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シリコントランジスタのゲート制御による電子正孔系の形成と量子凝縮現象の発現

研究課題

研究課題/領域番号 20H02203
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関静岡大学

研究代表者

堀 匡寛  静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (50643269)

研究分担者 小野 行徳  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (80374073)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円)
2023年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2022年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2020年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円)
キーワードシリコンMOSFET / 電子正孔共存系 / 再結合 / 励起子 / 電子正孔系 / シリコン / MOSFET / ゲート制御 / 凝縮現象 / ゲートパルス
研究開始時の研究の概要

本研究の最終ゴールである「電子正孔系の凝縮現象のデバイス応用」に向けて、本研究では具体的に以下の3つの計画を進める。
計画①:トランジスタのゲートパルス制御技術により、電子正孔共存系を形成し、その密度を制御する。
計画②:「同時実時間観測技術」を用いて、電子正孔系の密度を精密に評価する技術を確立する。
計画③:新たに「パルスシーケンス技術」を立ち上げ、電子正孔系の凝縮現象の発現を検出する。

研究成果の概要

エレクトロニクスへの応用上、特に重要となるシリコン・トランジスタにおいて励起子の量子凝縮(超流動)を観測することを念頭に、電子正孔共存系の形成手法を提案し、これを実証した。具体的には、シリコン・トランジスタのゲート電圧制御により、電子と正孔をトランジスタ界面近傍で同時に存在させることに成功した。またそこで生じる再結合電流の解析により、量子凝縮で必要となる近接した電子正孔二層系が形成されていることを明らかにした。さらに、再結合電流の実時間計測から励起子生成の可能性が示唆された。

研究成果の学術的意義や社会的意義

高度情報化社会を支える集積回路の性能は、その主要構成素子であるシリコン・トランジスタの性能に依っている。しかし、従来のトランジスタ微細化だけでは性能向上は期待できず、そのため新原理で動作する革新的デバイスの創出が急務とされている。本課題では、励起子量子凝縮を反映した特徴的な特性(超流動)を新たな伝導機構としてシリコン・トランジスタに付与することを念頭に、電子正孔共存系の形成手法を確立した。本手法を用いてさらに検討を進めていくことで、既存トランジスタの消費電力を大幅に低減できる可能性があり、これによりエレクトロニクスに貢献するものと期待される。

報告書

(5件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (33件)

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち国際共著 1件、 査読あり 5件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (26件) (うち国際学会 6件、 招待講演 5件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Electrical control of transient formation of electron-hole coexisting system at silicon metal-oxide-semiconductor interfaces2023

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Hori, Jinya Kume, Manjakavahoaka Razanoelina, Hiroyuki Kageshima, Yukinori Ono
    • 雑誌名

      Communications Physics

      巻: 6 号: 1

    • DOI

      10.1038/s42005-023-01428-1

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Highly stable Fe/CeO2 catalyst for the reverse water gas shift reaction in the presence of H2S2023

    • 著者名/発表者名
      Watanabe Ryo, Karasawa Fumiya, Yokoyama Chikamasa, Oshima Kazumasa, Kishida Masahiro, Hori Masahiro, Ono Yukinori, Satokawa Shigeo, Verma Priyanka, Fukuhara Choji
    • 雑誌名

      RSC Advances

      巻: 13 号: 17 ページ: 11525-11529

    • DOI

      10.1039/d3ra01323e

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Magnetometry of neurons using a superconducting qubit2023

    • 著者名/発表者名
      Hiraku Toida, Koji Sakai, Tetsuhiko F. Teshima, Masahiro Hori, Kosuke Kakuyanagi, Imran Mahboob, Yukinori Ono & Shiro Saito
    • 雑誌名

      Communications Physics

      巻: 6 号: 1

    • DOI

      10.1038/s42005-023-01133-z

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Critical conductance of two-dimensional electron gas in silicon-on-insulator metal-oxide-semiconductor field-effect transistor2021

    • 著者名/発表者名
      M. Razanoelina, M. Hori, A. Fujiwara, Y. Ono
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 14 号: 10 ページ: 104003-104003

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac25c4

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Detection of arsenic donor electrons using gate-pulse-induced spin-dependent recombination in silicon transistors2021

    • 著者名/発表者名
      M. Hori, Y. Ono
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 118 号: 26

    • DOI

      10.1063/5.0053196

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] シリコンMOS界面における電子正孔共存系の形成2024

    • 著者名/発表者名
      堀 匡寛、小野 行徳
    • 学会等名
      2024年 第71回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (11) -捕獲電子の再結合過程(Ⅳ)-2024

    • 著者名/発表者名
      土屋 敏章、堀 匡寛、小野 行徳
    • 学会等名
      2024年 第71回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (10) -捕獲電子の再結合過程(Ⅲ)-2024

    • 著者名/発表者名
      土屋 敏章、堀 匡寛、小野 行徳
    • 学会等名
      2024年 第71回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (9) -捕獲電子の再結合過程(Ⅱ)-2023

    • 著者名/発表者名
      土屋 敏章、堀 匡寛、小野 行徳
    • 学会等名
      2023年 第84回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (8) -捕獲電子の再結合過程(I)-2023

    • 著者名/発表者名
      土屋 敏章、堀 匡寛、小野 行徳
    • 学会等名
      2023年 第84回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 超伝導磁束量子ビットによるシリコン中ビスマス不純物の磁化測定2023

    • 著者名/発表者名
      樋田 啓、角柳 孝輔、Leonid V. Abdurakhimov、堀 匡寛、小野 行徳、齊藤 志郎
    • 学会等名
      日本物理学会 第78回年次大会(2023年)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Electrical formation of electron-hole bilayer system in Si MOS transistors2023

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Hori, Jinya Kume, Yukinori Ono
    • 学会等名
      2023 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Drag of Electron-Hole Bilayer in Silicon-on-Insulator at Low Temperature2023

    • 著者名/発表者名
      Ahmed Nabil, Manjakavahoaka Razanoelina, Masahiro Hori, Akira Fujiwara, Yukinori Ono
    • 学会等名
      Silicon Nanoelectronics Workshop 2023 (SNW 2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 超伝導磁束量子ビットによる神経細胞の磁化測定2023

    • 著者名/発表者名
      樋田啓, 酒井洸児, 手島哲彦, 堀匡寛, 角柳孝輔, Imran Mahboob, 小野行徳, 齊藤志郎
    • 学会等名
      2023年 日本物理学会 春季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピンによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (6) -欠陥構造緩和(Ⅱ)-2023

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2023年 第70回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (7) - τDに関する考察 -2023

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2023年 第70回 応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Charge pumping under electron spin resonance in Si MOSFETs2022

    • 著者名/発表者名
      M. Hori
    • 学会等名
      第24回高柳健次郎記念シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Electrical formation of electron-hole coexisting system at Si MOS interfaces2022

    • 著者名/発表者名
      Jinya Kume, Yukinori Ono, and Masahiro Hori
    • 学会等名
      第24回高柳健次郎記念シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (4) -欠陥構造緩和-2022

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2022年 第83回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (5) -タイプ4と5の識別-2022

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2022年 第83回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測(1)-両性準位のDOS-2022

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測(2)-アクセプタ型準位-2022

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測(3)-ドナー型準位-2022

    • 著者名/発表者名
      土屋敏章, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Si MOSFETにおける電子スピン共鳴チャージポンピング2022

    • 著者名/発表者名
      堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      東北大学-静岡大学合同冬季研究会 共同プロジェクト研究(R02/S01)先端的コヒーレント波技術の基盤構築とその応用
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Charge pumping under electron spin resonance in Si MOSFETs-Identification of interface defects and detection of donor electrons-2021

    • 著者名/発表者名
      M. Hori, Y. Ono
    • 学会等名
      International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices (2021 IWDTF)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 4端子シリコン・エサキダイオードの作製と低温特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      金原涼伽, 加藤拓也, 堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] シリコントランジスタのゲート制御による電子正孔系の形成手法の確立2021

    • 著者名/発表者名
      久米仁也, 小野行徳, 堀匡寛
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] チャージポンピングEDMRを用いたシリコントランジスタ中のヒ素ドナー電子の検出2021

    • 著者名/発表者名
      堀匡寛, 小野行徳
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Charge pumping under electron spin resonance2021

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Hori
    • 学会等名
      6th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology (ICONN2021)Virtual Conference
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] シリコンMOSトランジスタにおける電子スピン共鳴下のチャージポンピング(再講演)2020

    • 著者名/発表者名
      堀 匡寛, 小野 行徳
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノスケール・シリコンにおける電子・電子散乱を利用したエレクトロン・アスピレーター(再講演)2020

    • 著者名/発表者名
      小野 行徳, フィルダス ヒンマ, 渡邉 時暢, 堀 匡寛, モラル ダニエル, 高橋 庸夫, 藤原 聡
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [備考] 静岡大学 小野・堀研究室ホームページ

    • URL

      https://wwp.shizuoka.ac.jp/nano/

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書 2022 実績報告書 2021 実績報告書
  • [備考] 静岡大学 小野・堀研究室ホームページ

    • URL

      https://wwp.shizuoka.ac.jp/nano/

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2025-01-30  

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