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電子ビーム励起プロセシングを対象とした分子シミュレーションの開発

研究課題

研究課題/領域番号 20656058
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関大阪府立大学

研究代表者

安田 雅昭  大阪府立大学, 工学研究科, 准教授 (30264807)

研究期間 (年度) 2008 – 2009
研究課題ステータス 完了 (2009年度)
配分額 *注記
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
2009年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2008年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワード電子ビーム / ナノ材料 / 電子励起 / 分子動力学法 / 照射効果 / ナノカーボン / 励起プロセシング
研究概要

電子ビーム励起による材料改質を再現できる分子シミュレーションの開発を行った。電子衝突過程は衝突断面積に基づくモンテカルロ法により分子シミュレーションに導入した。すなわち、衝突の種類を衝突断面積により確率的に決定した。弾性衝突が起こった場合は二体衝突モデルにより照射電子から被衝突原子へ運動量を移行させた。また、非弾性衝突が起こった場合は被衝突原子周辺に一時的に遮蔽クーロン斥力を付加し、電離により電荷のバランスが崩れた状態をモデル化した。被衝突原子はランダムに選択し、電子照射下の構造変化を分子動力学法により追跡した。
また、計算対象となる材料を多元材料に拡張するため、各元素の衝突断面積に基づき衝突を受ける元素を確率的に決定する過程をシミュレーションに導入した。この多元材料への拡張については、シリカガラスを対象に弾性衝突過程についてのみシミュレーションへの導入が終了した。多元材料への非弾性衝突過程の導入は今後の課題である。
開発したシミュレーションによりナノカーボン材料を対象に電子ビーム励起プロセスの解析を行ったところ、高エネルギーでの電子ビーム照射では非弾性衝突(電子励起)過程が欠陥生成を抑制する働きをすることが分かった。低エネルギーでの電子ビーム照射では電子励起過程が欠陥構造を部分的に修復し、再結晶化を促進することが分かった。また、開発したシミュレーションにより電子ビーム照射によるナノカーボン材料加工を試行したところ、電子照射を受けた部位の照射損傷生成が電子励起により抑制され、結晶性の比較的良い状態で材料加工が再現された。これらの知見は実験的に得ることが困難であるため、開発したシミュレーションはナノ材料の電子ビーム加工や改質を原子レベルで理解する上で有効な解析ツールとなることが期待できる。

報告書

(2件)
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (12件)

すべて 2010 2009 2008

すべて 学会発表 (12件)

  • [学会発表] ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム加工の分子シミュレーション(III)2010

    • 著者名/発表者名
      和久田真也, 他
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川県 平塚市
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Computational study on defect formation in electron-irradiated carbon nanomaterials2009

    • 著者名/発表者名
      R.Mimura, et al.
    • 学会等名
      7th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices
    • 発表場所
      米国 マウイ島
    • 年月日
      2009-12-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム誘起構造変化の分子シミュレーション2009

    • 著者名/発表者名
      和久田真也, 他
    • 学会等名
      第50回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      東京都
    • 年月日
      2009-11-05
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Simulation of structural modification of carbon nanotubes with electronbeam2009

    • 著者名/発表者名
      M.Yasuda, et al.
    • 学会等名
      35th International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2009
    • 発表場所
      ベルギー ゲント
    • 年月日
      2009-09-29
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Simulation of electron irradiation effects in carbon nanotubes-Introduction of relativistic effect-2009

    • 著者名/発表者名
      M.Yasuda, et al.
    • 学会等名
      5th International Conference on Materials for Advanced Technologies
    • 発表場所
      シンガポール
    • 年月日
      2009-06-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 電子線照射によるナノカーボン構造変化の分子動力学解析2009

    • 著者名/発表者名
      和久田真也, 他
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第65回学術講演会
    • 発表場所
      宮城県 仙台市
    • 年月日
      2009-05-27
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Molecular dynamics study on bending deformation of carbon nanotubesby electron beam irradiation2009

    • 著者名/発表者名
      M.Yasuda, et al.
    • 学会等名
      The 53rd International Conf.on Electron, Ion, Photon Beam Technology and Nanofabrication
    • 発表場所
      米国 マルコアイランド
    • 年月日
      2009-05-27
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 電子線照射下のカーボンナノベアリングの動的特性解析2009

    • 著者名/発表者名
      三村亮介, 他
    • 学会等名
      第14回分子動力学シンポジウム
    • 発表場所
      愛媛県 松山市
    • 年月日
      2009-05-22
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム加工の分子シミュレーション(II)2009

    • 著者名/発表者名
      三村亮介, 他
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      茨城県つくば市
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Simulation of Structural changes in Carbon Nanotubes under Electron Beam Irradiation2008

    • 著者名/発表者名
      M. Yasuda, et al.
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference
    • 発表場所
      韓国済州島
    • 年月日
      2008-11-06
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Molecular Dynamics Study on Electron Energy Dependence of Electron Irradiation Damages in Graphite2008

    • 著者名/発表者名
      T. Majima, et al.
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference
    • 発表場所
      韓国済州島
    • 年月日
      2008-11-06
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム加工の分子シミュレーション2008

    • 著者名/発表者名
      三村亮介, 他
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛知県春日井市
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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