• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

気相拡散支配面積選択成長による窒化物半導体集積多波長光源

研究課題

研究課題/領域番号 20686022
研究種目

若手研究(A)

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関東京大学

研究代表者

杉山 正和  東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (90323534)

研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
25,480千円 (直接経費: 19,600千円、間接経費: 5,880千円)
2010年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2009年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
2008年度: 9,880千円 (直接経費: 7,600千円、間接経費: 2,280千円)
キーワードInGaN / MOVPE / 選択成長 / 多重量子井戸 / 発光ダイオード / 波長シフト / 有機金属気相成長 / GaN / 発光波長制御 / 多色集積
研究概要

InGaN/GaN多重量子井戸の選択成長において,幅100μm以上の広幅マスクを用いて製膜種の気相拡散効果を有効活用し,発光波長の面内変調を可能にした.その背後にあるメカニズムをGaN,InN,InGaNバルク膜の選択成長の解析を通して明らかにした.さらに広範囲の発光波長変調を狙い,c面GaN上に成長した6角錐表面に出現する非極性面にInGaN/GaN量子井戸を成長する手法を考案し,それを利用した多色発光LEDの試作に成功した.

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (37件)

すべて 2011 2010 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (19件) 備考 (5件)

  • [雑誌論文] Continuous wavelength modulation of semi-polar plane InGaN/GaN MQWs based on vapor-phase-diffusion-based selective-area pyramidal growth2011

    • 著者名/発表者名
      Tatsuki Fujiwara, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A vol.208, no.5

      ページ: 1203-1205

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Continuous wavelength modulation of semi-polar plane InGaN/GaN MQWs based on vapor-phase-diffusion-based selective-area pyramidal growth2011

    • 著者名/発表者名
      T.Fujiwara, Y.Nakano, M.Sugiyama
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A

      巻: 208 ページ: 1203-1205

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Continuous wavelength modulation of semi-polar plane InGaN/GaN MQ Ws based on vapor-phase-diffusion-based selective-area pyramidal growth2011

    • 著者名/発表者名
      T.Fujiwara, Y.Nakano, M.Sugiyama
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A

      巻: 208 ページ: 1203-1205

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selectivity enhancement by hydrogen addition in selective area metal-organic vapor phase epitaxy of GaN and InGaN2010

    • 著者名/発表者名
      Tomonari Shioda, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (A) vol.207, no.6

      ページ: 1375-1378

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Monolithically integrated InGaN-based multicolor light-emitting diodes fabricated by wide-sripe selective area metal organic vapor phase epitaxy2010

    • 著者名/発表者名
      T.Shioda, M.Sugiyama, Y.Shimogaki, Y.Nakano
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 3

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Role of vapor-phase diffusion in selective-area MOVPE of InGaN/GaN MQWs2009

    • 著者名/発表者名
      Yuki Tomita, Tomonari Shioda, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      J.Crystal Growth 311

      ページ: 2813-2816

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Selective Area Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy of Nitride Semiconductors for Multicolor Emission2009

    • 著者名/発表者名
      Tomonari Shioda, Yuki Tomita, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      J.Selected Topics in Quantum Electronics(Invited Paper) Vol.15, No.4

      ページ: 1053-1065

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Selective area metal-organic vapor-phase epitaxy of InN, GaN and InGaN covering whole composition range2009

    • 著者名/発表者名
      Tomonari Shioda, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      J.Crystal Growth 311

      ページ: 2809-2812

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Optical and Structural Characterization of InGaN/GaN Multiple Quantum Wells by Epitaxial Lateral Overgrowth2009

    • 著者名/発表者名
      Masakazu Sugiyama, Tomonari Shioda, Yuki Tomita, Takahisa Yamamoto, Yuichi Ikuhara, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      Material Transactions Vol.50 No.5

      ページ: 1085-1090

    • NAID

      10024814790

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] (Invited Paper) "Selective Area Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy of Nitride Semiconductors for Multicolor Emission"2009

    • 著者名/発表者名
      T.Shioda, Y.Tomita, M.Sugiyama, Y.Shimogaki, Y.Nakano
    • 雑誌名

      J.Selected Topics in Quantum Electronics 15

      ページ: 1053-1065

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Role of vapor-phase diffusion in selective-area MOVPE of InGaN/GaN MQWs2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Tomita, T.Shioda, M.Sugiyama. Y.Shimogaki, Y.Nakano
    • 雑誌名

      J.Crystal Growth 311

      ページ: 2813-2816

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Selective area metal-organic vapor-phase epitaxy of InN, GaN and InGa N covering whole composition range2009

    • 著者名/発表者名
      T.Shioda, M.Sugiyama, Y.Shimogaki, Y.Nakano
    • 雑誌名

      J.Crystal Growth 311

      ページ: 2809-2812

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Monolithically integrated InGaN-based multicolor light-emitting diodes fabricated by wide-sripe selective area metal organic vapor phase epitaxy2007

    • 著者名/発表者名
      Tomonari Shioda, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 雑誌名

      Applied Physics Express vol.3, no.9

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Continuous wavelength modulation of semi-polar plane InGaN/GaN MQWs based on vapor- phase-diffusion-based selective-area pyramidal growth2010

    • 著者名/発表者名
      Tatsuki Fujiwara, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama
    • 学会等名
      International Symposium on Growth of Nitride (ISGN-3)
    • 発表場所
      Montpellier, France
    • 年月日
      2010-07-05
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] Continuous wavelength modulation of semi-polar plane InGaN/GaN MQWs based on vapor-phase-diffusion-based selective-area pyramidal growth2010

    • 著者名/発表者名
      T.Fujiwara, Y.Nakano, M.Sugiyama
    • 学会等名
      International Symposium on Growth of Nitride (ISGN-3)
    • 発表場所
      Montpellier, France
    • 年月日
      2010-07-05
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Continuous wavelength modulation from semi-polar InGaN/GaN MQWs with vapor-phase-diffusion-based selective-area pyramidal growth2010

    • 著者名/発表者名
      Tatsuki Fujiwara, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2010)
    • 発表場所
      Tampa, Florida, U.S.A.
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] Monolithically integrated muti-color light emitting diode fabrication by wide-stripe selective area metal-organic vapor phase epitaxy2009

    • 著者名/発表者名
      Tomonari Shioda, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano:
    • 学会等名
      Abstract Book, 8th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-8), ThP97, pp. 1273-1274
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2009-10-22
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Examination of intermediate species in GaN MOVPE by selective-area growth2009

    • 著者名/発表者名
      Masakazu Sugiyama, Satoshi Yasukochi, Tomonari Shioda, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 学会等名
      Abstract Book, 8th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-8), TP41, pp. 630-631
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2009-10-20
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] InGaN/GaN選択MOVPEによる可視光発光波長シフトのメカニズム2009

    • 著者名/発表者名
      杉山正和, 塩田倫也, 富田祐貴, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      化学工学会第41回秋季大会研究発表講演要旨集,A104
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2009-09-16
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] マルチスケール解析によるGaN MOVPE反応メカニズムの検討2009

    • 著者名/発表者名
      杉山正和, 安河内諭, 塩田倫也, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      化学工学会第41回秋季大会研究発表講演要旨集,A121
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2009-09-16
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 広幅マスク選択MOVPEによるInGaN量子井戸発光波長シフトのメカニズムと長波長化2009

    • 著者名/発表者名
      杉山正和, 富田祐貴, 塩田倫也, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      第1回窒化物半導体結晶成長講演会, FRI_05
    • 発表場所
      東京農工大学
    • 年月日
      2009-05-15
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] マルチスケール製膜速度分布を用いたGaN MOVPE反応機構の解析2009

    • 著者名/発表者名
      杉山正和, 安河内諭, 塩田倫也, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      第1回窒化物半導体結晶成長講演会,FRI05
    • 発表場所
      東京農工大学
    • 年月日
      2009-05-15
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 広幅マスク選択MOVPEによるInGaN量子井戸発光波長シフトのメカニズムと長波長化2009

    • 著者名/発表者名
      杉山正和, 富田祐貴, 塩田倫也, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      日本結晶成長学会ナノエピ分科会講演会
    • 発表場所
      東京農工大学
    • 年月日
      2009-05-15
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] マルチスケールの成長速度分布を用いたGaN MOVPE反応メカニズムの考察(Discussion on the reaction mechanism of GaN MOVPE using2009

    • 著者名/発表者名
      安河内諭, 塩田倫也, 杉山正和, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,No. 1, p. 397, 31a-ZJ-18
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] InGaNのMOVPE選択成長における水素添加の効果(Effects of hydrogen addition in selective area metal-organic vapor phase epitaxy of InGaN)2009

    • 著者名/発表者名
      塩田倫也, 富田祐貴, 杉山正和, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,No. 1, p. 403, 31p-ZJ-3
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 選択MOVPEにおけるInGaN量子井戸発光波長シフトに対する井戸厚の効果(Well thickness effect in luminescence wavelength from InGaN quantum wells in selective-area MOVPE)2009

    • 著者名/発表者名
      富田祐貴, 塩田倫也, 霜垣幸浩, 中野義昭, 杉山正和
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集,No. 1, p. 403, 31p-ZJ-4
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Role of vapor-phase diffusion in selective-area MOVPE of InGaN/GaN MQWs2008

    • 著者名/発表者名
      Yuki Tomita, Tomonari Shioda, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 学会等名
      International Symposium on Growth of Nitride (ISGN-2)
    • 発表場所
      Shuzenji, Japan
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Selective area metal-organic vapor-phase epitaxy of InN, GaN and InGaN covering whole composition range2008

    • 著者名/発表者名
      Tomonari Shioda, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano
    • 学会等名
      International Symposium on Growth of Nitride (ISGN-2)
    • 発表場所
      Shuzenji, Japan
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] MOVPE選択成長InGaNの気相拡散モデルによる解析(Vapor phase diffusion model analysis on InGaN grown by selective area metal-organic vapor phase epitaxy)2008

    • 著者名/発表者名
      塩田倫也, 杉山正和, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集,No. 1, p. 330, 4p-CG-17
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 選択MOVPEにおけるInGaN量子井戸発光波長シフトの起源(Origin of shift in luminescence wavelength from InGaN quantum wells in selective-area MOVPE)2008

    • 著者名/発表者名
      富田祐貴, 塩田倫也, 杉山正和, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会講演予稿集,No. 1, p. 330, 4p-CG-18
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 選択成長InGaN量子井戸における気相拡散の効果2008

    • 著者名/発表者名
      富田祐貴, 塩田倫也, 杉山正和, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      化学工学会第40回秋季大会,T306
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] MOVPE選択成長におけるInN成長速度分布の解析2008

    • 著者名/発表者名
      塩田倫也, 杉山正和, 霜垣幸浩, 中野義昭
    • 学会等名
      化学工学会第40回秋季大会,T307
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考] 日経産業新聞2010年12月7日p.10「多色LED1基板に東大3色同時に道」

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考] 日本経済新聞Webサイト「ケミカルブティック」

    • URL

      http://snow.nikkeivi.co.jp/chemical-boutique/html110124/

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考] 日経産業新聞2010年12月7日p.10「多色LED 1基板に東大3色同時に道」

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考] 日本経済新聞Webサイト「ケミカルブティック」

    • URL

      http://snow.nikkeivi.co.jp/chemical-boutique/html110124/

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考] 日経産業新聞2010年12月7日p.10「多色LED1基板に 東大3色同時に道」日本経済新聞Webサイト「ケミカルブティック」

    • URL

      http://snow.nikkeivi.co.jp/chemical-boutique/html110124/

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

URL: 

公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi