| 研究課題/領域番号 |
20684027
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| 研究種目 |
若手研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 長崎大学 |
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研究代表者 |
篠原 正典 長崎大学, 工学研究科, 助教 (80346931)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2012
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| 研究課題ステータス |
完了 (2012年度)
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| 配分額 *注記 |
21,190千円 (直接経費: 16,300千円、間接経費: 4,890千円)
2011年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2010年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2009年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2008年度: 13,390千円 (直接経費: 10,300千円、間接経費: 3,090千円)
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| キーワード | 反応性プラズマ / プロセス診断 / プラズマ-固体表面相互作用 / プラズマプロセス制御 / アモルファス炭素膜 / プラズマプロセス / 多重内部反射 / 赤外吸収分光法 / 反応過程 / ラジカル / 水素の引き抜き / 付加反応 / 多重内部反射赤外分光 / 成長過程 / 水素の役割 / アセチレン / 赤外分光 |
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| 研究概要 |
プラズマ化学気相堆積法を用いたアモルファス炭素膜の成膜メカニズムについて,多重内部反射赤外吸収分光法を用いて調べた。メタンを原料とした場合,CH_3を含むCH_2CH_3などのsp^-結合をもつ炭化水素が膜成長の主な前駆体であり,水素の引き抜きが起こりながら膜が成長する。一方,アセチレンを原料とした場合,C_2H等のsp-結合をもつ炭化水素が膜成長の主な前駆体であり,この前駆体は水素の引き抜きを伴わず付加反応で吸着し膜が成長するため堆積速度が向上することがわかった。
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