• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

ダイヤモンドの窒素終端構造の形成と電気伝導性評価

研究課題

研究課題/領域番号 20760489
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 材料加工・処理
研究機関東京大学

研究代表者

野瀬 健二  東京大学, 生産技術研究所, 助教 (10451882)

研究期間 (年度) 2008 – 2009
研究課題ステータス 完了 (2009年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2009年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2008年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワードダイヤモンド / 表面 / プラズマ / 終端 / 気相合成 / 電気伝導 / 電子放出 / マイクロ波プラズマ / CVD / 表面終端 / 表面伝導 / ワイドバンドギャップ半導体 / 終端構造
研究概要

ダイヤモンドの表面に化学結合した元素の分析とそれに誘起される真空中への電子の電界放出特性を測定した。アンモニア水溶液中での電気化学反応においては、窒素原子を伴う終端化ではなく、水溶液中の酸素終端が優先的に生じた。こうした表面終端構造を作製する過程で、微小かつ鋭い結晶のエッジを有するダイヤモンドの粒子が得られ、そこから低い印加電界強度から電子が放出する現象を確認した。

報告書

(3件)
  • 2009 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (28件)

すべて 2010 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (19件) 図書 (2件) 備考 (4件)

  • [雑誌論文] Investigations of energy and flux of ions for diamond nucleation in microwave plasma chemical vapor deposition2009

    • 著者名/発表者名
      K. Nose, Y. Mitsuda.
    • 雑誌名

      Proceeding paper of the 19th International Symposium on Plasma Chemistry No.541

      ページ: 1-4

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Effects of magnesium doping on growth and electric conductivity of nanocrystalline cubic boron nitirde thin films2009

    • 著者名/発表者名
      K. Kojima, K. Nose, M. Kambara, T. Yoshida.
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Appl. Phys. 42No055304

      ページ: 1-5

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of magnesium doping on growth and electric conductivity of nanocrystalline cubic boron nitride thin films2009

    • 著者名/発表者名
      K. Kojima, K. Nose, M. Kambara, T. Yoshida
    • 雑誌名

      Journal of Physics D : Appl. Phys 42

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 気相合成ダイヤモンド粒子からの電子放出の面内分布2010

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川, 東海大学
    • 年月日
      2010-03-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] InAlAs/InGaAs多重量子井戸へテロ界面2次元電子系からの電界電子放出2010

    • 著者名/発表者名
      板倉祥哲, 松本益明、福谷克之、岡野達雄、平川和彦、野瀬健二、光田好孝、谷口昌宏、西川治
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学、神奈川
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] InAlAs/InGaAs多重量子井戸ヘテロ界面2次元電子系からの電界電子放出2010

    • 著者名/発表者名
      板倉祥哲
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川, 東海大学
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 気相合成ダイヤモンド粒子からの電子放出の面内分布2010

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二、光田好孝
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学、神奈川
    • 年月日
      2010-03-15
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] バイアス処理におけるダイヤモンド核形成条件のプラズマ診断とイオンエネルギー分布の数値計算2009

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二, 光田好孝
    • 学会等名
      第23回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      千葉工業大学、千葉
    • 年月日
      2009-11-19
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] バイアス処理におけるダイヤモンド核形成条件のプラズマ診断とイオンエネルギー分布の数値計算2009

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二
    • 学会等名
      第23回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      千葉, 千葉工業大学
    • 年月日
      2009-11-18
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] マイクロ波プラズマCVDにおけるダイヤモンド核形成環境2009

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二, 光田好孝
    • 学会等名
      第6回ヤングメタラジスト研究交流会
    • 発表場所
      東京工業大学、東京
    • 年月日
      2009-10-22
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] バイアス処理におけるダイヤモンド核形成条件のプラズマ診断とイオンエネルギー分布の数値計算2009

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二
    • 学会等名
      第6回ヤングメタラジスト研究交流会
    • 発表場所
      東京, 東京工業大学
    • 年月日
      2009-10-22
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Investigations of energy and flux of ions for diamond nucleation in microwave plasma chemical vapor deposition2009

    • 著者名/発表者名
      K. Nose, Y. Mitsuda
    • 学会等名
      International Symposium on Plasma Chemistry
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 年月日
      2009-07-30
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Investigations of energy and flux of ions for diamond nucleation in microwave plasma chemical vapor deposition2009

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二
    • 学会等名
      19^<th> International symposium of plasma chemistry
    • 発表場所
      Bochum, Germany
    • 年月日
      2009-07-30
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 核形成プロセスの異なるダイヤモンド粒子からの電子放出特性2009

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二, 光田好孝
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学、茨城
    • 年月日
      2009-04-01
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] 核形成プロセスの異なるダイヤモンド粒子からの電子放出特性2009

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      茨城, 筑波大学
    • 年月日
      2009-04-01
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 核形成プロセスの異なるダイヤモンド粒子からの電子放出特性2009

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二、光田好孝
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学、茨城県
    • 年月日
      2009-04-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 立方晶窒化ホウ素への置換型不純物が形成するエネルギー準位の計算2008

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二, 光田好孝
    • 学会等名
      第22回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      早稲田大学、東京
    • 年月日
      2008-10-21
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] 立方晶窒化ホウ素への置換型不純物が形成するエネルギー準位の計算2008

    • 著者名/発表者名
      野瀬健二、光田好孝
    • 学会等名
      第22回ダイヤモンドシンポジウム
    • 発表場所
      早稲田大学、東京都
    • 年月日
      2008-10-21
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] A numerical simulation of ion acceleration to negatively-biased substrate in a microwave-plasma chemical vapor deposition of diamond2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nose, Y. Mitsuda.
    • 学会等名
      17 th World Interfinish Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2008-06-17
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] A numerical simulation of ion acceleration to negatively-biased substrates in a microwave-plasma chemical vapor deposition of diamon2008

    • 著者名/発表者名
      K. Nose and Y. Mitsuda
    • 学会等名
      17th world Interfinish Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2008-06-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Growth and in-situ sulfur doping to diamond thin films in a microwave-plasma chemical vapor deposition2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Mitsuda, K. Nose
    • 学会等名
      17 th World Interfinish Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2008-06-16
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [学会発表] Growth and in-situ sulfur doping to diamond thin films in a microwave-plasma chemical vapor deposition2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Mitsuda and K. Nose
    • 学会等名
      17th world Interfinish Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2008-06-16
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] Industrial Plasma Technology2010

    • 著者名/発表者名
      K. Nose, T. Yoshida edited by Y. Kawai, et al.
    • 出版者
      Wiley-VCH
    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [図書] Industrial Plasma Technology2010

    • 著者名/発表者名
      Yoshinobu Kawai, Hideo Ikegami, Noriyoshi Sato, Akihisa Matsuda, Kiichiro Uchino, Masayuki Kuzuya, Akira Mizuno
    • 出版者
      Wiley-VCH
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考] において研究の概略を公開している

    • URL

      http://www.ips.iis.u-tokyo.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [備考] 2008年5月29-31日、2009年5月28-30日に開催された「駒場リサーチキャンパス公開」において、一般向けのポスターセッションとして研究成果を公開した

    • 関連する報告書
      2009 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.ips.iis.u-tokyo.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.ips.iis.u-tokyo.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

URL: 

公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi