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タンデム変調熱プラズマ高温反応場の時空間精緻制御と高純度ナノ材料の革新的量産技術

研究課題

研究課題/領域番号 20H00239
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
研究機関金沢大学

研究代表者

田中 康規  金沢大学, 電子情報通信学系, 教授 (90303263)

研究分担者 石島 達夫  金沢大学, 電子情報通信学系, 教授 (00324450)
瀬戸 章文  金沢大学, フロンティア工学系, 教授 (40344155)
中野 裕介  金沢大学, 電子情報通信学系, 助教 (60840668)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
45,890千円 (直接経費: 35,300千円、間接経費: 10,590千円)
2022年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
2021年度: 16,250千円 (直接経費: 12,500千円、間接経費: 3,750千円)
2020年度: 24,050千円 (直接経費: 18,500千円、間接経費: 5,550千円)
キーワード熱プラズマ / ナノ粒子生成 / 大量生成 / ナノワイヤ / ナノ粒子 / ナノ材料 / 時空間変動場 / 量産化 / 2次元分光
研究開始時の研究の概要

独自技術「原料間歇同期投入+変調熱プラズマ法」を発展させた「タンデム型変調熱プラズマ法」を開発し超高温変動反応場の安定維持と精緻な時空間制御とを両立させる。これにより高純度機能性ナノ材料の大量生成法を実現する:(i)熱プラズマへの電力変調度・変調波形,原料間歇投入位相,冷却ガス間歇導入により超高温・高密度ラジカル場を時空間的に制御しナノ材料への寄与を解明し,粒径制御と大量生成を達成する。(ii) 2次元分光観測・ナノ材料の気相抽出等を駆使した実験と熱プラズマ電磁熱流体数値解析から,原料蒸発とナノ材料生成過程を明確化する。

研究成果の概要

金沢大学にて独自開発した「原料間歇同期投入+変調熱プラズマ法」をさらに発展させ「タンデム型変調熱プラズマ法」を新開発した。これにより超高温変動反応場の安定維持と精緻な時空間制御の両立を実現させた。この手法を用い機能性ナノ材料の大量生成法を試みた。本研究では,熱プラズマへの電力変調度,原料間歇投入位相,冷却ガス間歇導入による超高温・高密度ラジカル場の時空間的制御を行うとともに,それらのナノ粒子生成への寄与を実験的,数値解析的に検討した。その結果,原料蒸発とナノ材料生成過程を明確化でき,高純度金属ドープ酸化物ナノ粒子を880 g/h,次世代電池負極材用Si系ナノ粒子を300 g/hで生成できた。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究は「タンデム型変調熱プラズマ」と,独自開発した「原料・反応ガスの同期間歇投入」を組み合わせ「機能性ナノ材料の大量生成法」を新開発したもので,本研究の独創的特色であるとともに,ナノテク分野に大きなインパクトを与える。これまで熱プラズマナノ粒子生成法は高純度ナノ粒子生成可能の特長を有するが低効率であった。しかし本研究での原料・ガス間歇投入型変調熱プラズマ法は,原料・反応ガスからのラジカル反応場と熱流場とを電磁場によりスマートに同時制御し,均一核生成・不均一凝縮過程を制御する,学術的にも新しいプロセスを提供している。本法は種々のナノ材料量産化に適用でき,社会的波及効果・意義は極めて大きい。

報告書

(5件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実績報告書
  • 2020 審査結果の所見   実績報告書
  • 研究成果

    (26件)

すべて 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件、 オープンアクセス 5件) 学会発表 (16件) (うち国際学会 16件、 招待講演 3件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] Feedstock feeding duration influence on silicon nanoparticle synthesis using tandem modulated induction thermal plasmas with intermittent feedstock feeding2023

    • 著者名/発表者名
      Nagase Yurina、Tanaka Yasunori、Nakano Yusuke、Ishijima Tatsuo、Watanabe Shu、Sueyasu Shiori、Nakamura Keitaro
    • 雑誌名

      Powder Technology

      巻: 414 ページ: 118071-118071

    • DOI

      10.1016/j.powtec.2022.118071

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 原料間歇導入+変調熱プラズマによるSiナノ粒子大量生成における原料供給期間の影響2022

    • 著者名/発表者名
      Nagase Yurina、Furukawa Ryudai、Tanaka Yasunori、Nakano Yusuke、Ishijima Tatsuo、Sueyasu Shiori、Watanabe Shu、Nakamura Keitaro
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. A

      巻: 142 号: 12 ページ: 451-460

    • DOI

      10.1541/ieejfms.142.451

    • ISSN
      0385-4205, 1347-5533
    • 年月日
      2022-12-01
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Comparative Study of Influence of Simultaneous Modulation of Upper-Coil and Lower-Coil Currents on Silicon Nanoparticles Synthesized Using Tandem-Type Modulated Induction Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Furukawa Ryudai、Tanaka Yasunori、Nagase Y.、Nakano Y.、Ishijima T.、Sueyasu S.、Watanabe S.、Nakamura K.
    • 雑誌名

      Plasma Chemistry and Plasma Processing

      巻: 42 号: 3 ページ: 435-463

    • DOI

      10.1007/s11090-022-10230-w

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Numerical study of nanoparticle formation in two-coil tandem-type modulated induction thermal plasmas with simultaneous modulation of upper- and lower-coil currents2021

    • 著者名/発表者名
      Furukawa Ryudai、Tanaka Yasunori、Nakano Y、Nagase Y、Ishijima T、Sueyasu S、Watanabe S、Nakamura K
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 55 号: 4 ページ: 044001-044001

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ac2cee

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Nanoparticle synthesis using two-coil tandem-type modulated induction thermal plasmas2021

    • 著者名/発表者名
      Furukawa Ryudai、Tanaka Yasunori、Nakano Yusuke、Akashi Keita、Ishijima Tatsuo、Watanabe Shu、Sueyasu Shiori、Nakamura Keitaro
    • 雑誌名

      Powder Technology

      巻: 389 ページ: 460-470

    • DOI

      10.1016/j.powtec.2021.05.057

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Effect of Intermittent Injection of Ar/CH4 Quenching Gas on Particle Composition and Size of Si/C Nanoparticles Synthesized by Modulated Induction Thermal Plasma2021

    • 著者名/発表者名
      Akashi Keita、Tanaka Yasunori、Nakano Y.、Furukawa R.、Ishijima T.、Sueyasu S.、Watanabe S.、Nakamura K.
    • 雑誌名

      Plasma Chemistry and Plasma Processing

      巻: 41 号: 4 ページ: 1121-1147

    • DOI

      10.1007/s11090-021-10169-4

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Numerical study on the evaporation process of feedstock powder under transient states in pulse-modulated induction thermal plasmas for nanoparticle synthesis2020

    • 著者名/発表者名
      Onda Kazuki、Tanaka Yasunori、Akashi K、Furukawa R、Nakano Y、Ishijima T、Uesugi Y、Sueyasu S、Watanabe S、Nakamura K
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 53 号: 32 ページ: 325201-325201

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab8419

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High rate synthesis of graphene-encapsulated silicon nanoparticles using pulse-modulated induction thermal plasmas with intermittent feedstock feeding2020

    • 著者名/発表者名
      Tanaka Yasunori、Shimizu Kotaro、Akashi Keita、Onda Kazuki、Uesugi Yoshihiko、Ishijima Tatsuo、Watanabe Shu、Sueyasu Shiori、Nakamura Keitaro
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SH ページ: SHHE07-SHHE07

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab71db

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Measurement of Feedstock Particle Motion in Modulated Thermal Plasmas during Nanoparticle Synthesis2023

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka1*, Ryudai Furukawa, Yurina Nagase, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      ISPlasma2023/IC-PLANTS2023, 06P-P1-13, 2023.3, Gifu, Japan
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High Production Rate Synthesis of ZnO Nanomaterials using Tandem Modulated Induction Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Yurina Nagase, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      32th Annual Meeting of Material Research Society of Japan (MRS-J), 2022.12, Yokohama, Japan
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-Throughput Nanoparticle Synthesis and Size Control by Tandem-Coil Modulated Induction Thermal Plasmas with Different Modulation Waveforms2022

    • 著者名/発表者名
      Y.Tanaka
    • 学会等名
      Int.Congress Plasma Physics (ICPP2022), Th3C-3, 2022.11 (S.Korea)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Coagulation and Condensation Rates in Si Nanoparticle Growth at Different Feeding Durations of Feedstock Using Tandem Modulated Induction Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Yurina Nagase, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 75th Annual Gaseous Electronics Conference/11th Int. Conf. Reactive Plasma (GEC/ICRP-11), GT2.00004, 2022.10, Sendai, Japan
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical Study on Modulation Induced Entrainment Gas Flow and its Promotion of Nanopowder Synthesis in Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas2022

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka, Ryudai Furukawa, Yurina Nagase, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 75th Annual Gaseous Electronics Conference/11th Int. Conf. Reactive Plasma (GEC/ICRP-11), ET1.00001, 2022.10, Sendai, Japan
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of a unified numerical model on large-amount nanoparticle formation by tandem-type modulated induction thermal plasmas with intermittent feedstock feeding2022

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka, R. Furukawa, Y. Nagase, Y. Nakano,T. Ishijima, S. Sueyasu, S. Watanabe, K. Nakamura
    • 学会等名
      11th Int.Symp. Plasma Nanoscience (iPlasmaNano XI),Spain (online)2022.9
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Modulated induction thermal plasma for synthesis of large amounts of functional nanoparticles2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Tanaka
    • 学会等名
      15th Asia-Pacific Physics Conference (APPC15), South Korea (online) ,2022.8
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Influence of Timing of Alternating Gas Injection on Temperature Field in Reaction Chamber for Nanoparticle Synthesis using Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas2021

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka, K.Akashi,R.Furukawa, Y.Nagase, Y.Nakano, T.Ishijima, S.Sueyasu, S.Watanabe, K.Nakamura
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021 (MRM2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Simultaneous Modulation of Two Coil Currents on Tandem Induction Thermal Plasmas for Silicon Nanoparticle Synthesis2021

    • 著者名/発表者名
      Ryudai Furukawa, Yurina Nagase, Tomoya Fuwa, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of H2 Injection into Operating Gas on Size of Si Nanoparticles Synthesized in Tandem-PMITP2021

    • 著者名/発表者名
      Yurina Nagase, Ryudai Furukawa, Tomoya Fuwa, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-12)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical Study on Modulation Induced Entrainment Gas Flow and its Promotion of Nanopowder Synthesis in Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas2021

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka*, R. Furukawa, Y. Nagase, T. Fuwa, Y. Nakano, T. Ishijima, S. Sueyasu, S. Watanabe, K. Nakamura
    • 学会等名
      The 74th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-rate synthesis of Fe3+-doped TiO2 nanoparticles using two-coil tandem-type modulated induction thermal plasmas2021

    • 著者名/発表者名
      Ryudai Furukawa, Yurina Nagase, Yasunori Tanaka*, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 5th Asia Pacific Conference on Plasma Physics(AAPPS-DPP2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Numerical Study for Influence of Feedstock Feeding Duration on Nanoparticles Synthesis by Modulated Induction Thermal Plasma with Intermittent Feeding Method2021

    • 著者名/発表者名
      Yurina Nagase, Ryudai Furukawa, Yasunori Tanaka*, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima, Shiori Sueyasu, Shu Watanabe, Keitaro Nakamura
    • 学会等名
      The 5th Asia Pacific Conference on Plasma Physics(AAPPS-DPP2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] DEVELOPMENT OF A TRANSIENT MODEL ON EVAPORATION PROCESS OF FEEDSTOCK PARTICLES INJECTED IN MODULATED INDUCTION THERMAL PLASMAS FOR NANOPARTICLE SYNTHESIS2020

    • 著者名/発表者名
      Yasunori Tanaka
    • 学会等名
      International conference on Plasma Science ICOPS2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Imaging of Feedstock Part icle Dynamics in Thermal Plasma for Nanoparticle Synthesis by Laser Strobe Measurement2020

    • 著者名/発表者名
      Ryudai Furukawa, Keita Akashi, Yurina Nagase, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima
    • 学会等名
      International conference on Plasma Science ICOPS2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of Intermittent Injection Timing of Quenching Gas on Composition and Particle Size of Si/C Nanoparticles Synthesized by Modulated Induction Thermal Plasma2020

    • 著者名/発表者名
      Keita Akashi, Ryudai Furukawa, Yurina Nagase, Yasunori Tanaka, Yusuke Nakano, Tatsuo Ishijima
    • 学会等名
      International conference on Plasma Science ICOPS2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [産業財産権] 組成物2021

    • 発明者名
      田中康規,古川颯大,長瀬有理奈,渡邉 周,末安志織,中村圭太郎
    • 権利者名
      田中康規,古川颯大,長瀬有理奈,渡邉 周,末安志織,中村圭太郎
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2021-194762
    • 出願年月日
      2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [産業財産権] 組成物2021

    • 発明者名
      田中康規,古川颯大,長瀬有理奈,渡邉 周,末安志織,中村圭太郎
    • 権利者名
      田中康規,古川颯大,長瀬有理奈,渡邉 周,末安志織,中村圭太郎
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2021-194765
    • 出願年月日
      2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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