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多孔質シリコンマトリックス高密度垂直磁気記録媒体の全無電解プロセスによる作製

研究課題

研究課題/領域番号 20560676
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

八重 真治  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00239716)

研究分担者 松田 均  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (60118015)
福室 直樹  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教 (10347528)
連携研究者 阪本 進  日本オイコス式会社, 取締役 (00607286)
研究協力者 平野 達也  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 博士前期課程学生
坂部 佳祐  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 博士前期課程学生
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2008年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワードポーラスシリコン / 金属ナノ粒子 / ナノホール / 無電解めっき / 密着性 / 薄膜 / ハードディスク / ウェットエッチング / 金ナノ粒子 / 銀ナノ粒子
研究概要

3段階の無電解プロセスにより、高密度磁気記録媒体を作製することを目的とした。水溶液に浸すだけの簡単な処理で、シリコン表面にナノメートルサイズの磁石(硬質磁性金属ナノロッド)を埋め込むことに成功した。その分布や長さを変えることはできるが、制御性に課題があることが分かった。一方で、本方法で、シリコン表面に均一に金属薄膜が形成され、この膜の密着性が著しく高いことを見いだした。

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (77件)

すべて 2011 2010 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (23件) (うち査読あり 22件) 学会発表 (40件) 図書 (6件) 備考 (4件) 産業財産権 (4件)

  • [雑誌論文] Catalytic nanopores for electroless deposition of adhesive metal films on silicon : Applications to various silicon substrates including multi-and micro-crystalline2011

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Keisuke Sakabe, Tatsuya Hirano, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(c) Vol.8, No.4,印刷中

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Pd Assisted HF Etching of Si : Electrochemical Measurement, Masayuki Tashiro2011

    • 著者名/発表者名
      Masayuki Tashiro, Shinji Yae, Yuma Morii, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 雑誌名

      ECS Transactions Vol.33, No.16

      ページ: 173-180

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] New Surface-Activation-Process for Electroless Deposition of Adhesive Metal (Ni, Cu) Films on Si Substrates2011

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Keisuke Sakabe, Naoki Fukumuro, Susumu Sakamoto, Hitoshi Matsuda
    • 雑誌名

      ECS Transactions Vol.33, No.18

      ページ: 33-37

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Catalytic nanopores for electroless deposition of adhesive metal films on silicon : Applications to various silicon substrates including multi- and micro-crystalline2011

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yaw
    • 雑誌名

      Phys.Stat.Sol.(c)

      巻: 8(印刷中)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Pd Assisted HF Etching of Si : Electrochemical Measurement2011

    • 著者名/発表者名
      Masayuki Tashiro
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 33(16) ページ: 173-180

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] New Surface-Activation-Process for Electroless Deposition of Adhesive Metal (Ni,Cu) Films on Si Substrates2011

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 33(18) ページ: 33-37

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of Si Surface Condition on Electroless Displacement Deposition of Pt Particles2011

    • 著者名/発表者名
      Koji Takami
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 33(21) ページ: 17-24

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Catalytic Activity of Palladium for Metal-Enhanced HF Etching of Silicon2010

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Masayuki Tashiro, Makoto Abe, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society Vol.157

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of Displacement Reaction on Electrodeposition of Noble Metal Particles on Silicon2010

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Megumi Kawai, Takashi Matsuda, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 雑誌名

      Trans.Mater.Res.Soc.Jpn. Vol.35

      ページ: 73-76

    • NAID

      130003398898

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Adhesive Metal Film Formation on Silicon by Electroless Deposition Using Catalytic Anchors2010

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Tatsuya Hirano, Keisuke Sakabe, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 雑誌名

      ECS Transactions Vol.25, No.27

      ページ: 215-220

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Catalytic Activity of Palladium for Metal-Enhanced HF Etching of Silicon2010

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society 157

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Adhesive Metal Film Formation on Silicon by Electroless Deposition Using Catalytic Anchors2010

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 雑誌名

      ECS Transactions 25(27)

      ページ: 215-220

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of Absorbed Hydrogen on Microstructure of Electrodeposited Cobalt2010

    • 著者名/発表者名
      A.Nakayama
    • 雑誌名

      ECS Transactions 25(34)

      ページ: 79-85

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrochemical Deposition of Pt Particles from Hexachloroplatinate(IV)Ion and Tetrachloroplatinate(II)Ion Solutions2010

    • 著者名/発表者名
      河井めぐみ
    • 雑誌名

      ECS Transactions 25(33)

      ページ: 117-123

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of Displacement Reaction on Electrodeposition of Noble Metal Particles on Silicon2010

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 雑誌名

      Trans.Mater.Res.Soc.Jpn. 35

      ページ: 73-76

    • NAID

      130003398898

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Metal nanorod production in silicon matrix by electroless process2009

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Tatsuya Hirano, Takashi Matsuda, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 雑誌名

      Appl.Surf.Sci. Vol.255(8)

      ページ: 4670-4672

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] n型シリコン上への貴金属微粒子電析に及ぼす置換反応の影響2009

    • 著者名/発表者名
      河井めぐみ、八重真治、福室直樹、松田均
    • 雑誌名

      表面技術 Vol.60

      ページ: 355-356

    • NAID

      10025395330

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] n型シリコン上への貴金属微粒子電析に及ぼす置換反応の影響2009

    • 著者名/発表者名
      河井めぐみ
    • 雑誌名

      表面技術 60

      ページ: 355-356

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文]2009

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 雑誌名

      Ch.4, Porous Silicon Formation by Metal Particle Enhanced HF Etching, in Electroanalytical Chemistry Research Trends(Nova Science Publishers, Inc.)

      ページ: 107-126

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] Metal nanorod production in silicon matrix by electroless process2009

    • 著者名/発表者名
      Shinii Yae
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 255

      ページ: 4670-4672

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] n型シリコン上への貴金属微粒子電析に及ぼす置換析出の影響2009

    • 著者名/発表者名
      河井めぐみ
    • 雑誌名

      表面技術 60(印刷中)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Catalytic Activity of Palladium for Metal-Enhanced Hydrofluoric Acid Etching of Silicon2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yae, M. Tashiro, T. Hirano, M. Abe, N. Fukumuro, H. Matsuda
    • 雑誌名

      ECS Transactions Vol.16, No.3

      ページ: 285-289

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrofluoric Acid Etching of Silicon2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yae
    • 雑誌名

      ECS Transactions 16(3)

      ページ: 285-289

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Metal-Assisted Hydrofluoric Acid Etching of Silicon-nm-to μm-scale structure for solar cells and metal nanorod production-2011

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      ナノ構造の相互作用に関する国際会議VCIAN-2011
    • 発表場所
      米国・ラスベガス市(招待講演)
    • 年月日
      2011-04-23
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Metal-Assisted Hydrofluoric Acid Etching of Silicon-nm-to μm-scale structure for solar cells and metal nanorod production-2011

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 学会等名
      ナノ構造の相互作用に関する国際会議VCIAN-201
    • 発表場所
      米国・ラスベガス市(招待講演)
    • 年月日
      2011-04-23
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 無電解析出させた銀ナノ粒子を触媒とするシリコン上へのナノアンカー形成2011

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      電気化学会第78回大会
    • 発表場所
      横浜市・横浜国立大学
    • 年月日
      2011-03-29
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] パラジウムを用いるシリコンの金属援用HFエッチング2011

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会 第123回講演大会
    • 発表場所
      横浜市・関東学院大学
    • 年月日
      2011-03-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Influence of Reduction of Pt(IV) to Pt(II) on Electrochemical Deposition of Pt Nanoparticles on Si2010

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 学会等名
      第20回日本MRS学術シンポジウム
    • 発表場所
      横浜市・開港記念会館
    • 年月日
      2010-12-22
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 白金電析のQCMによる解析2010

    • 著者名/発表者名
      矢折和真
    • 学会等名
      第12回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      宇治市・京都大学 宇治おうばくプラザ
    • 年月日
      2010-12-02
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Pd Assisted HF Etching of Si : Electrochemical Measurement2010

    • 著者名/発表者名
      M.Tashiro
    • 学会等名
      218th ECS Meeting
    • 発表場所
      米国・ラスベガス市
    • 年月日
      2010-10-13
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      2010 実績報告書
  • [学会発表] New Surface-Activation-Process for Electroless Deposition of Adhesive Metal (Ni, Cu) Films on Si Substrates2010

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      218th ECS Meeting
    • 発表場所
      米国・ラスベガス市
    • 年月日
      2010-10-11
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Influence of Si Surface Condition on Electroless Displacement Deposition of Pt Particles2010

    • 著者名/発表者名
      K.Takami
    • 学会等名
      218th ECS Meeting
    • 発表場所
      米国・ラスベガス市
    • 年月日
      2010-10-11
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] ヘキサクロロ白金(IV)酸塩とテトラクロロ白金(II)酸塩水溶液からの白金電析挙動2010

    • 著者名/発表者名
      矢折和真
    • 学会等名
      表面技術協会 第122回講演大会
    • 発表場所
      仙台市・東北大学
    • 年月日
      2010-09-07
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 新規活性化処理によるSi上への高密着性無電解銅めっき膜形成2010

    • 著者名/発表者名
      坂部佳祐
    • 学会等名
      表面技術協会第122回講演大会
    • 発表場所
      仙台市・東北大学
    • 年月日
      2010-09-06
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 将来期待される無電解めっき技術-シリコン用新規活性化処理とゼロエミッションニッケルめっき-2010

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会第122回講演大会
    • 発表場所
      仙台市・東北大学(依頼講演)
    • 年月日
      2010-09-06
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 将来期待される無電解めっき技術-シリコン用新規活性化処理とゼロエミッションニッケルめっき-2010

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会 第122回講演大会
    • 発表場所
      仙台市・東北大学(依頼講演)
    • 年月日
      2010-09-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] ArプラズマエッチングがSiの表面状態に及ぼす影響とPtの置換析出2010

    • 著者名/発表者名
      藤原良太
    • 学会等名
      表面技術協会 第122回講演大会
    • 発表場所
      仙台市・東北大学
    • 年月日
      2010-09-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 新規活性化処理によるSi上への高密着性無電解銅めっき膜形成2010

    • 著者名/発表者名
      坂部佳祐
    • 学会等名
      表面技術協会 第122回講演大会
    • 発表場所
      仙台市・東北大学
    • 年月日
      2010-09-06
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Siの金属援用HFエッチングに対するPdの触媒活性2010

    • 著者名/発表者名
      田代雅之
    • 学会等名
      2010年 電気化学秋季大会
    • 発表場所
      厚木市・神奈川工科大学
    • 年月日
      2010-09-03
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Pt微粒子の無電解置換析出に及ぼすSi表面状態の影響2010

    • 著者名/発表者名
      高見晃司
    • 学会等名
      2010年 電気化学秋季大会
    • 発表場所
      厚木市・神奈川工科大学
    • 年月日
      2010-09-03
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Catalytic Nanoanchors for Electroless Deposition of Metal Films on Silicon2010

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      2010米国材料学会(MRS)春季大会
    • 発表場所
      米国・サンフランシスコ市
    • 年月日
      2010-04-08
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Catalytic Nanoanchors for Electroless Deposition of Metal Films on Silico2010

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 学会等名
      2010米国材料学会(MRS)春季大会
    • 発表場所
      米国・サンフランシスコ市
    • 年月日
      2010-04-08
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Structure of Porous Silicon Formed by Metal Particle Enhanced HF Etching Using Ag and Pt2009

    • 著者名/発表者名
      T.Hirano
    • 学会等名
      第19回日本MRSシンポジウム
    • 発表場所
      横浜市・横浜情報文化センター
    • 年月日
      2009-12-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Si無電解めっき膜に対する金属ナノロッドのアンカー効果2009

    • 著者名/発表者名
      坂部佳祐
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学フロンティアサイエンス学部
    • 年月日
      2009-12-01
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 電気化学測定によるPd担持n-SiのHFエッチング機構の検討2009

    • 著者名/発表者名
      田代雅之
    • 学会等名
      平成21年度第3回関西電気化学研究会
    • 発表場所
      神戸市・神戸大学六甲台キャンパス
    • 年月日
      2009-11-28
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 無電解プロセスによるシリコンの表面物性制御2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会関西支部平成21年度第2回表面物性研究会
    • 発表場所
      大阪市・大阪鍍金会館(招待講演)
    • 年月日
      2009-10-22
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 無電解プロセスによるシリコンの表面物性制御2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      表面技術協会関西支部 平成21年度第2回表面物性研究会
    • 発表場所
      大阪市・大阪鍍金会館
    • 年月日
      2009-10-22
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Adherent Metal Film on Silicon by Electroless Deposition Using Catalytic Anchors2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      米国電気化学会第216回大会
    • 発表場所
      オーストリア・ウィーン市
    • 年月日
      2009-10-06
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] #2742 Adherent Metal Film on Silicon by Electroless Deposition Using Catalytic Anchors2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      米国電気化学会第216回大会
    • 発表場所
      オーストリア・ウィーン市
    • 年月日
      2009-10-06
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] #61 Electrochemical Deposition of Pt Particles from Hexachloroplatinate(IV)and Tetrachloroplatinate(II)Solutions2009

    • 著者名/発表者名
      Megumi Kawai
    • 学会等名
      米国電気化学会第216回大会
    • 発表場所
      オーストリア・ウィーン市
    • 年月日
      2009-10-05
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 金属ナノロッドによるSi上への高密着性無電解めっき膜の形成2009

    • 著者名/発表者名
      坂部佳祐
    • 学会等名
      表面技術協会第120回講演大会
    • 発表場所
      千葉市・幕張メッセ
    • 年月日
      2009-09-18
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 18A-15金属ナノロッドによるSi上への高密着性無電解めっき膜の形成2009

    • 著者名/発表者名
      坂部佳祐
    • 学会等名
      表面技術協会第120回講演大会
    • 発表場所
      千葉市・幕張メッセ
    • 年月日
      2009-09-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] パラジウムを触媒とするシリコンのHFエッチングによるパターン形成2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      電気化学会第76回大会
    • 発表場所
      京都市・京都大学
    • 年月日
      2009-03-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] シリコン上への貴金属微粒子電析に及ぼす置換反応の影響2009

    • 著者名/発表者名
      八重真治
    • 学会等名
      電気化学会第7 6回大会
    • 発表場所
      京都市・京都大学
    • 年月日
      2009-03-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] シリコン表面への金属置換析出に及ぼす酸化膜の影響2009

    • 著者名/発表者名
      高見晃司
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会第119回講演大会
    • 発表場所
      甲府市・山梨大学
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Influence of displacement reaction on electrodeposition of noble metal particles on silicon2008

    • 著者名/発表者名
      M. Kawai
    • 学会等名
      IUMRS-ICA2008
    • 発表場所
      名古屋市・名古屋国際会議場
    • 年月日
      2008-12-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] シリコンの金属援用HFエッチングにおけるPdの特異な挙動2008

    • 著者名/発表者名
      田代雅之
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学
    • 年月日
      2008-12-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] n型シリコン上への貴金属微粒子電析に及ぼす置換析出の影響2008

    • 著者名/発表者名
      河井めぐみ
    • 学会等名
      第10回関西表面技術フォーラム
    • 発表場所
      神戸市・甲南大学
    • 年月日
      2008-12-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] High Catalytic Activity of Palladium for Metal Enhanced Hydrofluoric Acid Etching of Silicon2008

    • 著者名/発表者名
      S. Yae
    • 学会等名
      日米電気化学合同大会
    • 発表場所
      アメリカ合衆国ハワイ州ホノルル市
    • 年月日
      2008-10-14
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Electroless Process for Producing Metal Filled Si Nanopores2008

    • 著者名/発表者名
      平野達也
    • 学会等名
      日米電気化学合同大会
    • 発表場所
      アメリカ合衆国ハワイ州ホノルル市
    • 年月日
      2008-10-13
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2008 実績報告書
  • [学会発表] 単結晶Si上への金属微粒子の無電解置換析出〜Arプラズフエツチングによる粒子数密度変化〜2008

    • 著者名/発表者名
      松田貴士
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会 第118回講演大会
    • 発表場所
      東大阪市・近畿大学
    • 年月日
      2008-09-02
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 無電解プロセスによるシリコン微細孔の作製と金属充填2008

    • 著者名/発表者名
      平野達也
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会第118回講演大会
    • 発表場所
      東大阪市・近畿大学
    • 年月日
      2008-09-01
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 無電解プロセスによるシリコン微細孔の作製と金属充填2008

    • 著者名/発表者名
      平野達也
    • 学会等名
      社団法人表面技術協会 第118回講演大会
    • 発表場所
      東大阪市・近畿大学
    • 年月日
      2008-09-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] Metal Nanorods in Silicon -Its electroless preparation and application for adhesive film formation-, in Nanorods : Preparation, Properties and Applications2011

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Naoki Fukumuro, Susumu Sakamoto, Hitoshi Matsuda
    • 出版者
      Nova Science Publishers印刷中
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [図書] InTech, Solar to Chemical Conversion Using Metal Nanoparticle Modified Low-Cost Silicon Photoelectrode, in Solar Cells/Book 42011

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 出版者
      印刷中
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [図書] Solar to Chemical Conversion Using Metal Nanoparticle Modified Low-Cost Silicon Photoelectrode, in Solar Cells/Book 42011

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 出版者
      InTech(印刷中)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [図書] Ch. 4, Porous Silicon Formation by Metal Particle Enhanced HF Etching, in Electroanalytical Chemistry Research Trends2009

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 出版者
      Nova Science Publishers, Inc.
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [図書] Electrochemical Deposition of Metal Nanoparticles on Silicon, in Progress in Nanoparticles Research2008

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae, Naoki Fukumuro, Hitoshi Matsuda
    • 出版者
      Nova Science Publishers
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [図書] Progress in Nanoparticles Research2008

    • 著者名/発表者名
      Shinji Yae
    • 出版者
      Nova Science Publishers
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考] ホームページ等

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/msc/msc8/info.html

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [産業財産権] 複合材料及びその製造方法、並びにその製造装置2009

    • 発明者名
      八重真治、平野達也、松田均
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 出願年月日
      2009-03-02
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] 複合材料及びその製造方法、並びにその製造装置2009

    • 発明者名
      八重真治、平野達也、松田均
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 出願年月日
      2009-03-02
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] 複合材料及びその製造方法、並びにその製造装置2008

    • 発明者名
      八重真治、平野達也、松田均
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 産業財産権番号
      2008-211184
    • 出願年月日
      2008-08-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [産業財産権] 複合材料及びその製造方法、並びにその製造装置2008

    • 発明者名
      八重真治、平野達也、松田均
    • 権利者名
      科学技術振興機構
    • 産業財産権番号
      2008-211238
    • 出願年月日
      2008-08-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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