Miura, Y. Kato, H. Hoshino, and O. Hanaizumi
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 516

      ページ: 7732-7734

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Observation of blue-light emission from tantalum oxide films deposited by radio-frequency magnetron sputtering2008

    • 著者名/発表者名
      K. Miura, H. Miyazaki, and O. Hanaizumi
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics E91-C

      ページ: 1669-1672

    • NAID

      10026819907

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] プロトンビーム描画による光導波路デバイス形成の基礎検討2010

    • 著者名/発表者名
      三浦健太
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      機械振興会館(東京都)
    • 年月日
      2010-12-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of polymer optical waveguides using proton beam writing2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Machida, M.Uehara, K.Miura, O.Hanaizumi, Y.Ishii, T.Satoh, K.Takano, T.Ohkubo, A.Yamazaki, A.Inouye, M.Koka, A.Yokoyama, T.Kamiya, T.Kojima, H.Nishikawa
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2010-12-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Optically controlled light propagation in waveguides using dyedoped nematic liquid crystals with homogeneous alignment2010

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki, K.Miura, H.Ono, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010), 2P34
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] The relationship between rubbing direction and refraction index that affect liquid crystals waveguide2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hashimoto, C.Jing, X.Wei, S.Hajar, Y.Hayakawa, T.Sasaki, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010), 2P35
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Design and analysis of single mode polymer waveguide using PBW technique2010

    • 著者名/発表者名
      J.P.Bange, Y.Machida, M.Uehara, A.V.Umenyi, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010), 2P36
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Y-junction waveguides for 1.5-・m band fabricated by proton beam writing2010

    • 著者名/発表者名
      M.Uehara, H.Kiryu, K.Miura, O.Hanaizumi, T.Satoh, Y.Ishii, K.Takano, T.Ohkubo, M.Kohka, A.Yamazaki, W.Kada, A.Yokoyama, T.Kamiya, H.Nishikawa
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010), 2P37
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and evaluation of light-emitting SiO_2 substrates implanted with Ge ions2010

    • 著者名/発表者名
      T.Shinagawa, A.V.Umenyi, S.Kikuchi, M.Aiba, K.Inada, K.Miura, O.Hanaizumi, S.Yamamoto, K.Kawaguchi, M.Yoshikawa
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010), 2P38
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Improvement of light-emitting properties of erbium-doped tantalum-oxide films deposited by sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Arai, K.Kano, M.K.Singh, J.P.Bange, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010), 2P39
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Ytterbium-doped tantalum oxide thin films deposited by radio-frequency sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      K.Kanou, Y.Arai, J.P.Bange, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010), 2P40
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Optically controlled light propagation in waveguides using dyedoped nematic liquid crystals with homogeneous alignment2010

    • 著者名/発表者名
      T.Sasaki
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010)
    • 発表場所
      桐生市市民文化会館(群馬県)
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] The relationship between rubbing direction and refraction index that affect liquid crystals waveguide2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hashimoto
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010)
    • 発表場所
      桐生市市民文化会館(群馬県)
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Design and analysis of single mode polymer waveguide using PBW technique2010

    • 著者名/発表者名
      J.P.Bange
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Scienbe and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010)
    • 発表場所
      桐生市市民文化会館(群馬県)
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Y-junction waveguides for 1.5-μm band fabricated by proton beam writing2010

    • 著者名/発表者名
      M.Uehara
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010)
    • 発表場所
      桐生市市民文化会館(群馬県)
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and evaluation of light-emitting SiO_2 substrates implanted with Geions2010

    • 著者名/発表者名
      T.Shinagawa
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010)
    • 発表場所
      桐生市市民文化会館(群馬県)
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of light-emitting properties of erbium-doped tantalum-oxide films deposited by sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Arai
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010)
    • 発表場所
      桐生市市民文化会館(群馬県)
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Ytterbium-doped tantalum oxide thin films deposited by radio-frequency sputtering2010

    • 著者名/発表者名
      K.Kanou
    • 学会等名
      6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2010)
    • 発表場所
      桐生市市民文化会館(群馬県)
    • 年月日
      2010-12-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 液晶材料中へ記録されたベクトルホログラムの結合波解析2010

    • 著者名/発表者名
      佐々木友之
    • 学会等名
      Optics & Photonics Japan 2010
    • 発表場所
      中央大学(東京都)
    • 年月日
      2010-11-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] プロトンビーム描画によるY分岐PMMA光導波路の試作2010

    • 著者名/発表者名
      三浦健太
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 年月日
      2010-09-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 厚い異方性格子における偏光回折特性の結合波解析2010

    • 著者名/発表者名
      佐々木友之
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      千歳アルカディアプラザ(北海道)
    • 年月日
      2010-08-27
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Silicon based novel photonic crystal waveguide fabrication and numerical characterization by Si-ion implantation and FDTD method2010

    • 著者名/発表者名
      A.V. Umenyi, M.Honmi, S.Kawashiri, T.Shinagawa, K.Miura, O.Hanaizumi, S.Yamamoto, A.Inouye, M.Yoshikawa
    • 学会等名
      15th Optoelectronics and Communications Conference (OECC 2010), 9E3-3
    • 発表場所
      Sapporo
    • 年月日
      2010-07-09
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Silicon based novel photonic clystal waveguide fabrication and numerical characterization by Si-ion unplantation and FDTD method2010

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi
    • 学会等名
      15th Optoelectronics and Communications Conference (OECC 2010)
    • 発表場所
      札幌コンベンションセンター(北海道)
    • 年月日
      2010-07-09
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用PMMA導波路の試作(II)2010

    • 著者名/発表者名
      三浦健太, 町田裕貴, 上原政人, 花泉修, 石井保行, 佐藤隆博, 高野勝昌, 大久保猛, 山崎明義, 井上愛知, 江夏昌志, 横山彰人, 神谷富裕, 小嶋拓治, 西川宏之
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用シングルモードPMMA導波路2009

    • 著者名/発表者名
      三浦健太, 町田裕貴, 上原政人, 花泉修, 石井保行, 佐藤隆博, 高野勝昌, 大久保猛, 山崎明義, 井上愛知, 江夏昌志, 横山彰人, 神谷富裕, 小嶋拓治, 西川宏之
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2009-12-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and optimization of green light emitting Er-TaO_x films, 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009)2009

    • 著者名/発表者名
      M.K.Singh, G.Fusegi, K.Kano, J.P.Bange, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      2P25
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Structural analysis of RF sputtered Er doped Ta_2O_5 films2009

    • 著者名/発表者名
      J.P.Bange, M.K.Singh, K.Kano, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009), 2P26
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of polymer optical waveguides using proton beam writing2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Machida, M.Uehara, K.Miura, O.Hanaizumi, Y.Ishii, T.Satoh, K.Takano, T.Ohkubo, A.Yamazaki, A.Inouye, M.Koka, A.Yokoyama, T.Kamiya, T.Kojima, H.Nishikawa
    • 学会等名
      5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009), 2P27
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and evaluation of wavelength-conversion devices composed of zinc oxide thin films2009

    • 著者名/発表者名
      M.Tanaka, H.Miyazaki, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009), 2P28
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Visible-light emitting tantalum-oxide films produced by radio-frequency sputtering2009

    • 著者名/発表者名
      K.Miura, K.Kano, G.Fusegi, M.K.Singh, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009), 2P29
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and optimization of green light emitting Er-TaO_x films2009

    • 著者名/発表者名
      M.K.Singh, G.Fusegi, K.Kano, J.P.Bange, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Structural analysis of RF sputtered Er doped Ta_2O_5 films2009

    • 著者名/発表者名
      J.P.Bange, M.K.Singh, K.Kano, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and evaluation of wavelength-conversion devices composed of zinc oxide thin films2009

    • 著者名/発表者名
      M.Tanaka, H.Miyazaki, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Visible-light emitting tantalum-oxide films produced by radio-frequency sputtering2009

    • 著者名/発表者名
      K.Miura, K.Kano, G.Fusegi, M.K.Singh, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Application of Si/SiO_2 materials to photonic devices2009

    • 著者名/発表者名
      O.Hanaizumi, K.Miura
    • 学会等名
      5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009), 1IL01
    • 発表場所
      Kiryu(invited)
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Novel photonic crystal waveguides utilizing Si-ion implantation2009

    • 著者名/発表者名
      S.Kawashiri, M.Honmi, A.V.Umenyi, T.Shinagawa, K.Miura, O.Hanaizumi, S.Yamamoto, A.Inouye, M.Yoshikawa
    • 学会等名
      5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009), 1P19
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] FDTD analysis of fused-silica substrates fabricated by Si-ion implantation for photonic crystals devices2009

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, S.Kawashiri, K.Miura, O. Hanaizumi
    • 学会等名
      5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009), 1P20
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Study on fabrication and conversion-efficiency improvement of ZnO thin film solar cells2009

    • 著者名/発表者名
      N.Hirasawa, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE2009), 1P26
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Application of Si/SiO_2 materials to photonic devices2009

    • 著者名/発表者名
      O.Hanaizumi, K.Miura
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Novel photonic crystal waveguides utilizing Si-ion implantation2009

    • 著者名/発表者名
      S.Kawashiri, M.Honmi, A.V.Umenyi, T.Shinagawa, K.Miura, O.Hanaizumi, S.Yamamoto, A.Inouye, M.Yoshikawa
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] FDTD analysis of fused-silica substrates fabricated by Si-ion implantation for photonic crystals devices2009

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, S.Kawashiri, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Study on fabrication and conversion-efficiency improvement of ZnO thin film solar cells2009

    • 著者名/発表者名
      N.Hirasawa, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Silicon Science and 1st International Conference on Advanced Micro-Device Engineering(ISSS&AMDE2009)
    • 発表場所
      Kiryu
    • 年月日
      2009-12-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] TiO_2-doped SiO_2 films deposited by flame hydrolysis deposition system for waveguide applications2009

    • 著者名/発表者名
      J.P.Bange, O.Hanaizumi, L.S.Patil, D.K.Gautam
    • 学会等名
      International Conference on Optics and Photonics (ICOP-2009), BIII-1.6
    • 発表場所
      Chandighar, India
    • 年月日
      2009-10-31
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] TiO_2-doped SiO_2 films deposited by flame hydrolysis deposition system for waveguide applications2009

    • 著者名/発表者名
      J.P.Bange, O.Hanaizumi, L.S.Patil, D.K.Gautam
    • 学会等名
      International Conference on Optics and Photonics(ICOP-2009)
    • 発表場所
      Chandighar, India
    • 年月日
      2009-10-31
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] UV and visible light emitting fused-silica substrates fabricated by Si-ion implantation2009

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, M.Honmi, K.Miura, O.Hanaizumi, S.Yamamoto, A.Inouye, M.Yoshikawa
    • 学会等名
      16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB2009), PA-24
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2009-09-14
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] UV and visible light emitting fused-silica substrates fabricated by Si-ion implantation2009

    • 著者名/発表者名
      A.Umenyi, M.Honmi, K.Miura, O.Hanaizumi, S.Yamamoto, A.Inouye, M.Yoshikawa
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Surtace Modification of Materials by Ion Beams(SMMIB2009)
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2009-09-14
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] スパッタリング法で作製したEr:TaO_x薄膜の可視発光特性2009

    • 著者名/発表者名
      三浦健太, 狩野一総, 伏木厳穣, シンマヤンク, 花泉修
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用PMMA導波路の試作2009

    • 著者名/発表者名
      三浦健太, 町田裕貴, 上原政人, 花泉修, 石井保行, 佐藤隆博, 高野勝昌, 大久保猛, 山崎明義, 井上愛知, 江夏昌志, 横山彰人, 神谷富裕, 小嶋拓治, 西川宏之
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Light emission from Er-doped Ta-oxide films fabricated by RF-sputtering2009

    • 著者名/発表者名
      M.K.Singh, G.Fusegi, K.Kanou, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The International Conference on Physics of Optical Materials and Devices (ICOM2009), Poster 166
    • 発表場所
      Herceg Novi, Montenegro
    • 年月日
      2009-08-28
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Light emission from Er-doped Ta-oxide films fabricated by RF-sputtering2009

    • 著者名/発表者名
      M.K.Singh, G.Fusegi, K.Kanou, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The International Conference on Physics of Optical Materials and Devices(ICOM2009)
    • 発表場所
      Herceg Novi, Montenegro
    • 年月日
      2009-08-28
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Siイオン注入により発現する溶融石英基板からの紫外発光2009

    • 著者名/発表者名
      三浦健太, 本美勝史, 花泉修, 山本春也, 井上愛知, 吉川正人
    • 学会等名
      第42回照明学会全国大会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2009-08-28
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] スパッタリング法によるErドープTaO_x薄膜の作製とその発光特性2009

    • 著者名/発表者名
      三浦健太, 狩野一総, 伏木厳穣, シンマヤンク, 花泉修
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2009-08-21
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Simple finite-difference time-domain method for triangular lattice photonic crystals2009

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      14th Optoelectronics and Communications Conference (OECC 2009), WS5
    • 発表場所
      Hong Kong
    • 年月日
      2009-07-15
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Simple finite-difference time-domain method for triangular lattice photonic crystals2009

    • 著者名/発表者名
      A.V.Umenyi, K.Miura, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      The 14th Optoelectronics and Communications Conference(OECC 2009)
    • 発表場所
      Hong Kong
    • 年月日
      2009-07-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] A new approach to simple and easy FDTD method for triangular lattice photonic crystals2009

    • 著者名/発表者名
      アマラチュクウメイニ,三浦健太,花泉修
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      つくば
    • 年月日
      2009-03-31
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Modified FDTD method for triangular lattice photonic crystals2008

    • 著者名/発表者名
      アマラチュクウメイニ,三浦健太,花泉修
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2008-12-19
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of blue-light emitting tantalum oxide films by radio-frequency sputtering2008

    • 著者名/発表者名
      K.Miura, H.Miyazaki, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      IEEE Photonics Global 2008, PA-04
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2008-12-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of blue-light emitting tantalum oxide films by radio-frequency sputtering2008

    • 著者名/発表者名
      K. Miura, H. Miyazaki, and O.Hanaizumi
    • 学会等名
      IEEE Photonics Global@Singapore
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2008-12-10
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] SiO2媒質中に分散形成されたナノ結晶シリコンが実現する青色発光体2008

    • 著者名/発表者名
      三浦健太,花泉修,山本春也,高野勝昌,杉本雅樹,吉川正人
    • 学会等名
      第3回高崎量子応用研究シンポジウム
    • 発表場所
      高崎
    • 年月日
      2008-10-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of emission efficiency of Si:SiO_2 sputtered films by introducing two-dimensional periodic structures2008

    • 著者名/発表者名
      K.Miura, T.Hayakawa, O.Hanaizumi
    • 学会等名
      6th International Conference on Optics-photonics Design and Fabrication (ODF'08), 10PS-089
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2008-06-10
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Improvement of emission efficiency of Si:SiO2 sputtered films byintroducing two-dimensional periodic structures2008

    • 著者名/発表者名
      K. Miura, T. Hayakawa, and O. Hanaizumi
    • 学会等名
      The 6th Intenational Conference on Optics-Photonics Design and Fabrication (ODF'08)
    • 発表場所
      Taipei
    • 年月日
      2008-06-10
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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