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希土類添加アモルファス酸化物半導体の探索とガラス基板上への直流駆動発光素子の形成

研究課題

研究課題/領域番号 20H02433
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分26020:無機材料および物性関連
研究機関東京工業大学

研究代表者

井手 啓介  東京工業大学, 元素戦略MDX研究センター, 助教 (70752799)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
18,330千円 (直接経費: 14,100千円、間接経費: 4,230千円)
2022年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2021年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2020年度: 13,650千円 (直接経費: 10,500千円、間接経費: 3,150千円)
キーワードアモルファス酸化物半導体 / 蛍光体 / 発光ダイオード
研究開始時の研究の概要

申請者はこれまで、低温プロセスでも高品質膜が作製できるというアモルファス酸化物半導体の特徴に着目し、希土類を添加することで明るく光る無機蛍光体薄膜の「室温作製」に成功し、しかも半導体としての優れた電気特性(移動度 ~10 cm2/Vs)を併せ持っていることを明らかにしてきた。本研究ではそれを発展させ、下記の研究に取り組む。1) AOS蛍光体の最適な組成を見出し、2) 添加した希土類が与える電気特性や欠陥形成への影響を明らかにし、3) セラミックスのような無機酸化物でも低プロセス温度で直流駆動型発光ダイオードを作製出来ることを実証する。

研究成果の概要

アモルファス酸化物半導体に希土類(Eu, Pr, Tb)を添加することにより、室温で作れる蛍光体薄膜の探索を行った。またそれを発光層に用いることで、ガラス基板上への発光ダイオード作製を実証した。直流電圧の印加によって、赤、緑、ピンクと希土類に応じた発光色を確認することができた。また、硬X光電子分光および共鳴光電子分光を用いて、希土類の4f準位とホスト材料の関係を明らかにし、発光メカニズムの議論を行った。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で得られた希土類添加アモルファス酸化物半導体(AOS)は、電気伝導性と発光特性を併せ持つ、従来にない機能性材料である。今回の研究によって、発光ダイオードの発光層としての有用性が示された。この成果は、将来のフレキシブルエレクトロニクス実現に向けた重要な基礎技術となる可能性がある。またAOS中の希土類添加物の4f準位を実測した研究は他になく、学術的にも大きな意義があったと言える。

報告書

(4件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (6件) (うち国際共著 1件、 査読あり 5件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (16件) (うち国際学会 7件、 招待講演 4件) 備考 (1件)

  • [国際共同研究] Fudan University(中国)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [国際共同研究] Fudan University(中国)

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] Low-temperature-processable amorphous-oxide-semiconductor-based phosphors for durable light-emitting diodes2022

    • 著者名/発表者名
      Ide Keisuke、Watanabe Naoto、Katase Takayoshi、Sasase Masato、Kim Junghwan、Ueda Shigenori、Horiba Koji、Kumigashira Hiroshi、Hiramatsu Hidenori、Hosono Hideo、Kamiya Toshio
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 121 号: 19 ページ: 192108-192108

    • DOI

      10.1063/5.0115384

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low Residual Carrier Density and High In-Grain Mobility in Polycrystalline Zn3N2 Films on a Glass Substrate2022

    • 著者名/発表者名
      Kaiwen Li, Atsushi Shimizu, Xinyi He, Keisuke Ide*, Kota Hanzawa, Kosuke Matsuzaki, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Qun Zhang*, and Toshio Kamiya
    • 雑誌名

      ACS Applied Electronic Materials

      巻: 4 号: 4 ページ: 2026-2031

    • DOI

      10.1021/acsaelm.2c00181

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Origins of the coloration from structure and valence state of bismuth oxide glasses2021

    • 著者名/発表者名
      Saitoh Akira、Hayashi Katsuki、Hanzawa Kota、Ueda Shigenori、Kawachi Shiro、Yamaura Jun-ichi、Ide Keisuke、Kim Junghwan、Tricot Gregory、Matsuishi Satoru、Mitsui Kazuki、Shimizu Tatsuki、Mori Masami、Hosono Hideo、Hiramatsu Hidenori
    • 雑誌名

      Journal of Non-Crystalline Solids

      巻: 560 ページ: 120720-120720

    • DOI

      10.1016/j.jnoncrysol.2021.120720

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] Ion substitution effect on defect formation in two-dimensional transition metal nitrides semiconductor, AETiN2 (AE = Ca, Sr, Ba)2021

    • 著者名/発表者名
      Xinyi He, Takayoshi Katase, Keisuke Ide, Hideo Hosono, and Toshio Kamiya
    • 雑誌名

      Inorg. Chem.

      巻: 60 号: 14 ページ: 10227-10234

    • DOI

      10.1021/acs.inorgchem.1c00526

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Reversible 3D-2D structural phase transition and giant electronic modulation in non-equilibrium alloy semiconductor, lead-tin-selenide2021

    • 著者名/発表者名
      Takayoshi Katase, Yudai Takahashi, Xinyi He, Terumasa Tadano, Keisuke Ide, Hideto Yoshida, Shiro Kawachi, Junichi Yamaura, Masato Sasase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, and Toshio Kamiya
    • 雑誌名

      Science Adv.

      巻: 7 号: 12

    • DOI

      10.1126/sciadv.abf2725

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Double charge polarity switching in Sb-doped SnSe with switchable substitution sites2020

    • 著者名/発表者名
      Chihiro Yamamoto, Xinyi He, Takayoshi Katase, Keisuke Ide, Yosuke Goto, Yoshikazu Mizuguchi, Akane Samizo, Makoto Minohara, Shigenori Ueda, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, and Toshio Kamiya
    • 雑誌名

      Adv. Funct. Mater.

      巻: 31 号: 8 ページ: 2008092-2008092

    • DOI

      10.1002/adfm.202008092

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] アモルファス酸化物半導体における機能開拓の最前線2023

    • 著者名/発表者名
      井手啓介, 細野秀雄, 神谷利夫
    • 学会等名
      第70回応用物理学会 春季学術講演会 シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 超高真空スパッタリング装置を用いた高移動度多結晶 Zn3N2 薄膜2022

    • 著者名/発表者名
      清水篤,井手啓介,片瀬貴義,平松秀典,細野秀雄,神谷利夫
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会「新半導体材料・デバイス:SDGs実現へ向けて」
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] ZnO中の水素複合欠陥2022

    • 著者名/発表者名
      HeXinyi,片瀬貴義,井手啓介,細野秀雄,神谷利夫
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会「新半導体材料・デバイス:SDGs実現へ向けて」
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] アモルファス 12CaO・7Al2O3 を用いた ReRAM2022

    • 著者名/発表者名
      門野太助,井手啓介,片瀬貴義,平松秀典,細野秀雄,神谷利夫
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会「新半導体材料・デバイス:SDGs実現へ向けて」
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] スパッタリング法によるアモルファス酸化ガリウム薄膜の作製とダイオー ド特性の評価2022

    • 著者名/発表者名
      嵯峨野太一,井手啓介,片瀬貴義,平松秀典,細野秀雄,神谷利夫
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会「新半導体材料・デバイス:SDGs実現へ向けて」
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Suppressing Hydrogen Diffusion and Enhancing Reliability of Short-Channel InGaZnO Thin Film Transistors by Bottom-Gate Oxide Engineering2022

    • 著者名/発表者名
      K. Zhou,井手啓介,片瀬貴義,神谷利夫,B. Huang,P. Yen,T. Chang,S. M. Sze
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会「新半導体材料・デバイス:SDGs実現へ向けて」
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Liwei Li,井手啓介,片瀬貴義,細野秀雄,神谷利夫Local bonding structures in amorphous oxide semiconductors studied by DFT and machine-learning potential2022

    • 著者名/発表者名
      Liwei Li,井手啓介,片瀬貴義,細野秀雄,神谷利夫
    • 学会等名
      第60回日本セラミックス協会 セラミックス基礎科学討論会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Electronic Structures and Defects Analysis of Amorphous Oxide Semiconductor toward IGZO Display Application2022

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Ide
    • 学会等名
      International Display Workshops
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Transport properties of Zn3N2 investigated by ionic liquid gated electric-double-layer transistors2021

    • 著者名/発表者名
      Kaiwen Li, Kota Hanzawa, Keisuke Ide, Kosuke Matsuzaki, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Zhang Qun, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication and characterization of resistive random-access memory device using amorphous 12CaO Al2O32021

    • 著者名/発表者名
      Tasuke Kadono, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Room-temperature fabrication of ionic liquid gated Zn3N2 electric double layer transistors with non-degenerate channel electron density2021

    • 著者名/発表者名
      Kaiwen Li, Kota Hanzawa, Keisuke Ide, Kosuke Matsuzaki, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Zhang Qun, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of hydrogen doping on transport property of ultrawide bandgap amorphous oxide semiconductor, amorphous Ga-O2021

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Ide, Yukari Kasai, Akihiro Kato, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      The Twelfth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC12)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of Zn3N2 electric double layer transistor by ionic liquid gating2021

    • 著者名/発表者名
      Kaiwen Li, Kota Hanzawa, Keisuke Ide, Kosuke Matsuzaki, Takayoshi Katase, Hidenori Hiramatsu, Hideo Hosono, Qun Zhang, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      The Twelfth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Rare-earth and transition metal doping for amorphous oxide semiconductor2021

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Ide, Hideo Hosono, Toshio Kamiya
    • 学会等名
      Material Research Meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 水素ドープアモルファス酸化ガリウムを用いた薄膜トランジスタ,2020

    • 著者名/発表者名
      加藤昭宏, 笠井悠莉華, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松 秀典, 細野 秀雄, 神谷 利夫
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Electronic defects in AOS and recent development2020

    • 著者名/発表者名
      K. Ide, H. Hosono, T. Kamiya
    • 学会等名
      The 27th International Workshop on Active-Matrix Flat panel Displays and Devices, Kyoto
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [備考] 神谷研究室

    • URL

      https://www.msl.titech.ac.jp/~tkamiya

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実績報告書 2020 実績報告書

URL: 

公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-01-30  

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