| 研究課題/領域番号 |
20H00960
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| 研究種目 |
奨励研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
2190:物理化学、機能物性化学、有機化学、無機・錯体化学、分析化学、高分子、有機材料、無機材料化学、エネルギー関連化学、生体分子化学およびその関連分野
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
秋本 由佳 東京工業大学, オープンファシリティセンター, 技術職員
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| 研究期間 (年度) |
2020-04-01 –
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| 研究課題ステータス |
完了 (2020年度)
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| 配分額 *注記 |
470千円 (直接経費: 470千円)
2020年度: 470千円 (直接経費: 470千円)
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| キーワード | 電子顕微鏡 / 散乱電子 / DPC / 微分位相コントラスト法 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究の概要は、市販の走査電子顕微鏡(SEM)に付属する走査透過電子顕微鏡(STEM)検出器を用いて、散乱電子の差分信号を利用した無染色有機材料の実用的な新評価法の開発を行う。これは、特殊で高額な装置構成を必要とせず既存の装置を無改造のまま使用し、像信号取得の工夫により“低加速DPC法”の問題点を改善した新手法を生み出すことを目的とした研究である。
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| 研究成果の概要 |
軽元素で構成される有機材料を電子顕微鏡で評価する場合、像コントラストがつかず電子染色をすることが多いが、染色による構造改変が懸念される。そこで、市販の走査電子顕微鏡に付属する分割型の走査透過電子顕微鏡を活用して、無染色で有機材料の膜厚の違いや凹凸情報を評価する新しい手法「散乱電子差分法」を開発し、可視化に成功した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本手法は通常200kVの高加速電圧で使用する透過電子顕微鏡で行う手法を基に、30kVという低加速電圧で使用する走査電子顕微鏡に応用したものである。低加速電圧は位相変化量が大きくなるため像コントラストが上がり、さらに電子線照射による試料ダメージ抑制のメリットもあるため、無染色の有機材料観察には有効である。本手法は、高額で特殊な改造をせず、市販装置のまま活用し、像信号取得の工夫により新たな手法を生み出している点も意義あるものと考えられる。
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