研究課題/領域番号 |
20560323
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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研究機関 | 名古屋工業大学 |
研究代表者 |
市村 正也 名古屋工業大学, 工学研究科, 教授 (30203110)
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研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2009年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2008年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
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キーワード | 水素センサー / 光化学堆積 / 酸化スズ / 紫外線照射 / 原子間力顕微鏡 |
研究概要 |
光化学堆積法を用いて酸化スズ膜を堆積し、水素ガスセンサーを作製した。光化学堆積法では、光照射によって溶液中で酸化スズ生成反応が起き、膜はナノ微粒子の集合体となる。したがって膜は大きな実効表面積を持ち、より低い温度で高い感度が期待できる。さらに感度を高めるため、光化学堆積法を発展させた光化学ドーピング法にて触媒であるPdを添加した。その結果、室温にて10ppm程度の低濃度水素にも高い感度を持つセンサーの作製に成功した。
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