| 配分額 *注記 |
25,350千円 (直接経費: 19,500千円、間接経費: 5,850千円)
2009年度: 15,470千円 (直接経費: 11,900千円、間接経費: 3,570千円)
2008年度: 9,880千円 (直接経費: 7,600千円、間接経費: 2,280千円)
|
|---|
| 研究概要 |
本研究では,ナノメートルの領域で超高速かつ超高精度に位置決め制御を行なう技術をナノスケールサーボと定義し,これを実現するための基礎技術を研究することを研究目的とした。本研究課題では,申請者の研究室にて開発したその基礎制御技術を発展させ,我が国の科学技術の進歩に貢献するために,原子間力顕微鏡の深針として使用されているナノプローブと位置決め制御技術と,新しい他自由度ナノスケール位置決めステージの製作及びその制御に関する研究を行なった。
|
