研究課題/領域番号 |
20560779
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
原子力学
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研究機関 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 |
研究代表者 |
石井 保行 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究副主幹 (00343905)
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連携研究者 |
大久 保猛 独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究職 (40446456)
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研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2009年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2008年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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キーワード | 放射線工学 / ビーム科学 / 集束ガスイオンビーム / 加速レンズ / 高縮小率 / 超小型ガスイオンナノビーム形成装置 / 小型ガスイオンナノビーム形成装置 / 二段加速レンズ系 / 平行ビーム加速電極 |
研究概要 |
数10keVガスイオンナノビームを形成するため、原子力機構で開発してきたビーム形成装置を用いて加速レンズ系の高縮小率化に関する研究を行った。このため、(1)専用のプラズマ型ガスイオン源内に小さな仮想物点をもつ数100eVの低エネルギービームを形成し、(2)そのビームを二段加速レンズ系に入射する方法を考案した。形成装置では、イオン源内に直接ビーム引き出し電極系、即ち微小発散角を持つビームを発生する電極系を開発し,導入した。これにより、ビーム軌道計算に用いた値通りの微小発散角のビームを発生し、47keV水素イオンビームで最小径120nm、ビーム電流36pAのビーム形成を実現した。この結果、直接引き出し電極系をもつプラズマ型イオン源と二段加速レンズ系の組み合わせにより、本課題で目的とした縮小率1700を超えるレンズ系を構築した。
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