| 研究成果の概要 |
高出力パルスレーザを用いるPLD法により, 数十ナノメートル程度のNd-Fe-B/α-Fe層を交互に1000層程度積層し, 超多周期積層型交換スプリング厚膜磁石を作製することに成功した。作製した膜は等方性の磁気特性を示し, その最大エネルギー積は90kJ/㎥となった。さらに, 補助レーザで基板―ターゲット間を飛行するドロップレットを再アブレーションし, 厚膜磁石の表面平滑性改善する技術を新たに開発した。今後, 補助レーザを有するPLD装置での膜組成制御技術を開発する必要がある。
また, 数十μm/hの高速製膜条件下において, 基板加熱法により異方性厚膜磁石を作製し, 新たに開発した遮断成膜法とGaの添加を組み合わせることにより, 残留磁化0.95 T, 保磁力876kA/m, (BH)_<max>146 kJ/㎥の厚膜磁石の高速成膜を実現した。
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