研究概要 |
本研究は,溶液中のウェハ表面上に紫外線レーザ露光によって,照射される部分のみが局所的に金属めっきおよびエッチングされることを利用し,直接に金属配線パターンを形成する技術の確立を目的としている.現状では,レーザ露光による部分的エッチングの促進効果が得られた.特に溶液を超純水とした場合でも,2光束レーザ露光(λ=193nm, 4mJ/pulse ; 100 pulse/sec0の条件下で,照射される箇所だけにレート10nm/minのエッチング現象が見られた.本技術の難点として,加工液での短波長である紫外光の透過率および加工液配合による加工の促進・抑制の制御が挙げられる.
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