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表面エネルギー制御による量子ドット形成と高信頼性黄色半導体レーザーの実現

研究課題

研究課題/領域番号 20H02192
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

秋本 良一  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (30356349)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2022年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2021年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2020年度: 10,400千円 (直接経費: 8,000千円、間接経費: 2,400千円)
キーワード量子ドット / 半導体レーザー / 電子線 / 黄色発光 / 表面エネルギー / 黄色レーザー
研究開始時の研究の概要

レーザー活性層に量子ドットを導入したワイドギャップII-VI族半導体材料を用いて、黄色波長域で動作する信頼性の高い量子ドット半導体レーザーを実現する。活性層に量子ドットを導入することにより、量子ドット内に局在した注入キャリアと活性層に内在する点欠陥との空間分離効果を用いて欠陥増殖を抑制するが期待できる。研究代表者は、これまでの研究において成長中の結晶表面に電子線を照射することにより、高効率に黄色発光する量子ドットが形成される現象を発見している。本研究では、その量子ドット形成のメカニズムを解明し、これを活性層に用いた素子を作製して劣化抑制効果を検証する。

研究成果の概要

電子線照射を用いたCdSe量子ドット形成に関する研究を行った。原子レベルで平坦かつ歪エネルギーを蓄積したCdSe表面に電子線照射効果すると、黄色波長で発光する比較的サイズの大きな量子ドットが形成されることを明らかにした。電子線照射によりCd原子の表面拡散が増強され、これが平坦表面から量子ドットによる3次元凸凹面への状態遷移のトリガーになっていること、およびサイズの大きなドットが形成される要因になっていることを明らかにした。電子線照射により形成した量子ドットを活性層にもつ素子において、レーザー発振波長を555nmまで長波長化させることに成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究の学術的意義は、これまで他の方法では実現不可能であった黄色波長で発光する量子ドットを電子線照射により形成し、その発光特性と構造の関係を明らかにしたこと、表面エネルギー制御の観点から形成メカニズムについて明らかにしたこと、レーザー発振が可能であることを実証したことである。一方、社会的な意義として、将来、各種分析機器や非侵襲の治療や医療診断への応用が期待される黄色半導体レーザー実現に向けて、信頼性の向上が期待できる量子ドットを活性層にもつ素子の基盤となる技術的知見を獲得したことである。

報告書

(4件)
  • 2023 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (2件)

すべて 2022 2021

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] CdSe quantum dot formation induced by electron beam irradiation2022

    • 著者名/発表者名
      Akimoto Ryoichi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: 1 ページ: 010903-010903

    • DOI

      10.35848/1347-4065/aca248

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [産業財産権] 活性層、半導体発光素子、及び活性層の製造方法2021

    • 発明者名
      秋本良一
    • 権利者名
      国立研究開発法人産業技術総合研究所
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2021-127353
    • 出願年月日
      2021
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書

URL: 

公開日: 2020-04-28   更新日: 2025-01-30  

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