導波管型準平面ホットエレクトロンボロメータの研究開発

• 研究課題/領域番号: 20560343
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 独立行政法人情報通信研究機構
• 研究代表者: 川上 彰 独立行政法人情報通信研究機構, 未来ICT研究センターナノICTグループ, 主任研究員 (90359092)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• 研究課題ステータス: 完了 (2010年度)
• 配分額: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円); 2010年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2009年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2008年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
• キーワード: HEB / NbN / エピタキシャル / テラヘルツ / 導波管 / ナノブリッジ / TiN

研究概要

テラヘルツ帯ホットエレクトロンボロメータ(HEB)の中間周波数(IF)の広帯化を目指し、準平面型ナノブリッジ構造、ミキサ特性評価およびSiO_2厚膜基板による導波管型HEBを検討した。ブリッジ幅約450nm、長さ約25nmのナノブリッジ作成プロセスを確立、準光学準平面型HEBミキサを試作し、ミキサ雑音温度、IF帯域幅の評価を行った。導波管型ミキサ作製を目指し、成膜により形成した膜厚20・mのSiO_2基板を形成、同基板の良好な平坦性を確認した。

研究成果

• [雑誌論文] Fabrication of Nano-Antennas for Superconducting Infrared Detectors (2011)
  • 著者名/発表者名: A.Kawakami
  • 雑誌名: IEEE Trans. Appl.Supercond. Volume 21 ページ: 632-635
• [学会発表] Fabrication of Nano-antennas for Superconducting Infrared Detector (2011)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference
  • 発表場所: Omni Shoreham Hotel Washington, D.C., USA
  • 年月日: 2011-08-05
• [学会発表] ナノアンテナ結合型超伝導近赤外光検出器の評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学(長崎)
  • 年月日: 2010-09-16
• [学会発表] Fabrication of Nano-antennas for Superconducting Infrared Detector (2010)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference
  • 発表場所: the Omni Shoreham Hotel, Washington, D.C.USA
  • 年月日: 2010-08-05
• [学会発表] ナノアンテナ結合型超伝導近赤外光検出器の検討 (2010)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学(神奈川)
  • 年月日: 2010-03-19
• [学会発表] ナノアンテナ結合型超伝導近赤外光検出器の検討 (2010)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: 第57回 応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学(神奈川県)
  • 年月日: 2010-03-19
• [学会発表] 準光学エピタキシャルNbN/MgO/NbN SISミキサの設計 (2009)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学(富山)
  • 年月日: 2009-09-08
• [学会発表] Design and fabrication of epitaxial NbN/MgO/NbN SIS mixers (2009)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: International Superconductive Electronics Conference 2009
  • 発表場所: 九州大学医学部 百年講堂(福岡市)
  • 年月日: 2009-06-18
• [学会発表] 準光学エピタキシャルNbN/MgO/NbN SISミキサの設計 (2009)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: 応用物理学会 秋季第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学(富山市)
  • 年月日: 2009-06-18
• [学会発表] 準平面型ナノブリッジによるNbNホットエレクトロンボロメータの検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 川上彰
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学(愛知)
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] 準平面型ナノブリッジによるNbNホットエレクトロンボロメータの検討 (2008)
  • 著者名/発表者名: 川上彰, 武田正典, 松井敏明, 太田浩, 王鎮
  • 学会等名: 応用物理学会 秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学,愛知県
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] Fabrication and Characterization of Quasi-planer Epitaxial NbN Nano-bridges (2008)
  • 著者名/発表者名: 川上彰, 松井敏明, 太田浩, 王鎮
  • 学会等名: Applied Superconductivity Conference (ASC2008)
  • 発表場所: 米国シカゴ
  • 年月日: 2008-08-21
• [備考]
  • URL: http://seika-kokai.nict.go.jp/jp/index.do