多重量子井戸のひずみ制御MEMS波長可変レーザの開発

• 研究課題/領域番号: 20710099
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: マイクロ・ナノデバイス
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 肥後 昭男 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教 (60451895)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• 研究課題ステータス: 完了 (2009年度)
• 配分額: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円); 2009年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円); 2008年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
• キーワード: マイクロ・ナノデバイス / マイクロマシン / 量子井戸 / メムス / 可変波長レーザ / 多重量子井戸

研究概要

本研究では,既存の化合物半導体レーザ構造にメカニカルな構造体を導入することを検討した.はじめに,DFBレーザにおいて発振波長を決めるグレーティング部にMEMSを導入することを検討したが,波長変化はわずかなものであった.そこで,多重量子井戸全体に外力を加えるような方法を検討し,シリコンに表面活性化接合技術を用いて多重量子井戸を接合し,シリコン側から電流注入をおこない動作を検証した.今後MEMSを作製することで外力を多重量子井戸に加えることが可能になる.

研究成果

• [学会発表] SiフォトニックMEMS gratingの作製方法についての検討 (2009)
  • 著者名/発表者名: 石塚彰, 肥後昭男, 中野義昭
  • 学会等名: 3-134, 平成21年電気学会全国大会
• [学会発表] Semiconductive Properties of Heterointegration of InP/InGaAs on High Doped Silicon Wire Waveguide for Silicon Hybrid Laser (2009)
  • 著者名/発表者名: Ling-Han Li, Ryo Takigawa, Akio Higo, Masanori Kubota, Eiji Higurashi, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano
  • 学会等名: International Conference on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM 2009)
  • 発表場所: Newport Beach, CA, USA
• [学会発表] A Novel Parylene/Al/Parylene Sandwitch Procetion Mask for HF Vapor Release for Micro Electro Mechanical Systems (2009)
  • 著者名/発表者名: A. Higo, K. Takahashi, H. Fujita, Y. Nakano, H. Toshiyoshi
  • 学会等名: 15th Int. Conf. on Solid-State Sensors
• [学会発表] MEMS Integrated with Silicon Photonic Wire Waveguides (2009)
  • 著者名/発表者名: A. Higo, H. Toshiyoshi, H. Fujita, Y. Nakano
  • 学会等名: in Proc. 16th Int. Display Workshop (IDW'09), Dec. 9-11, 2009, World Convention Center Summit
  • 発表場所: Phoenix Seagaia Resort, Miyazaki, Japan
• [学会発表] MEMS Integrated with Silicon Photonic Wire Waveguides (2009)
  • 著者名/発表者名: A.Higo, H.Toshiyoshi, H.Fujita, Y.Nakano
  • 学会等名: 16th Int.Display Workshop
  • 発表場所: シーガイア, 宮崎, 日本
• [学会発表] A Novel Parylene/Al/Parylene Sandwitch Procetion Mask for HF Vapor Release for Micro Electro Mechanical Systems (2009)
  • 著者名/発表者名: A.Higo, K.Takahashi, H. Fujita, Y.Nakano, H.Toshiyoshi
  • 学会等名: 15th Int.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators & Microsystems(Transducers 2009)
  • 発表場所: デンバー, コロラド, USA
• [学会発表] Semiconductive Properties of Heterointegration of InP/InGaAs on High Doped Silicon Wire Waveguide for Silicon Hybrid Laser (2009)
  • 著者名/発表者名: Ling-Han Li, Ryo Takigawa, Akio Higo, Masanori Kubota, Eiji Higurashi, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano
  • 学会等名: International Conference on Indium Phosphide and Related Materials(IPRM 2009)
  • 発表場所: ニューポートビーチ, カリフォルニア, USA
• [学会発表] SiフォトニックMEMS gratingの作製方法についての検討 (2009)
  • 著者名/発表者名: 石塚彰, 肥後昭男, 中野義昭
  • 学会等名: 平成21年電気学会全国大会
  • 発表場所: 北海道大学
• [学会発表] Design and fabrication of optical waveguide modulator integrated with silicon wire waveguide (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Higo, H. Fujita, H. Toshiyoshi, Y. Nakano
  • 学会等名: in Proc. 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2008)
  • 発表場所: TAYIH Landis Hotel, Tainan, Taiwan
• [学会発表] Design and Simulation of Hybrid Direct Coupling Laser with 3-5 MQW and Silicon Waveguide by Alignment Free Direct Bonding (2008)
  • 著者名/発表者名: Ling-Han Li, Akio Higo, Masanori Kubota, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano
  • 学会等名: in Proc. 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2008)
  • 発表場所: TAYIH Landis Hotel, Tainan, Taiwan
• [学会発表] Design of InP Based Tunable MEMS Grating for Photonic IC (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Ishizuka, A. Higo and Y. Nakano
  • 学会等名: International nano optoelectronic workship(iNOW)2008
  • 発表場所: Tokyo, Japan