原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の大面積形成及びその機能の創出

• 研究課題/領域番号: 20760455
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 無機材料・物性
• 研究機関: 金沢大学
• 研究代表者: 徳田 規夫 金沢大学, 電子情報学系, 助教 (80462860)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2009
• 研究課題ステータス: 完了 (2009年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2009年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2008年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
• キーワード: ダイヤモンド / 半導体 / 結晶成長 / 表面制御 / 標準試料

研究概要

プラズマCVDを用いたダイヤモンド結晶成長モードを制御することで、ダイヤモンド表面を原子レベルで制御することを行った。その結果、デバイスサイズ100×100μm2のステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成に成功した。また、単原子ステップを持つ正三角形島構造を世界最小のナノメートルスケールの物差しとして提案した。

研究成果

• [雑誌論文] Growth of atomically step-free s urface on diamond {111} mesas (2010)
  • 著者名/発表者名: Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yam asaki
  • 雑誌名: Diamond and Related Materials 19 ページ: 288-290
  • 査読あり
• [雑誌論文] 正確に0. 2ナノメートルを測れますか?～ ダイヤによるナノスケール標準試料の可能性～ (2010)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫, 権太聡, 牧野俊晴, 山崎聡
  • 雑誌名: MATERIAL STAGE 9 ページ: 1-3
• [雑誌論文] Growth of atomically step-free surface on diamond {111} mesas (2010)
  • 著者名/発表者名: Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
  • 雑誌名: Diamond and Related Materials 19 ページ: 288-290
  • 査読あり
• [雑誌論文] 正確に0.2ナノメートルを測れますか?～ダイヤによるナノスケール標準試料の可能性～ (2010)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫, 権太聡, 牧野俊晴, 山崎聡
  • 雑誌名: MATERIAL STAGE 9 ページ: 1-3
  • NAID: 40017002371
• [雑誌論文] ナノサイズを測るダイヤの"ものさし" (2009)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫、山崎聡
  • 雑誌名: Newton 8 ページ: 13-13
• [雑誌論文] (2009)
  • 著者名/発表者名: Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Hirom itsu Kato, Masahiko Ogura, Satoshi Gond a, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
  • 雑誌名: Applied Physics Express 2 ページ: 55001-55001
  • 査読あり
• [雑誌論文] ナノサイズを測るダイヤの"ものさし" (2009)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫, 山崎聡
  • 雑誌名: Newton 8 ページ: 13-13
• [雑誌論文] Nanometer Scale Height Standard Using Atomically Controlled Diamond Surface (2009)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫、梅沢仁、加藤宙光、小倉政彦、権太聡、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • 雑誌名: Applied Physics Express Vol.2, No.5 ページ: 55001-55001
  • NAID: 10025086166
  • 査読あり
• [学会発表] 完全平坦ダイヤモンド表面の形成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫, 猪熊孝夫, 山部紀久夫, 大串秀世, 山崎聡
  • 学会等名: 表面技術協会第120回講演大会
  • 発表場所: 幕張メッセ国際会議場(千葉県)
  • 年月日: 2010-09-18
• [学会発表] 完全平坦ダイヤモンド表面の形成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫, 猪熊孝夫, 山部紀久夫, 大串秀世, 山崎聡
  • 学会等名: 表面技術協会 第120回講演大会
  • 発表場所: 幕張メッセ国際会議場(千葉県)
  • 年月日: 2009-09-18
• [学会発表] Atomically controlled diamond surfaces (2009)
  • 著者名/発表者名: Norio Tokuda, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
  • 学会等名: The second international symposium on interdisciplinary Materials Science (ISIMS-2009)
  • 発表場所: つくば国際会議場(茨城県)
  • 年月日: 2009-03-10
• [学会発表] Atomically controlled diamond surfaces (2009)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、加藤宙光、梅沢仁、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • 学会等名: The second international symposium on interdisciplinary Materials Science (ISIMS-2009)
  • 発表場所: 茨城県つくば市つくば国際会議場
  • 年月日: 2009-03-10
• [学会発表] マイクロ波プラズマCVDによるステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成 (2008)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • 学会等名: 第38回結晶成長国内会議(NCCG-38)
  • 発表場所: 仙台市戦災復興記念館(宮城県)
  • 年月日: 2008-11-06
• [学会発表] マイクロ波プラズマCVDによるステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成 (2008)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • 学会等名: 第38回結晶成長国内会議(NCCG-38)
  • 発表場所: 宮城県仙台市仙台市戦災復興記念館
  • 年月日: 2008-11-06
• [学会発表] マイクロ波プラズマ中のダイヤモンド(111)膜の成長とエッチング (2008)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • 学会等名: 2008年秋季第69回応用物理学会学術講演大会
  • 発表場所: 中部大学(愛知県)
  • 年月日: 2008-09-02
• [学会発表] マイクロ波プラズマ中のダイヤモンド(111)膜の成長とエッチング (2008)
  • 著者名/発表者名: 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • 学会等名: 2008年秋季第69回応用物理学会学術講演大会
  • 発表場所: 愛知県春日井市中部大学
  • 年月日: 2008-09-02
• [備考] プレスリリース
  • URL: http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2009/pr20090417/pr20090417.html
• [産業財産権] 単結晶ダイヤモンド基板 (2009)
  • 発明者名: 徳田規夫、小倉政彦、加藤宙光、竹内大輔、牧野俊晴、小山和博、大串秀 世、山崎聡
  • 権利者名: 産業技術総合研究所
  • 産業財産権番号: 2009-100870
  • 出願年月日: 2009-04-17
• [産業財産権] 単結晶ダイヤモンド基板 (2009)
  • 発明者名: 徳田規夫, 他7名
  • 権利者名: (独)産業技術総合研究所
  • 産業財産権番号: 2009-100870
  • 出願年月日: 2009-04-17
• [産業財産権] ナノメートルスケールの計測標準試料およびナノメートルスケールの計測標準試料を用いた走査型顕微鏡の校正方法 (2009)
  • 発明者名: 徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
  • 権利者名: (独)産業技術総合研究所
  • 産業財産権番号: 2009-037517
  • 出願年月日: 2009-02-20
• [産業財産権] ナノメートルスケールの計測標準試料及びナノメートルスケールの計測標準試料を使用した走査型顕微鏡の校正方法体 (2008)
  • 発明者名: 徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
  • 権利者名: 産業技術総合研究所
  • 産業財産権番号: 2008-222042
  • 出願年月日: 2008-08-29
• [産業財産権] ナノメートルスケールの計測標準試料及びナノメートルスケールの計測標準試料を使用した走査型顕微鏡の校正方法 (2008)
  • 発明者名: 徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
  • 権利者名: (独)産業技術総合研究所
  • 産業財産権番号: 2008-222042
  • 出願年月日: 2008-08-29