| 研究課題/領域番号 |
20760027
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 独立行政法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
橋本 綾子 独立行政法人物質・材料研究機構, ナノ計測センター, 研究員 (30327689)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2009
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| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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| 配分額 *注記 |
3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2009年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2008年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 透過型電子顕微鏡 / 共焦点顕微鏡 / 三次元可視化法 / ピエゾ駆動試料ホルダー / 深さ分解能 / 電子顕微鏡 |
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| 研究概要 |
共焦点原理を電子顕微鏡に応用した共焦点走査型透過電子顕微鏡(共焦点STEM)による三次元イメージングに世界で初めて成功した。本研究では、光学系は固定したまま、試料のみを動かす試料走査システムを開発し、共焦点STEM観察を行った。また、ダイレクトビームでなく、散乱電子のみで像を形成させる環状暗視野-共焦点STEM法を採用することにより、深さ分解能を著しく向上させることができた。さらに、この方法を用いて、カーボン構造体の三次元構造や担持ナノ粒子の三次元分布などを観察・解析した。
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