スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ挙動計測

• 研究課題/領域番号: 20760025
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 薄膜・表面界面物性
• 研究機関: 九州大学
• 研究代表者: 中村 大輔 九州大学, システム情報科学研究院, 助教 (40444864)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• 研究課題ステータス: 完了 (2009年度)
• 配分額: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円); 2009年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円); 2008年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
• キーワード: EUV / レーザー生成プラズマ / ドロップレット / LIF

研究概要

実用EUV光源として注目されているスズドロップレットをターゲットとしたレーザー生成プラズマに対して画像LIF分光計測と高時間分解シャドウグラフイメージングにより放出デブリの挙動計測を行なった.レーザー照射後のターゲット挙動や放出されるイオンや中性原子等の空間分布を詳細に解明した.

研究成果

• [雑誌論文] Dynamics of Laser-Irradiated Tin Micro-Droplet for EUV Light Source (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Okazaki, D.Nakamura, T.Akiyama, K.Toya, A.Takahashi, T.Okada
  • 雑誌名: Proc.the 5^<th> International Congress on Laser Advanced Materials Processing ページ: 298-298
• [雑誌論文] Diagnostics of Ablation Dynamics of Tin micro-Droplet for EUV Lithography Light Source (2009)
  • 著者名/発表者名: D.Nakamura, K.Okazaki, T.Akiyama, K.Toya, A.Takahashi, T.Okada, T.Yanagida, Y.Ueno, Y.Sasaki, T.Suganuma, M.Nakano, H.Komori, A.Sumitani, A.Endo
  • 雑誌名: Proc.CLEO Pacific Rim 2009
• [雑誌論文] Dynamics of debris from laserirradiated Sn droplet for EUV lithography light source (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Okazaki, D. Nakamura, T. Akiyama, K. Toya, A. Takahashi, T. Okada
  • 雑誌名: SPIE 7201
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ablation Dynamics of Tin Micro-Droplet Irradiated by Double Pulse Laser used for Extreme Ultraviolet Lithography Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, T. Akiyama, K. Okazaki, A. Takahashi, T. Okada
  • 雑誌名: Journal of Physics D: Applied Physics Vol.41 ページ: 245210-245210
  • 査読あり
• [雑誌論文] Investigation of Debris Dynamics from Laser-Produced Tin Plasma for EUV Lithography Light Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, K. Tamaru, T. Akiyama, A. Takahashi, T. Okada
  • 雑誌名: Applied Physics A Vol.92 ページ: 767-772
  • 査読あり
• [雑誌論文] Comparative Study on EUV and Debris Emission from CO_2 and Nd : YAG LaserProduced Tin Plasmas (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Takahashi, D. Nakamura, K. Tamaru, T. Akiyama, T. Okada
  • 雑誌名: Journal of Physics, Conference Series 112 ページ: 42059-42059
  • 査読あり
• [雑誌論文] Emission Characteristics of Debris from CO_2 and Nd : YAG LaserProduced Tin Plasmas for Extreme Ultraviolet Lithography Light Source (2008)
  • 著者名/発表者名: A. Takahashi, D. Nakamura, K. Tamaru, T. Akiyama, T. Okada
  • 雑誌名: Applied Physics B 92 ページ: 73-77
  • 査読あり
• [雑誌論文] Imaging Diagnostics of Debris from LaserProduced Tin Plasma with Droplet Target for EUV Light Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, T. Akiyama, A. Takahashi. T. Okada
  • 雑誌名: Journal of Laser Micro/Nanoengineering 3 ページ: 196-200
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ablation Dynamics of Tin MicroDroplet Irradiated by Double Pulse Laser used for Extreme Ultraviolet Lithography Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, T. Akiyama, K. Okazaki, A. Takahashi, T. Okada
  • 雑誌名: Journal of Physics D : Applied Physics 41 ページ: 245210-245210
  • 査読あり
• [雑誌論文] 錫ターゲットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 中村大輔, 秋山智哉, 高橋昭彦, 岡田龍雄
  • 雑誌名: レーザー研究 36 ページ: 721-725
  • 査読あり
• [雑誌論文] Investigation of Debris Dynamics from LaserProduced Tin Plasma for EUV Lith ography Light Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, K. Tamaru, T. Akiyama, A. Takahashi, T. Okada
  • 雑誌名: Applied Physics A 192 ページ: 767-772
  • 査読あり
• [学会発表] Diagnostics of Ablation Dynamics of Tin micro-Droplet for EUV Lithography Light Source (2009)
  • 著者名/発表者名: D.Nakamura, K.Okazaki, T.Akiyama, K.Toya, A.Takahashi, T.Okada, T.Yanagida, Y.Ueno, Y.Sasaki, T.Suganuma, M.Nakano, H.Komori, A.Sumitani, A.Endo
  • 学会等名: CLEO Pacific Rim 2009
  • 発表場所: 中国・上海
  • 年月日: 2009-09-01
• [学会発表] Dynamics of Laser-Irradiated Tin Micro-Droplet for EUV Light Source (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Okazaki, D.Nakamura, T.Akiyama, K.Toya, A.Takahashi, T.Okada
  • 学会等名: The 5^<th> International Congress on Laser Advanced Materials Processing
  • 発表場所: 神戸
  • 年月日: 2009-07-01
• [学会発表] Laser diagnostics of laserablated tin particles from droplet targets (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Yanagida, Y. Ueno, Y. Sasaki, T. Suganuma, M. Nakano, H. Komor, A. Sumitani, A. Endo, D. Nakamura, T. Akiyama, K. Okazaki, T. Okada
  • 学会等名: SPIE Advanced Lithography
  • 発表場所: San Jose, USA
  • 年月日: 2009-02-26
• [学会発表] Dynamics of debris from laserirradiated Sn droplet for EUV lithography light source (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Okazaki, D. Nakamura, T. Akiyama, K. Toya, A. Takahashi, T. Okada
  • 学会等名: ISPIE Photonics West
  • 発表場所: San Jose, USA
  • 年月日: 2009-01-28
• [学会発表] Diagnostics of Ablation Dynamics of Tin micro-Droplet for EUV Lithography Light Source (2009)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, K. Okazaki, T. Akiyama, K. Toya, A. Takahashi, T. Okada, T. Yanagida, Y. Ueno, Y. Sasaki, T. Suganuma, M. Nakano, H. Komori, A. Sumitani, A. Endo
  • 学会等名: CLEO Pacific Rim 2009
• [学会発表] Dynamics of debris from laser-irradiated Sn droplet for EUV lithography light source (2009)
  • 著者名/発表者名: K. Okazaki, D. Nakamura, T. Akiyama, K. Toya, A. Takahashi, T. Okada
  • 学会等名: SPIE Photonics West
• [学会発表] スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性イメージング (2008)
  • 著者名/発表者名: 中村大輔, 秋山智哉, 遠矢和勇騎, 岡崎功太, 高橋昭彦, 岡田龍雄
  • 学会等名: 応用物理学会九州支部学術講演会
  • 発表場所: 宮崎
  • 年月日: 2008-11-29
• [学会発表] スズドロップレットを用いたレーザー生成EUV光源のデブリ挙動 (2008)
  • 著者名/発表者名: 秋山智哉, 岡崎功太, 中村大輔, 高橋昭彦, 岡田龍雄
  • 学会等名: 電気関係学会九州支部連合大会
  • 発表場所: 大分
  • 年月日: 2008-09-24
• [学会発表] Imaging Diagnostics of Debris from Double Pulse LaserProduced Tin Plasma for EUV Light Source (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Akiyama, K. Okazaki, D. Nakamura, A. Takahashi, T. Okada
  • 学会等名: International Congress on Plasma Physics
  • 発表場所: Fukuoka
  • 年月日: 2008-09-11
• [学会発表] スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源のデブリ挙動計測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 中村大輔, 秋山智哉, 岡崎巧太, 高橋昭彦, 岡田龍雄
  • 学会等名: 西日本放電懇談会
  • 発表場所: 福岡
  • 年月日: 2008-08-04
• [学会発表] Imaging Diagnostics of Debris from LaserProduced Tin Plasma with Droplet Target for EUV Light Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, T. Akiyama, A. Takahashi, T. Okada
  • 学会等名: International Symposium on Laser Precision Microfabrication
  • 発表場所: Quebec, Canada
  • 年月日: 2008-06-19
• [学会発表] Ablation Dynamics of Tin MicroDroplet Target used in LPP-Based EUV Light Source (2008)
  • 著者名/発表者名: D. Nakamura, T. Akiyama, K. Tamaru, A. Takahashi, T. Okada
  • 学会等名: International Workshop on EUV Lithography
  • 発表場所: Hawaii, USA
  • 年月日: 2008-06-16
• [学会発表] スズターゲットからのイオン・中性原子デブリダイナミクス計測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 中村大輔, 秋山智哉, 高橋昭彦, 岡田龍雄
  • 学会等名: 文部科学省リーディングプロジェクト最終研究成果報告会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2008-05-15
• [学会発表] ダブルパルス照射におけるスズドロップレットターゲットのアブレーション挙動計測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 中村大輔, 秋山智哉, 岡崎功太, 高橋昭彦, 岡田龍雄
  • 学会等名: 応用物理学会学術講演会