確率共鳴で動作するナノ機械によるセンシング

• 研究課題/領域番号: 20676001
• 研究種目: 若手研究(S)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 応用物理学一般
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 小野 崇人 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90282095)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2012
• 研究課題ステータス: 完了 (2012年度)
• 配分額: 100,880千円 (直接経費: 77,600千円、間接経費: 23,280千円); 2012年度: 9,360千円 (直接経費: 7,200千円、間接経費: 2,160千円); 2011年度: 22,880千円 (直接経費: 17,600千円、間接経費: 5,280千円); 2010年度: 22,880千円 (直接経費: 17,600千円、間接経費: 5,280千円); 2009年度: 23,920千円 (直接経費: 18,400千円、間接経費: 5,520千円); 2008年度: 21,840千円 (直接経費: 16,800千円、間接経費: 5,040千円)
• キーワード: マイクロマシン / 確率共鳴 / 非線形性 / 振動子 / 結合振動子 / 高感度センサ / 熱量センサ / 細胞 / 演算素子 / 同期現象 / ナノ機械 / マイクロ電気機械 / 共振

研究概要

マイクロ・ナノスケールの振動子の機械的非線形性を利用し、その振動振幅が2値化する振動状態を実現する。この振動子は、外部からのノイズの印加により確率共鳴状態となり、さらに外部刺激に応答するため、ロバストなセンサとして応用できることを示した。同様の目的で、自己検知型の振動子のアレイ、同期型の振動子などを開発した。また、振動子の結合により、演算素子として利用できる可能性を示した。

評価記号

検証結果 (区分)

A

研究成果

• [雑誌論文] Pico calorimeter for detection of heat produced in an individual brown fat cell (2012)
  • 著者名/発表者名: N. Inomata, M. Toda, M. Sato, A. Ishijima, and T. Ono
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 100 号: 15 ページ: 154104-154104
  • DOI: 10.1063/1.3701720
  • 査読あり
• [雑誌論文] Piezoresistive Silicon Microresonator for Measurements of Hydrogen Adsorption in Carbon Nanotubes (2012)
  • 著者名/発表者名: Zhonglie An, Masayoshi Esashi, and Takahito Ono
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 51 号: 11R ページ: 116601-4
  • DOI: 10.1143/jjap.51.116601
  • NAID: 40019496248
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of Hermetically Packaged Silicon Resonator on LTCC Substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: Nguyen Van TOAN, Hidetoshi MIYASHITA, Masaya TODA, Yusuke KAWAI, and Takahito ONO
  • 雑誌名: Microsystem technologies 巻: 23 号: 8 ページ: 1165-1175
  • DOI: 10.1007/s00542-012-1716-5
  • 査読あり
• [雑誌論文] Suspended bimaterial microchannel resonators for thermal sensing of local heat generation in liquid (2012)
  • 著者名/発表者名: Masaya Toda, Tomoyuki Otake, Hidetoshi Miyashita, Yusuke Kawai, Takahito Ono
  • 雑誌名: Microsystem technologies 巻: 19 号: 7 ページ: 1049-1054
  • DOI: 10.1007/s00542-012-1698-3
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of a Si-PZT hybrid XY-microstage with CNT-carbon hinges (2012)
  • 著者名/発表者名: Liang He, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Mohd Faizul Sarbi, Mamoru Omori, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono
  • 雑誌名: 電気学会論文誌E 巻: 132 ページ: 425-426
  • NAID: 10031120180
  • 査読あり
• [雑誌論文] ナノ計測を可能にするツール (2012)
  • 著者名/発表者名: 小野崇人
  • 雑誌名: 応用物理 巻: 81 ページ: 45-50
  • NAID: 10030158263
  • 査読あり
• [雑誌論文] Modeling and Experimental Analysis on the Nonlinearity of Single Crystal Silicon Cantilevered Microstructures (2011)
  • 著者名/発表者名: Yonggang Jiang, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 雑誌名: 電気学会論文誌E 巻: 131 ページ: 195-196
  • NAID: 10030532706
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro wishbone interferometer for Fourier transform infrared spectrometry (2011)
  • 著者名/発表者名: Young-Min Lee, Masaya Toda, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 雑誌名: Journal of Micromechanics and Microengineering 巻: 21 号: 6 ページ: 065039-065039
  • DOI: 10.1088/0960-1317/21/6/065039
  • 査読あり
• [雑誌論文] Design issues of piezoresistive nanocantilever sensors with non-uniform nanoscale doping profiles (2011)
  • 著者名/発表者名: Yonggang Jiang, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 雑誌名: 電気学会論文誌E 巻: 131 ページ: 270-271
  • 査読あり
• [雑誌論文] Bimorph cantilevers actuated by focused laser from the side (2011)
  • 著者名/発表者名: Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono
  • 雑誌名: 電気学会論文誌E 巻: 131 ページ: 327-331
  • NAID: 10030533007
  • 査読あり
• [雑誌論文] Measurements of the phase transition and the average length of the density fluctuation under supercritical fluid using micromechanical resonators (2011)
  • 著者名/発表者名: Masaya Toda, Takashi Fujii, Atsushi Yoshida, Toshiyuki Hashida, Takahito Ono
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 99 号: 7
  • DOI: 10.1063/1.3610942
  • 査読あり
• [雑誌論文] Quartz-crystal scanning probe microcantilevers with a silicon tip based on direct bonding of silicon and quartz (2010)
  • 著者名/発表者名: Akihiro Takahashi, Masayoshi Esashi and Takahito Ono
  • 雑誌名: Nanotechnology 巻: 21 号: 40 ページ: 405502-405502
  • DOI: 10.1088/0957-4484/21/40/405502
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mechanically coupled synchronized resonators for resonant sensing applications (2010)
  • 著者名/発表者名: Jinyang Feng, Xiongying Ye, Masayoshi Esashi, and Takahito Ono
  • 雑誌名: Journal of Micromechanics and Microengineering 巻: 20
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mechanically coupled synchronized resonators for resonant sensing applications (2010)
  • 著者名/発表者名: Jinyang Feng, Xiongying Ye, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 雑誌名: Journal of Micromechanics and Microengineering 20
  • 査読あり
• [雑誌論文] Quartz-crystal scanning probe microcantilevers with a silicon tip based on direct bonding of silicon and quartz (2010)
  • 著者名/発表者名: Akihiro Takahashi, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 雑誌名: Nanotechnology 21
  • 査読あり
• [雑誌論文] Design and fabrication of a scanning near-field microscopy probe with integrated zinc oxide photoconductive antennas (2010)
  • 著者名/発表者名: Kentaro Iwami, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
  • 雑誌名: Sensors and Materials 巻: 22 ページ: 135-142
  • 査読あり
• [雑誌論文] Evaluation of biomaterial cantilever beam for heat sensing at atmospheric pressure (2010)
  • 著者名/発表者名: Masaya Toda, Takahito Ono, Fei Liu, Ioana Voiculescu
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 81
  • 査読あり
• [雑誌論文] Electrostatic actuator with curved electrodes for time-of-flight scanning force microscopy (2010)
  • 著者名/発表者名: Chuan-Yu Shao, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 81
  • 査読あり
• [雑誌論文] Quartz-crystal scanning probe microcantilevers with a silicon tip based on direct bonding of silicon and quartz (2010)
  • 著者名/発表者名: Akihiro Takahashi, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 雑誌名: Nanotechnology 巻: 21
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mechanically coupled synchronized resonators for resonant sensing applications (2010)
  • 著者名/発表者名: Jinyang Feng, Xiongying Ye, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 雑誌名: Journal of Micromechanics and Microengineering 巻: 20
  • 査読あり
• [雑誌論文] Temperature-dependent mechanical and electrical properties of boron-doped (2009)
  • 著者名/発表者名: Yonggang Jiang, Takahito Ono, and Masayoshi Esashi
  • 雑誌名: piezoresistive nanocantilevers, Journal of Micromechanics and Microengineering 巻: 19 号: 11 ページ: 65030-65030
  • DOI: 10.1088/0960-1317/20/11/115001
  • 査読あり
• [雑誌論文] Thermal imaging with tapping mode using a bimetal oscillator formed at the endof a cantilever (2009)
  • 著者名/発表者名: Sang-Jin Kim, Takahito Ono, and Masayoshi Esashi
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 80 号: 3
  • DOI: 10.1063/1.3095680
  • 査読あり
• [雑誌論文] Temperature-dependent mechanical and electrical properties of boron-doped, piezoresistive nanocantilevers (2009)
  • 著者名/発表者名: Y. Jiang, T. Ono, M. Esashi
  • 雑誌名: Journal of Micromechanics and Microengineering 19 ページ: 65030-65030
  • 査読あり
• [雑誌論文] Temperature-dependent mechanical and electrical properties of boron-doped, piezoresistive nanocantilevers (2009)
  • 著者名/発表者名: 蒋永剛, 小野崇人, 江刺正喜
  • 雑誌名: Journal of Micromechanics and Microengineering 19
  • 査読あり
• [雑誌論文] Modeling and Experimental validation of the performance of a silicon XY-microstage driven by PZT actuators (2009)
  • 著者名/発表者名: Mohd Faizul, Mohd Sabri, 小野崇人, 江刺正喜
  • 雑誌名: Micromechanics and Microengineering 19
  • 査読あり
• [雑誌論文] The fablication of metallic tip with silicon cantilever for probe-based ferroelectric data storage and their durability experiments (2009)
  • 著者名/発表者名: Hirokazu Takahashi, Yasuhiro Mimura, Shuntaro Mori, Masahiro Ishimori, Atsushi Onoe, 小野崇人, 江刺正喜
  • 雑誌名: Nanotechnology 20
  • 査読あり
• [雑誌論文] 非線形ナノ・マイクロ振動子を用いたノイズ励起によるセンシング (2009)
  • 著者名/発表者名: 小野崇人、吉田祐介、蒋永剛、江刺正喜
  • 雑誌名: Nanotechnology 62 ページ: 131-137
  • NAID: 40016697715
• [雑誌論文] (2009)
  • 著者名/発表者名: 小野崇人(執筆分担)
  • 雑誌名: MEMS/NEMS工学全集(桑野博喜監修)、走査型プローブ顕微鏡(執筆分担)(テクノシステム) ページ: 74-7450
• [雑誌論文] Thermal imaging with tapping mode using a bimetal oscillator formed at the end of a cantilever (2009)
  • 著者名/発表者名: Sang-Jin Kim, Takahito Ono, and Masavoshi Esashi
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 80
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force detection (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. G. Jiang, T. Ono, and M. Esashi
  • 雑誌名: Measurement Science and Technology 巻: 19
  • 査読あり
• [雑誌論文] Noise-enhanced Sensing of Light and Magnetic Force Based on a Nonlinear Silicon Microresonator (2008)
  • 著者名/発表者名: Takahito Ono, Yusuke Yoshida, Yong-Gang Jiang, and Masayoshi Esashi
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 1 ページ: 123001-123001
  • DOI: 10.1143/apex.1.123001
  • NAID: 10025083762
  • 査読あり
• [雑誌論文] Noise-enhanced Sensing of Light and Magnetic Force Based on a Nonlinear Silicon Microresonator (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ono, Y. Yoshida, Y.-G. Jiang, M. Esashi
  • 雑誌名: Applied Physics Express 1
  • NAID: 10025083762
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force detection (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. G. Jiang, T. Ono, M. Esashi
  • 雑誌名: Measurement Science and Technology 19
  • 査読あり
• [雑誌論文] Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force de tection (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. G. Jiang, T. Ono, and M. E sashi
  • 雑誌名: Measurement Science and Technology 19
  • 査読あり
• [雑誌論文] シリコンマイクロ振動子を用いた高感度熱機械変換素子 (2008)
  • 著者名/発表者名: 小野崇人
  • 雑誌名: 豊田研究報告 61 ページ: 143-148
  • NAID: 40016102091
• [雑誌論文] Noise-enhanced Sensing of Light and Magnetic Force Based on a Nonl inear Silicon Microresonator (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ono, Y. Yoshida, Y. -G. Jian g, and M. Esashi
  • 雑誌名: Applied Physics Express 1
  • NAID: 10025083762
  • 査読あり
• [学会発表] Fabrication and packaging process of silicon resonators capable of the integration of LSI for application of timing device (2013)
  • 著者名/発表者名: Nguyen Van Toan, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono
  • 学会等名: The IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
  • 発表場所: Taipei, Taiwan
  • 年月日: 2013-01-23
• [学会発表] Parametrically driven resonant micro-mirror scanner with tunable spring (2013)
  • 著者名/発表者名: Jinhyeok Kim, Yusuke Kawai, Naoki Inomata and Takahito Ono
  • 学会等名: The IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
  • 発表場所: Taipei, Taiwan
  • 年月日: 2013-01-23
• [学会発表] Parametrically-Amplified Resonant Micro-mirror with Tunable Springs (2012)
  • 著者名/発表者名: Jinhyeok Kim, Yusuke Kawai, Naoki Inomata, Takahito Ono
  • 学会等名: センサ・マイクロマシンと応用システム
  • 発表場所: 北九州市
  • 年月日: 2012-10-23
• [学会発表] Design and fabrication of capacitive silicon resonator on LTCC substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: Toan Nguyen Van, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono
  • 学会等名: International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)
  • 発表場所: Toulouse, France
  • 年月日: 2012-09-20
• [学会発表] Design and fabrication of capacitive silicon resonator on LTCC substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: Toan Nguyen Van, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, Takahito Ono
  • 学会等名: international Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)
  • 発表場所: Toulouse, France
  • 年月日: 2012-09-20
• [学会発表] Microsystems based on Additive Micro/Nanofabrication Processes (2012)
  • 著者名/発表者名: Takahito Ono
  • 学会等名: Solid-State Systems Symposium -VLSls & Semiconductor Related Technologies
  • 発表場所: Ho Chi Minh City, Vietnam (Invited)
  • 年月日: 2012-08-23
• [学会発表] Resonant Thermal Sensor for a living cell in liquid (2012)
  • 著者名/発表者名: N. Inomata, M. Toda, M. Sato, A. Ishijima, and T. Ono
  • 学会等名: The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2010)
  • 発表場所: Paris, France
  • 年月日: 2012-04-01
• [学会発表] Experimental and modeling analysis on entrainment condition of submicrometer thick Si micro mechanical resonators with nonlinear coupling element (2012)
  • 著者名/発表者名: Keitaro Tanno, Yusuke Kawai, and Takahito Ono
  • 学会等名: The 25th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2010)
  • 発表場所: Paris, France
  • 年月日: 2012-04-01
• [学会発表] Microchanneled resonant heat sonsor for a living cell (2011)
  • 著者名/発表者名: Masaya Toda, Tomoyuki Otake, Naoki Inomata, Takahito Ono
  • 学会等名: Microprocess and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2011-10-26
• [学会発表] Coupled mechanical Si resonators and its entrainment condition (2011)
  • 著者名/発表者名: Keitaro Tanno and Takahito Ono
  • 学会等名: Microprocess and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: Kyoto
  • 年月日: 2011-10-25
• [学会発表] Vacuum-packaged Resonant Thermal Sensor for Biological Cell in liquid (2011)
  • 著者名/発表者名: N.Inomata, M.Toda, T.Ono
  • 学会等名: Microprocess and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2011-10-25
• [学会発表] Coupled mechanical Si resonators and its entrainment condition (2011)
  • 著者名/発表者名: Keitaro Tanno, Takahito Ono
  • 学会等名: Microprocess and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: 京都
  • 年月日: 2011-10-25
• [学会発表] 結合機械的Si振動子とその同期条件 (2011)
  • 著者名/発表者名: 丹野慶太朗, 小野崇人
  • 学会等名: センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-09-26
• [学会発表] 液中における細胞熱計測のための真空封止マイクロカンチレバー型熱量センサ (2011)
  • 著者名/発表者名: 猪股直生, 戸田雅也, 小野崇人
  • 学会等名: センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-09-26
• [学会発表] Assembling of three dimensional microstructures using clip mechanism of microspring (2011)
  • 著者名/発表者名: Kyosuke Kotani, Yusuke Kawai, Chuan-Yu Shao, Takahito Ono
  • 学会等名: MEMS 2011
  • 発表場所: Cancum, MEXICO
  • 年月日: 2011-01-25
• [学会発表] Parallel array of noise-activated nonlinear micro-resonators with integrated actuators (2011)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Yoshida, Susuke Kawai, Takahito Ono
  • 学会等名: MEMS 2011
  • 発表場所: Cancum, MEXICO
• [学会発表] A Development of Automated Chemical-Solution-Deposition Machine for Micro Actuator with Multilayered PZT Thick Film (2010)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Kawai, Nobuyoshi Moriwaki, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
  • 学会等名: IEEE Sensors
  • 発表場所: Hawaii, USA
  • 年月日: 2010-11-02
• [学会発表] A Development of automated multilayered sol-gel deposition machine for micro actuator with PZT thick film (2010)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Kawai, Nobuyoshi Moriwaki, Masayoshi Esashi, Takahito Ono
  • 学会等名: 第27回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
  • 発表場所: 松江
  • 年月日: 2010-10-15
• [学会発表] Ultra-high sensitive bimorph cantilever for heat sensing (2010)
  • 著者名/発表者名: Masaya Toda, Naoki Inomata, Takahito Ono
  • 学会等名: 第27回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
  • 発表場所: 松江
  • 年月日: 2010-10-14
• [学会発表] Nonlinear Micromechanical Bistable Resonator Capable of Vibration Switching by Thermomechanical Noise at Room Temperature (2010)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Yoshida and Takahito Ono
  • 学会等名: The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology, Perth
  • 発表場所: Western Australia
  • 年月日: 2010-07-07
• [学会発表] Nonlinear Micromechanical Bistable Resonator Capable of Vibration Switching by Thermomechanical Noise at Room Temperature (2010)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Yoshida, Takahito Ono
  • 学会等名: The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology
  • 発表場所: Perth, Western Australia
  • 年月日: 2010-07-07
• [学会発表] The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (2010)
  • 著者名/発表者名: Takahito Ono, Hidetoshi Miyashita, Masaya Toda, Yusuke Kawai, He Liang, Masayoshi Esashi
  • 学会等名: The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology
  • 発表場所: Perth, Western Australia
  • 年月日: 2010-07-07
• [学会発表] Micromechanically-Coupled Resonated System for Synchroniced Oscillation with Inproved phase noise (2010)
  • 著者名/発表者名: Dong F Wang, Jinyang Feng, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Xiongying Ye
  • 学会等名: IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
  • 発表場所: Hong Kong
  • 年月日: 2010-01-26
• [学会発表] Characterization of two beam-shaped cantilevers coupled with a micro mechanical element (2009)
  • 著者名/発表者名: Dong F Wang, Jinyang Feng, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
  • 学会等名: Microprocesses and Nanotechnology 2009
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2009-11-17
• [学会発表] Microsystems for Nanoscale Processing (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Ono
  • 学会等名: Second International Workshop on Nanotechnology and Application(IWNA 2009)
  • 発表場所: Vun Tau, Vietnam
  • 年月日: 2009-11-13
• [学会発表] Applications of NEMS devices (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Ono
  • 学会等名: The 6th Conference on Solid State Physics and Materials Science(SPMA-2009)
  • 発表場所: Da Nang, Vietnam
  • 年月日: 2009-11-08
• [学会発表] Noise-enhanced sensing using micromechanical nonlinear resonator (2009)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Yoshida, Takahito Ono
  • 学会等名: 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: 仙台
  • 年月日: 2009-10-08
• [学会発表] Noise-enhanced sensing using micromechanical nonlinear resonator (2009)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Yoshida and Takahito Ono
  • 学会等名: The 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: Sendai
  • 年月日: 2009-10-07
• [学会発表] Integration process of carbon nanotube piezoresistive elements into microstructure (2009)
  • 著者名/発表者名: Naoki Oda, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
  • 学会等名: Trends in Nanotechnology
  • 発表場所: Barceloca, Spain
  • 年月日: 2009-09-10
• [学会発表] Development of 100-nm-thick self-sensing nanocantilever and characterization of the temperaturedependence of the piezoresistivity and conductivity (2009)
  • 著者名/発表者名: Yonggang Jiang, Takahito Ono, and Masayoshi Esashi
  • 学会等名: Proceeding of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
  • 発表場所: Denver, USA
  • 年月日: 2009-06-24
• [学会発表] Development of 100-nm-thick self-sensing nanocantilever and characterization of the temperature dependence of the piezoresistivity and conductivity (2009)
  • 著者名/発表者名: Yonggang Jiang, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
  • 学会等名: Proceeding of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
  • 発表場所: Denver, USA
  • 年月日: 2009-06-23
• [学会発表] Micromechanical nonlinear bistable resonators for robust sensing (2009)
  • 著者名/発表者名: Yusuke Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
  • 学会等名: International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors
  • 発表場所: Jeju, Korea
  • 年月日: 2009-05-21
• [学会発表] Synchronized mechanical elements for resonance sensing application (2008)
  • 著者名/発表者名: Jinyang Feng
  • 学会等名: 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
  • 発表場所: 仙台
• [学会発表] Piezoresistive nanocantilevers with an ultra-shallow boron doped layer usine spin-on diffusion method for MRFM application (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. G. Jiang
  • 学会等名: The 4^<th> Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies
  • 発表場所: 台湾(台南市)
• [学会発表] Experimental investigation on nonlinearity of single crystal silicon nan ocantilevers (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. G. Jiang
  • 学会等名: The 2^<nd> IEEE Nanotechnology Materials and Dev ices Conference
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [図書] Encyclopedia of Nanotechnology, Springer Science+Business Medhia B.V. (2012)
  • 著者名/発表者名: Takahito Ono, Masayoshi Esashi
  • 出版者: Microfabricated Probe Technology
• [図書] ナノ計測を可能にするツール,応用物理81,1 (2012)
  • 著者名/発表者名: 小野崇人
  • 出版者: 日本応用物理学会
• [図書] Microfabricated Probe Technology, Encyclopedia Of Nanotechno logy (2012)
  • 著者名/発表者名: Takahito Ono
  • 出版者: Springer
• [図書] アクチュエータ-研究開発の最前線-,集積化マイクロステージ (2011)
  • 著者名/発表者名: 小野崇人
  • 出版者: エヌティーエス出版
• [図書] 近接場のセンシング・イメージング技術への応用-最新のバイオ・化学・デバイス分野への展開-,第4章MEMSプローブ (2010)
  • 著者名/発表者名: 小野崇人
  • 出版者: シーエムシー出版
• [図書] 豊田研究報告(シリコンマイクロ振動子を用いた高感度熱機械変換素子) (2008)
  • 著者名/発表者名: 小野崇人
• [備考]
  • URL: http://www.nme.mech.tohoku.ac.jp/
• [備考]
  • URL: http://www.nme.mech.tohoku.ac.jp/
• [備考]
  • URL: http://www.nme.mech.tohoku.ac.jp/
• [産業財産権] 赤外線検出センサ (2008)
  • 発明者名: 松岡元、小野崇人、江刺正喜
  • 権利者名: 東北大学、住友精密工業
  • 出願年月日: 2008-08-29