| 配分額 *注記 |
25,350千円 (直接経費: 19,500千円、間接経費: 5,850千円)
2009年度: 13,000千円 (直接経費: 10,000千円、間接経費: 3,000千円)
2008年度: 12,350千円 (直接経費: 9,500千円、間接経費: 2,850千円)
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| 研究概要 |
本研究では,数百ミリメートルに渡る駆動範囲において安定的にサブナノメートル精度の位置決めを実現するため,新たな位置決めテーブルシステム構造について検討を行っている.システムの構造配置,駆動要素,案内要素,計測要素,ならびに制御要素について誤差を排除あるいは抑制する構成とすることで,次世代で要求される性能を実現している.開発した位置決めシステムの性能評価実験を行った結果,実際にサブナノメートルオーダの位置決めが可能であることを確認している.
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