| 研究課題/領域番号 |
20760271
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 愛知工業大学 |
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研究代表者 |
内田 敬久 愛知工業大学, 工学部, 准教授 (20367626)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2010年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2009年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2008年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 位置センサ / 回折格子 / 位置決め / アライナー / 変位センサ / 角度センサ / 変位計 / 回折 |
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| 研究概要 |
本研究では、次世代電子機器、機械機器の製作や原子分子制御に必要とされる精密位置センサの開発を行った。センサは回折格子の光回折現象を利用したセンシング原理であり、機構が簡単でありながら高い繰り返し精度を持っている。研究では、自動位置決め装置及び位置決め装置を改良した位置センサを開発した。XY軸の2軸変位センサ及びθ軸角度センサを製作し多軸自動センシングと制御を実現した。位置精度の標準偏差は、X軸0.07nm、Y軸0.23nmとなった。
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