| 研究課題/領域番号 |
20560678
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 東京都市大学 |
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研究代表者 |
小野 茂 東京都市大学, 工学部, 教授 (80097170)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2008年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 大気圧プラズマ / 水 / 表面処理 / 精密洗浄 / ポリイミド |
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| 研究概要 |
環境負荷の低い水をプラズマガスとして用いて、水に容易に吸収されるマイクロ波(2.45GHz)を用い、マイクロ波共振器の形状を工夫し、ガス流を放電の安定化に用いたプラズマ源を開発し、大気圧プラズマを用いた表面洗浄、表面改質、有機物分解に関する研究を行った。大気圧マイクロ波で生成されたプラズマの密度は高く、その結果高密度の化学的に活性なラジカルが発生し、高速プラズマ処理が行え、大気圧H2O プラズマの有効性が示された。
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