| 研究概要 |
ダイナミックモード原子間力顕微鏡は, 現代のナノ科学・工学に必須の計測機器の一つであり, 原子・分子スケールの表面形状観察や物性評価を目的として, 幅広い分野の研究開発で利用されている．同顕微鏡は, マイクロカンチレバーと呼ばれる極めて高感度な力センサを原子・分子間に働く力の検出に利用するものである．しかしながら, 一方で, 近年になり, 測定中のセンサに生じる不規則な振動に起因して, DFM の性能が低下する場合があることが明らかにされていた．本研究課題は, このようなセンサの不規則な振動を抑制して, DFM が本来持つ性能を引き出す振動安定化手法を新規に提案したものである．研究期間中に実機に適用可能なコントローラの開発を推進すると同時にその有効性の実証に成功した．
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