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集積化マイクロ波帯磁性薄膜デバイスの試作と特性評価

研究課題

研究課題/領域番号 20560321
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関信州大学

研究代表者

佐藤 敏郎  信州大学, 工学部, 教授 (50283239)

連携研究者 曽根原 誠  信州大学, 工学部, 助教 (30456496)
研究協力者 池田 賢司  太陽誘電株式会社, 研究開発センター, 主任
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2010年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2009年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2008年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
キーワード電子デバイス / 集積回路 / 磁性薄膜 / 高周波IC / 無線回路
研究概要

本研究は、第4世代携帯電話用RF-ICへの適用を目指して、チップサイズパッケージRF-IC集積化マイクロ波帯磁性薄膜デバイスの開発を目的に行ったものであり、高周波磁性材料の開発とデバイスへの応用をとおして、デバイスの特性向上の指針とパッケージへの磁性体導入による近傍誘導ノイズ低減の有用性を明らかにした。また、チューナブルインダクタの基礎検討や集積化電源用パワーインダクタの開発を行い、次世代RF-ICの要素技術の確立に貢献した。

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (38件)

すべて 2011 2010 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 9件) 学会発表 (21件) 備考 (2件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Fabrication of Planar Power Inductor for Embedded Passives in LSI Package for Hundreds Megahertz Switching DC-DC Buck Converter2011

    • 著者名/発表者名
      H.Ito, A.Takeuchi, S.Okazaki, H.Kobayashi, Y.Sugawa, A.Takeshima, M.Sonehara, N.Matsushita, T.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Mag-netics Vol.47, 2011-No.11 掲載確定

    • NAID

      120007113621

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Increase of Q-factor of RF Magnetic Thin Film Inductor by Introducing Slit-patterned Magnetic thin film and Multi-line-conductor Spiral Coil2011

    • 著者名/発表者名
      T.Maruyama, Y.Obinata, M.Sonehara, K.Ikeda, T.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics Vol.47, 2011-No.掲載確定

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] DC-DCコンバータLSIパッケージ内蔵用Znフェライト厚膜プレーナパワーインダクタの試作2011

    • 著者名/発表者名
      岡崎眞也、竹内有沙子、竹島顕大、曽根原誠、佐藤敏郎、松下伸広
    • 雑誌名

      電気学会論文誌(基礎・材料・共通部門誌)

      巻: 131(2011年7月号掲載決定)

    • NAID

      10030522279

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Increase of Q-factor of RF Magnetic Thin Film Inductor by Introducing Slit-patterned Magnetic thin film and Multi-line-conductor Spiral Coil2011

    • 著者名/発表者名
      T.Maruyama, Y.Obinata, M.Sonehara, K.Ikeda, T.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics

      巻: Vol.47(2011年11月号に掲載予定)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Planar Power Inductor for Embedded Passives in LSI Package for Hundreds Megahertz Switching DC-DC Buck Converter2011

    • 著者名/発表者名
      H.Ito, A.Takeuchi, S.Okazaki, H.Kobayashi, Y.Sugawa, A.Takeshima, M.Sonehara, N.Matsushita, T.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics

      巻: Vol.47(2011年11月号に掲載予定)

    • NAID

      120007113621

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 非常に狭い強磁性共鳴線幅を有するCoFeSiO/SiO_2積層グラニュラー磁性膜を用いたダブルスパイラル構造インダクタ2010

    • 著者名/発表者名
      池田賢司, 鈴木利昌, 丸山誠礼, 峯村知剛, 曽根原誠, 佐藤敏郎
    • 雑誌名

      Journal of the Magnetics Society of Japan 34巻

      ページ: 123-130

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 2010年 研究開発の動向と最前線,高周波マイクロ磁気応用技術の最新動向2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤敏郎, 遠藤恭, 曽根原誠
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A 130巻

      ページ: 45-49

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] CoFeSiO/SiO_2 multilayer granular films with very narrow ferromagnetic resonant linewidth2009

    • 著者名/発表者名
      K.Ikeda, T.Suzuki, T.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics Vol.45

      ページ: 4290-4293

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] CoFeSiO/SiO_2 multilayer granular films with very narrow ferromagnetic resonant linewidth2009

    • 著者名/発表者名
      K.Ikeda, T.Suzuki, T.Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics 45巻

      ページ: 4290-4293

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] スリットパターン化Mn-Ir/Fe-Si交換結合膜の飽和磁界と高周波磁気特性の熱処理温度依存性2008

    • 著者名/発表者名
      稲垣慶, 曽根原誠, 佐藤敏郎, 山沢清人, 三浦義正
    • 雑誌名

      Journal of the Magnetics Society of Japan 33

      ページ: 9-14

    • NAID

      110007008445

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Suppression of Sm Segregation and Improvement in Thermal Stability by Introducing Ru Underlayer in Co-Sm Amorphous Films2008

    • 著者名/発表者名
      K, Ikeda, T. Suzuki, T. Sato
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Magnetics 44

      ページ: 3906-3909

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Magnetic properties of Co-Sm amorphous films in GHz band2008

    • 著者名/発表者名
      K. Ikeda, T, Suzuki, T. Sato
    • 雑誌名

      Journal of the Magnetics Society of Japan 32

      ページ: 179-186

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 携帯電話用CoFeB磁性薄膜方向性結合器の大振幅信号伝送特性2008

    • 著者名/発表者名
      水田創, 中沢政博, 滝澤和孝, 佐藤敏郎, 山沢清人, 三浦義正, 三宅裕子, 秋江正則, 上原裕二, 宗像誠, 八木正昭
    • 雑誌名

      Journal of the Magnetics Society of Japan 32

      ページ: 376-381

    • NAID

      110006818160

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] RFチューナブル磁性薄薄膜デバイスの基礎検討2011

    • 著者名/発表者名
      峯村知剛, 他6名
    • 学会等名
      平成23年電気学会全国大会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2011-03-18
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] RFチューナブル磁性薄膜デバイスの基礎検討2011

    • 著者名/発表者名
      峯村知剛、結城恵、曽根原誠、佐藤敏郎、池田賢司、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      平成23年電気学会全国大会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2011-03-18
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 高周波マイクロ磁気応用技術に関する研究2010

    • 著者名/発表者名
      佐藤敏郎
    • 学会等名
      東北大学電気通信研究所スピニクス研究会
    • 発表場所
      東北大学 招待講演
    • 年月日
      2010-12-28
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] CSP RF-IC用スパイラルインダクタの磁性膜装荷による近傍配線のクロストーク抑制効果の実験的検討2010

    • 著者名/発表者名
      丸山誠礼, 他5名
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      崇城大学
    • 年月日
      2010-12-16
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] CSP RF-IC用スパイラルインダクタの磁性膜装荷による近傍配線のクロストーク抑制効果の実験的検討2010

    • 著者名/発表者名
      丸山誠礼、曽根原誠、池田賢司、佐藤敏郎、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      崇城大学(熊本市)
    • 年月日
      2010-12-16
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Fe系アモルファス微粒子分散複合材料を用いた集積化電源用プレーナインダクタの作製と評価2010

    • 著者名/発表者名
      伊藤秀幸、佐藤敏郎、曽根原誠、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      秋田大学
    • 年月日
      2010-11-25
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] CoFeSiO/SiO2グラニュラー積層膜を用いた磁性膜サンドイッチ型薄膜インダクタの作製と特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      丸山誠礼、小林大輔、池田賢司、佐藤敏郎、曽根原誠、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      第34回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2010-09-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 磁性微粒子分散複合材料を用いた集積化電源用プレーナインダクタの作製と特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      伊藤秀幸、海堀信博、小川圭介、佐藤敏郎、曽根原誠、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      第34回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場
    • 年月日
      2010-09-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] CoFeSiO/SiO_2 Mag-netic Thin Film Inductor for CSP RF-IC2010

    • 著者名/発表者名
      T.Maruyama, et al
    • 学会等名
      International Conference on Microwave Magnetics 2010
    • 発表場所
      North-eastern University, Boston, MA, USA
    • 年月日
      2010-06-03
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] CoFeSiO/SiO▼2▼ Magnetic Thin Film Inductor for CSP RF-IC2010

    • 著者名/発表者名
      T.Maruyama, M.Yuki, D.Kobayashi, T.Minemura, M.Sonehara, K.Ikeda, T.Sato
    • 学会等名
      International Conference on Microwave Magnetics 2010, IEEE Magnetics Society
    • 発表場所
      Northeastern University, Boston, MA, USA
    • 年月日
      2010-06-03
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Development of Zn-Ferrite Thick Film Planar Power Inductor2010

    • 著者名/発表者名
      S.Okazaki, A.Takeuchi, M.Sonehara, T.Sato, N.Matsushita
    • 学会等名
      International Conference on Microwave Magnetics 2010, IEEE Magnetics Society
    • 発表場所
      Northeastern University, Boston, MA, USA
    • 年月日
      2010-06-03
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] CoFeSiO/SiO_2グラニュラー積層磁性膜を用いたRF薄膜インダクタ作製と特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      丸山誠礼、峯村知剛、橋本篤典、池田賢司、佐藤敏郎、曽根原誠、山沢清人、三浦義正
    • 学会等名
      平成22年電気学会全国大会
    • 発表場所
      明治大学
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 集積化電源用フェライトメッキ膜プレーナインダクタの試作2009

    • 著者名/発表者名
      岡崎眞也、竹内有沙子、曽根原誠、佐藤敏郎、山沢清人、三浦義正、松下伸広
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2009-12-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] CoSm高周波磁性膜を用いた薄膜伝送線路デバイスの試作と損失低減効果の検討2009

    • 著者名/発表者名
      中山英俊、古田正樹、松澤康太、橋本篤典、曽根原誠、佐藤敏郎、池田賢司
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2009-12-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 非常に狭い強磁性共鳴線幅を有するCoFeSiO/SiO_2積層グラニュラー磁性薄膜の微細構造とPd添加効果2009

    • 著者名/発表者名
      池田賢司、鈴木利昌、佐藤敏郎
    • 学会等名
      日本学術振興会 アモルファス・ナノ材料第147委員会、第105回研究会
    • 発表場所
      弘済会館
    • 年月日
      2009-10-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Zn-Feフェライトめっき薄膜の平面パワーインダクタへの適用2009

    • 著者名/発表者名
      岡崎眞也、佐藤敏郎、曽根原誠、山沢清人、三浦義正、直江正幸、多田大、松下伸広
    • 学会等名
      第33回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2009-09-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 狭い強磁性共鳴線幅を有するCoFeSiO/SiO_2積層グラニュラー磁性薄膜の高周波磁気特性と薄膜インダクタへの応用2009

    • 著者名/発表者名
      池田賢司、鈴木利昌、佐藤敏郎
    • 学会等名
      第33回日本磁気学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2009-09-14
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] CoFeSiO/SiO_2積層グラニュラー膜の狭い強磁性共鳴ピークに対するPd添加効果2009

    • 著者名/発表者名
      池田賢司、鈴木利昌、佐藤敏郎
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      北見工業大学
    • 年月日
      2009-08-07
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] CoFeSiOグラニュラー積層磁性薄膜を用いたRFインダクタの試作と評価2009

    • 著者名/発表者名
      池田賢司、丸山誠礼、峯村知剛、橋本篤典、曽根原誠、佐藤敏郎、山沢清人、三浦義正、鈴木利昌
    • 学会等名
      電気学会マグネティックス研究会
    • 発表場所
      北見工業大学
    • 年月日
      2009-08-07
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] CoFeSiO/SiO_2 multilayer granular film with very narrow ferromagnetic resonant linewidth2009

    • 著者名/発表者名
      K.Ikeda, T.Suzuki, T.Sato
    • 学会等名
      IEEE International Magnetics Conference (INTERMAG 2009)
    • 発表場所
      サクラメントコンベンションセンター、米国サクラメント市
    • 年月日
      2009-05-05
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 磁性薄膜インダクク/ポリイミドMIMキヤパシタを用いた2段共振器型高次スプリアスフィルタの試作2008

    • 著者名/発表者名
      杉浦一真, 橋本篤典, 佐藤敏郎, 山沢清人, 三浦義正, 大沼繁弘
    • 学会等名
      電気学会マグネティツクス研究会
    • 発表場所
      常山工業高等辱専門学校
    • 年月日
      2008-07-31
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考] ホームページ等

    • URL

      http://amdl.shinshu-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://amdl.shinshu-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [産業財産権] 磁性薄膜、その製造方法及び制御方法、薄膜磁気デバイス2011

    • 発明者名
      池田賢司、佐藤敏郎、曽根原誠
    • 権利者名
      太陽誘電株式会社、国立大学法人信州大学
    • 産業財産権番号
      2011-056029
    • 出願年月日
      2011-03-15
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] 磁性薄膜、その製造方法及び制御方法、薄膜磁気デバイス2011

    • 発明者名
      池田賢司, 佐藤敏郎, 曽根原誠
    • 権利者名
      太陽誘電株式会社国立大学法人信州大学
    • 産業財産権番号
      2011-056029
    • 出願年月日
      2011-03-15
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書

URL: 

公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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