| 研究課題/領域番号 |
20760135
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
熱工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
山口 康隆 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (30346192)
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| 研究協力者 |
安松 久登 豊田工業大学, 准教授
新屋 智弘 大阪大学, 工学研究科, 博士前期課程学生
コエイ キエット 大阪大学, 工学研究科, 博士前期課程学生
佐々木 智弘 大阪大学, 工学研究科, 博士前期課程学生
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2009
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| 研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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| 配分額 *注記 |
2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2009年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2008年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | 分子動力学法 / 衝突 / 薄膜生成 / ハイブリッド / 計算加速 / モデリング |
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| 研究概要 |
14keV程度まで加速エネルギーで,単量体から20量体までのCO_2クラスターの様々な構造,密度の炭素系固体表面に対する衝突過程の高精度の分子動力学シミュレーションを総括的に行い,ターゲット密度とクラスターサイズ,照射エネルギーに依存した表面付近へのエネルギーの集中率と熱への変換効率が見積もられることを示した.これにより推算した表面付近の温度上昇に伴う熱脱離によりスパッタリングが起きるとの仮定に基づく熱力学的考察から,衝突によるスパッタリング過程全体をモデリングすることに成功した.
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