| 研究課題/領域番号 |
20760092
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 独立行政法人理化学研究所 |
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研究代表者 |
森田 晋也 独立行政法人理化学研究所, 超精密加工技術開発チーム, 協力研究員 (30360655)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2009年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2008年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
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| キーワード | 機上測定 / 超精密加工機 / 超精密切削 / 回折格子 / 単結晶ダイヤモンド工具 / 超精密加工 / 超精密バニシング加工 / 回折光測定 / 干渉測定 / 高脆材料 / 硫化亜鉛 / セレン化亜鉛 |
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| 研究概要 |
超高分散かつ高効率の回折格子の製作を目的として、機上測定を用いた超精密加工機の性能評価手法を開発した。回折格子溝の加工手法として、脆性材料加工用工具および加工法、マイクロ切削加工法、超精密バニシング加工法の開発を行った。回折格子基板形状を測定するレーザオートフォーカス式機上測定器による機上測定手法を開発した。加工機上で回折光のスポット測定を行うことを目的として、レーザ回折光分布機上測定法の開発を行い、溝形状の加工法による違いが加工機上で直接的に計測評価できることを実証した。
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