| 研究課題/領域番号 |
20760046
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
竹田 圭吾 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00377863)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2009
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| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2009年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2008年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | プラズマ酸窒化 / 窒化プロセス / 窒素・酸素ラジカル / プラズマ気相診断 / 原子絶対密度計測 / 準安定原子状ラジカル / 大気圧マイクロホローカソード光源 / 窒素ラジカル / 定量解析 / プラズマ酸化 / 真空紫外レーザー吸収分光法 / 反応メカニズム / 低温プロセス |
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| 研究概要 |
本研究では、シリコンテクノロジーをはじめとする半導体製造技術においてキーテクノロジーとなっている酸窒化プロセスに応用されるプラズマプロセスにおいて、酸素原子、窒素原子などの各種反応活性種の振舞いを、真空紫外レーザ吸収分光法をはじめとする各種気相診断法を用いて、定量的に評価することに成功した。また、我々の研究室で開発に成功している小型簡便な原子状ラジカルセンサーを更に発展させ、準安定原子状ラジカルの計測システムの構築にも成功した。
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